CN214782113U - 一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，涉及真空镀膜技术领域。该双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，包括底板，所述底板的顶部固定安装有连接柱。该双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，便于将整个旋转台进行转动，使其方便将一组放置板上已经镀膜完成的工件进行转动，方便直接将下一组放置板上的工件进行镀膜作业，进而方便在不影响镀膜作业的前提下，进行上料、下料作业，显著的提高了工件镀膜的效率，有效的提高了实用性，且方便在镀膜时将镀膜工件进行转动，进而达到工件均匀镀膜的作用，该设置避免了需要使用可循环转动的镀膜装置，有效的降低了成本，提高了生产效益。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台。
背景技术
在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上被称为真空镀膜，在真空镀膜机的实际使用中，存在上料、下料较为困难的现象，影响工件镀膜的效率，因此，现提出一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，包括底板，所述底板的顶部固定安装有连接柱，连接柱的一端固定连接有安装板，安装板的顶部设置有旋转台，安装板上设置有旋转机构，旋转台的顶部转动安装有五组放置板，旋转台的底部转动安装有五组转动杆，转动杆的一端延伸至旋转台的顶部并与放置板固定连接，转动杆的另一端固定安装有被动齿轮，旋转台的底部转动安装有主动齿轮，主动齿轮与五组被动齿轮相啮合，安装板的顶部固定安装有壳体，壳体的内部固定安装有电机，电机的输出轴通过联轴器穿过壳体并与主动齿轮固定连接。
优选的，所述旋转机构包括有环形滑块、连接块、环形内齿板、电主轴、传动齿轮和联动杆，安装板上开设有环形滑槽，环形滑槽内滑动安装有两组环形滑块，安装板的两侧和底部均开设有开口，环形滑块的底部固定安装有连接块，两组连接块的底部固定安装有环形内齿板，安装板的顶部固定安装有安装块，安装块的前侧固定安装有电主轴，电主轴的输出轴通过联轴器延伸至安装板的底部并固定连接有传动齿轮，传动齿轮与环形内齿板相啮合，旋转台的底部固定安装有两组联动杆，联动杆的一端穿过安装板一侧的开口并与环形滑块固定连接。
优选的，所述放置板的顶部开设有放置槽，放置槽的内壁固定安装有橡胶垫，减少工件破损的情况。
优选的，所述联动杆的外壁固定安装有加固杆，加固杆的顶部与旋转台固定安装，便于将联动杆进行加固。
优选的，所述壳体的前侧开设有散热孔，散热孔的内壁固定安装有粉尘过滤网，方便将电机进行散热。
优选的，所述底板的顶部固定安装有加固板和配重块，加固板的顶部与连接柱的外壁固定安装，能够提升该旋转平台的整体稳固性。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)、该双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，通过环形滑块、连接块、环形内齿板、电主轴、传动齿轮和联动杆的配合使用，便于将整个旋转台进行转动，使其方便将一组放置板上已经镀膜完成的工件进行转动，方便直接将下一组放置板上的工件进行镀膜作业，进而方便在不影响镀膜作业的前提下，进行上料、下料作业，显著的提高了工件镀膜的效率，有效的提高了实用性。
(2)、该双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，通过壳体、电机、放置板、转动杆、被动齿轮和主动齿轮的配合使用，能够将五组放置板同时进行转动，方便在镀膜时将镀膜工件进行转动，进而达到工件均匀镀膜的作用，该设置避免了需要使用可循环转动的镀膜装置，有效的降低了成本，提高了生产效益，相对性的加强了该旋转平台的实用性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的主视图；
图3为本实用新型旋转台的俯视图。
图中：1底板、2连接柱、3安装板、4旋转台、5旋转机构、501环形滑块、502连接块、503环形内齿板、504电主轴、505传动齿轮、506联动杆、6壳体、7电机、8放置板、9转动杆、10被动齿轮、11主动齿轮、12橡胶垫、13加固杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例一：
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，包括底板1，底板1的顶部固定安装有连接柱2，连接柱2的一端固定连接有安装板3，安装板3的顶部设置有旋转台4，安装板3上设置有旋转机构5，旋转台4的顶部转动安装有五组放置板8，旋转台4的底部转动安装有五组转动杆9，转动杆9的一端延伸至旋转台4的顶部并与放置板8固定连接，转动杆9的另一端固定安装有被动齿轮10，旋转台4的底部转动安装有主动齿轮11，主动齿轮11与五组被动齿轮10相啮合，安装板3的顶部固定安装有壳体6，壳体6的内部固定安装有电机7，电机7的输出轴通过联轴器穿过壳体6并与主动齿轮11固定连接。
进一步的，放置板8的顶部开设有放置槽，放置槽的内壁固定安装有橡胶垫12，将工件放置于放置板8上，随即控制电机7的启动，电机7的启动带动主动齿轮11的转动，主动齿轮11啮合带动五组被动齿轮10的转动，被动齿轮10通过转动杆9带动放置板8的转动，能够将五组放置板8同时进行转动，方便在镀膜时将镀膜工件进行转动，进而达到工件均匀镀膜的作用，该设置避免了需要使用可循环转动的镀膜装置，有效的降低了成本，提高了生产效益，相对性的加强了该旋转平台的实用性。
