CN214732647U - 一种晶圆检查机送料装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆检查机送料装置，包括工作台，工作台上设置有料槽、传料装置、固定架和检测相机，料槽内设置有供料架，传料装置由气缸、电机、真空泵和传料板组成，电机安装在气缸的上端，传料板的上端面设置有抽气孔，抽气孔与真空泵贯通连接，供料架上设置有隔料板，固定架内设置有固定槽，传料板的上端面粘贴有擦镜布。本实用新型通过传料装置配合供料架对固定架进行送料，大大提升了设备的送料效率，从而提高了检测效率，通过真空泵抽真空吸附固定配合擦镜布，避免转运过程中晶圆件磨损，从而大大提升了设备检测的合格率，检测完毕后更换下一组供料架。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆检查机技术领域，具体为一种晶圆检查机送料装置。
背景技术
在集成电路制造过程中，对于晶圆的检查非常普遍，也十分重要，通过对晶圆的检查能够及时发现集成电路制造工艺中可能存在的问题，从而可以尽快加以解决，尽量防止集成电路制造工艺中的缺漏对于集成电路产品的影响；此外，通过对晶圆的检查也能够防止缺陷产品流入市场，保证了产品质量。
授权公告号CN211235590U中公开了一种多工位自动晶圆检查机，其包括工作架、显示器、工作面板、相机、治具、XY移动平台、工作站以及电控箱，所述工作架为上、下两层的矩形架体，所述工作架的下层架体上放置有工作站和电控箱，所述工作架的上层架体的工作面板上表面中部安装有XY移动平台，所述XY移动平台上同轴安装可放置有被测晶圆件的治具，所述相机通过可调节安装架设置在治具上表面中部正上方，所述相机与工作站无线相连，所述工作架顶端还安装有显示器，所述显示器与工作站相连。
上述公开的一种多工位自动晶圆检查机，该检查机在检查完一块晶圆件之后，需要手动放置下一块晶圆件，效率较低，且容易刮花晶原件表面。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆检查机送料装置，以解决现有技术中晶圆检查机上料较慢，晶圆件表面容易被刮花的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆检查机送料装置，包括工作台，所述工作台上设置有料槽、传料装置、固定架和检测相机，所述料槽内设置有供料架，所述传料装置由气缸、电机、真空泵和传料板组成，所述电机安装在气缸的上端，电机与传料板键接，所述传料板的上端面设置有抽气孔，所述抽气孔与真空泵贯通连接，所述供料架上设置有隔料板，所述固定架内设置有固定槽。
优选的，所述料槽为圆形状的槽口，所述供料架为圆柱形筒状结构，所述料槽的俯视直径与供料架的俯视外径相等，将供料架放置于料槽内，料槽将供料架的底部固定，同时方便对供料架进行定位。
优选的，所述供料架俯视圆心与电机俯视圆心的间距与传料板俯视长度相等，所述固定架俯视圆心与电机俯视圆心的间距与传料板俯视长度相等，通过电机带动传料板转动将供料架上的晶圆件送至固定架上进行检查，大大提升了供料效率。
优选的，所述固定架和供料架的侧端面设置有扇形状的缺口，固定架和供料架上开设缺口方便传料板进入，避免传料板旋转过程中剐蹭固定架和供料架。
优选的，所述隔料板的间距大于传料板的厚度，隔料板间为传料板流出足够的活动空间，传料板由隔料板的下端进入供料架内，然后到达晶圆件的俯视中心后向上抬起将晶圆件，由隔料板的上端将晶圆件运至固定架上。
优选的，所述传料板的上端面粘贴有擦镜布，所述擦镜布为多层环状结构，所述眼镜布采用羊皮制成，擦镜布俯视圆心与抽气孔俯视重合，传料板通过擦镜布与晶圆件接触，避免传料板的上端面刮花晶圆件。
优选的，所述传料板内设置有气流通道，真空泵与抽气孔通过气流通道贯通连接，真空泵由气流通道向外抽气，使抽气孔产生负压，从而吸住晶圆件，避免移动过程中晶圆件滑脱。
优选的，所述固定槽为圆形槽口，所述固定槽的俯视内径与待检测晶圆件俯视外径重合，固定槽将晶圆件固定，方便对其定位检测。
优选的，所述气缸的型号为ADQWB20-15D-W4，所述电机的型号为YCT160-4B，所述真空泵的型号为MS-140，所述检测相机为授权公告号CN211235590U中的检测相机。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过传料装置配合供料架对固定架进行送料，大大提升了设备的送料效率，从而提高了检测效率，通过真空泵抽真空吸附固定配合擦镜布，避免转运过程中晶圆件磨损，从而大大提升了设备检测的合格率。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的局部正剖图；
图3为本实用新型的图2中A处放大图。
图中：1工作台、11料槽、2供料架、21隔料板、3传料装置、31气缸、32电机、33传料板、331抽气孔、332擦镜布、333气流通道、34真空泵、4固定架、41固定槽、5检测相机。
具体实施方式
请参阅图1，一种晶圆检查机送料装置，包括工作台1，工作台1上开设有料槽11、传料装置3、固定架4和检测相机5，料槽11内放置有供料架2，传料装置3由气缸31、电机32、真空泵34和传料板33组成，电机32安装在气缸31的上端，传料板33的上端面开设有抽气孔331，抽气孔331与真空泵34贯通连接，供料架2上焊接有隔料板21，固定架4内开设有固定槽41。
请参阅图1，固定架4和供料架2的侧端面开设有扇形状的缺口，固定架4和供料架2上开设缺口方便传料板33进入，避免传料板33旋转过程中剐蹭固定架4和供料架2。