更进一步的，壳体6的前侧开设有散热孔，散热孔的内壁固定安装有粉尘过滤网。
再进一步的，底板1的顶部固定安装有加固板和配重块，加固板的顶部与连接柱2的外壁固定安装。
实施例二：
请参阅图1-3，在实施例一的基础上，旋转机构5包括有环形滑块501、连接块502、环形内齿板503、电主轴504、传动齿轮505和联动杆506，安装板3上开设有环形滑槽，环形滑槽内滑动安装有两组环形滑块501，安装板3的两侧和底部均开设有开口，环形滑块501的底部固定安装有连接块502，两组连接块502的底部固定安装有环形内齿板503，安装板3的顶部固定安装有安装块，安装块的前侧固定安装有电主轴504，电主轴504的输出轴通过联轴器延伸至安装板3的底部并固定连接有传动齿轮505，传动齿轮505与环形内齿板503相啮合，旋转台4的底部固定安装有两组联动杆506，联动杆506的一端穿过安装板3一侧的开口并与环形滑块501固定连接，电主轴504的启动，电主轴504的启动带动传动齿轮505的转动，传动齿轮505啮合带动环形内齿板503的转动，环形内齿板503通过连接块502和环形滑块501带动联动杆506和旋转台4的转动，便于将整个旋转台4进行转动，使其方便将一组放置板8上已经镀膜完成的工件进行转动，方便直接将下一组放置板8上的工件进行镀膜作业，进而方便在不影响镀膜作业的前提下，进行上料、下料作业，显著的提高了工件镀膜的效率，有效的提高了实用性。
进一步的，联动杆506的外壁固定安装有加固杆13，加固杆13的顶部与旋转台4固定安装。
工作原理：将工件放置于放置板8上，随即控制电机7的启动，电机7的启动带动主动齿轮11的转动，主动齿轮11啮合带动五组被动齿轮10的转动，被动齿轮10通过转动杆9带动放置板8的转动，当一组放置板8上的工件镀膜完成后，控制电主轴504的启动，电主轴504的启动带动传动齿轮505的转动，传动齿轮505啮合带动环形内齿板503的转动，环形内齿板503通过连接块502和环形滑块501带动联动杆506和旋转台4的转动。
Claims (6)
1.一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有连接柱(2)，连接柱(2)的一端固定连接有安装板(3)，安装板(3)的顶部设置有旋转台(4)，安装板(3)上设置有旋转机构(5)，旋转台(4)的顶部转动安装有五组放置板(8)，旋转台(4)的底部转动安装有五组转动杆(9)，转动杆(9)的一端延伸至旋转台(4)的顶部并与放置板(8)固定连接，转动杆(9)的另一端固定安装有被动齿轮(10)，旋转台(4)的底部转动安装有主动齿轮(11)，主动齿轮(11)与五组被动齿轮(10)相啮合，安装板(3)的顶部固定安装有壳体(6)，壳体(6)的内部固定安装有电机(7)，电机(7)的输出轴通过联轴器穿过壳体(6)并与主动齿轮(11)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，其特征在于：所述旋转机构(5)包括有环形滑块(501)、连接块(502)、环形内齿板(503)、电主轴(504)、传动齿轮(505)和联动杆(506)，安装板(3)上开设有环形滑槽，环形滑槽内滑动安装有两组环形滑块(501)，安装板(3)的两侧和底部均开设有开口，环形滑块(501)的底部固定安装有连接块(502)，两组连接块(502)的底部固定安装有环形内齿板(503)，安装板(3)的顶部固定安装有安装块，安装块的前侧固定安装有电主轴(504)，电主轴(504)的输出轴通过联轴器延伸至安装板(3)的底部并固定连接有传动齿轮(505)，传动齿轮(505)与环形内齿板(503)相啮合，旋转台(4)的底部固定安装有两组联动杆(506)，联动杆(506)的一端穿过安装板(3)一侧的开口并与环形滑块(501)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，其特征在于：所述放置板(8)的顶部开设有放置槽，放置槽的内壁固定安装有橡胶垫(12)。
4.根据权利要求2所述的一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，其特征在于：所述联动杆(506)的外壁固定安装有加固杆(13)，加固杆(13)的顶部与旋转台(4)固定安装。
5.根据权利要求1所述的一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，其特征在于：所述壳体(6)的前侧开设有散热孔，散热孔的内壁固定安装有粉尘过滤网。
6.根据权利要求1所述的一种双面往返连续真空镀膜设备旋转平台，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有加固板和配重块，加固板的顶部与连接柱(2)的外壁固定安装。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115354280A (zh) * | 2022-09-19 | 2022-11-18 | 陕西理工大学 | 一种半导体芯片的镀膜治具 |
-
2021
- 2021-04-13 CN CN202120753078.6U patent/CN214782113U/zh not_active Expired - Fee Related
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