请参阅图2，料槽11为圆形状的槽口，供料架2为圆柱形筒状结构，料槽11的俯视直径与供料架2的俯视外径相等，将供料架2放置于料槽11内，料槽11将供料架2的底部固定，同时方便对供料架2进行定位，供料架2俯视圆心与电机32俯视圆心的间距与传料板33俯视长度相等，固定架4俯视圆心与电机32俯视圆心的间距与传料板33俯视长度相等，通过电机32带动传料板33转动将供料架2上的晶圆件送至固定架4上进行检查，大大提升了供料效率。
请参阅图3，传料板33的上端面粘贴有擦镜布332，擦镜布332为多层环状结构，眼镜布采用羊皮制成，擦镜布332俯视圆心与抽气孔331俯视重合，传料板33通过擦镜布332与晶圆件接触，避免传料板33的上端面刮花晶圆件，传料板33内开设有气流通道333，真空泵34与抽气孔331通过气流通道333贯通连接，真空泵34由气流通道333向外抽气，使抽气孔331产生负压，从而吸住晶圆件，避免移动过程中晶圆件滑脱。
本方案的工作原理是：本实用新型在使用时，将晶圆件分层摆放在供料架2内，然后启动气缸31和电机32，使传料板33由隔料板21的下端进入供料架2内，然后到达晶圆件的俯视中心后向上抬起将晶圆件，启动真空泵34，真空泵34由气流通道333向外抽气，使抽气孔331产生负压，从而吸住晶圆件，通过电机32带动传料板33转动，使传料板33由隔料板21的上端将晶圆件运至固定架4上，然后关闭真空泵34，解除负压，放下晶圆件。
本实用新型通过传料装置3配合供料架2对固定架4进行送料，大大提升了设备的送料效率，从而提高了检测效率，通过真空泵34抽真空吸附固定配合擦镜布332，避免转运过程中晶圆件磨损，从而大大提升了设备检测的合格率，检测完毕后更换下一组供料架2。
Claims (8)
1.一种晶圆检查机送料装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上设置有料槽(11)、传料装置(3)、固定架(4)和检测相机(5)，所述料槽(11)内设置有供料架(2)，所述传料装置(3)由气缸(31)、电机(32)、真空泵(34)和传料板(33)组成，所述电机(32)安装在气缸(31)的上端，所述传料板(33)的上端面设置有抽气孔(331)，所述抽气孔(331)与真空泵(34)贯通连接，所述供料架(2)上设置有隔料板(21)，所述固定架(4)内设置有固定槽(41)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述料槽(11)为圆形状的槽口，所述供料架(2)为圆柱形筒状结构，所述料槽(11)的俯视直径与供料架(2)的俯视外径相等。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述供料架(2)俯视圆心与电机(32)俯视圆心的间距与传料板(33)俯视长度相等，所述固定架(4)俯视圆心与电机(32)俯视圆心的间距与传料板(33)俯视长度相等。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述固定架(4)和供料架(2)的侧端面设置有扇形状的缺口。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述隔料板(21)的间距大于传料板(33)的厚度。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述传料板(33)的上端面粘贴有擦镜布(332)，所述擦镜布(332)为多层环状结构，擦镜布(332)俯视圆心与抽气孔(331)俯视重合。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述传料板(33)内设置有气流通道(333)，真空泵(34)与抽气孔(331)通过气流通道(333)贯通连接。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机送料装置，其特征在于：所述固定槽(41)为圆形槽口，所述固定槽(41)的俯视内径与待检测晶圆件俯视外径重合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022864059.9U CN214732647U (zh) | 2020-12-03 | 2020-12-03 | 一种晶圆检查机送料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022864059.9U CN214732647U (zh) | 2020-12-03 | 2020-12-03 | 一种晶圆检查机送料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214732647U true CN214732647U (zh) | 2021-11-16 |
Family
ID=78618840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022864059.9U Active CN214732647U (zh) | 2020-12-03 | 2020-12-03 | 一种晶圆检查机送料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214732647U (zh) |
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2020
- 2020-12-03 CN CN202022864059.9U patent/CN214732647U/zh active Active
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