CN214672544U - 一种晶圆棒放置装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种晶圆棒放置装置，包括：若干支撑件；所有所述支撑件上均具有放置晶圆棒的滑道；其中两个相邻的所述支撑件之间设有用于抓取所述晶圆棒的抓取空间，以使所述晶圆棒被放置于所述滑道上或从所述滑道上被移出。本实用新型放置装置，结构设计合理，即可用于上料暂存也可用于中转暂存，适用于不同直径和长度的晶圆棒的运输，效率高且运输安全，防止出现磕碰或损伤，保证晶圆棒表面质量。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能光伏晶体运输辅助设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆棒放置装置。
背景技术
现有的截断机，将单晶晶圆长棒截断成若干段后，需要先将截断后的短的晶圆棒传送至储料区，由于晶圆长棒的长度不等，导致其截断后的晶圆短棒的长度也不等。截断之后的晶圆短棒需要送至一体切方机上进行去边皮开方，制成所需的单晶方棒，而一体切方机的传输线仅能满足一颗单晶储料的上料。现常通过人工搬运操作，人工搬运存在极大的安全隐患。如何设计一种晶圆棒放置装置，将晶圆棒从该放置装置上搬运移走上料，不仅提高生产效率，而且可保护晶圆棒外观质量，防止磕碰或损伤晶棒表面质量，同时还可与截断机一体连接互动。
还有现有生产过程中对于晶圆短棒的暂存放置也存在移动困难、与其它生产线配合不理想的技术问题，无法及时并稳定且安全地中转晶圆短棒。
实用新型内容
本实用新型提供一种晶圆棒放置装置，尤其适用于晶圆棒的运输周转，解决了现有技术中上料或中转晶圆棒困难、生产效率低且安全风险大的技术问题。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
一种晶圆棒放置装置，其特征在于，包括：
若干支撑件；
所有所述支撑件上均具有放置晶圆棒的滑道；
其中两个相邻的所述支撑件之间设有用于抓取所述晶圆棒的抓取空间，以使所述晶圆棒被放置于所述滑道上或从所述滑道上被移出。
优选地，还包括对应所述抓取空间位置设置的一个所述支撑件；
与所述抓取空间对应设置的所述支撑件能够在所述晶圆棒沿所述抓取空间两侧任一所述支撑件上的所述滑道滑动时与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件形成一条连续的所述滑道，以使所述晶圆棒横跨所述抓取空间并被架设于所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上；以及
能够在所述晶圆棒被放置在所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上后再远离所述晶圆棒，以使其所述抓取空间被留置，便于所述晶圆棒被抓取而移出所述滑道。
进一步的，还包括：
工作台；
所有所述支撑件均沿所述滑道长度方向同向与所述工作台连接；
其中置于所述抓取空间两侧的所述支撑件被固设于所述工作台上方且同排设置。
优选地，每个固设于所述工作台上方的所述支撑件中，在其所述滑道底部均至少设有一个止动插销。
优选地，与所述抓取空间对应设置的所述支撑件通过转轴被设于所述工作台下方，且可沿所述转轴旋转至所述工作台上的所述抓取空间内，以与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件同排形成连续的所述滑道。
进一步的，在所述工作台下方远离所述抓取空间一侧设有支撑插销一；
所述支撑插销一沿与所述抓取空间对应设置的所述支撑件的长度方向滑动设置，以使与所述抓取空间对应设置的所述支撑件被固设于所述工作台下方。
进一步的，在所述工作台下方靠近所述抓取空间一侧设有支撑插销二；
当与所述抓取空间对应设置的所述支撑件旋转至所述抓取空间位置时，所述支撑插销二和与所述抓取空间对应设置的所述支撑件的端部配合设置，以使与所述抓取空间对应设置的所述支撑件固定在所述工作台上方。
优选地，所有所述支撑件的长度可相同或不相同；
且所述抓取空间的长度和宽度均大于与其对应设置的所述支撑件的宽度和长度。
进一步的，所有所述支撑件的所述滑道结构均相同。
优选地，所述滑道沿所述支撑件宽度方向可调整其间距，以支撑不同直径的所述晶圆棒的放置。
采用本实用新型设计的一种晶圆棒放置装置，结构设计合理，即可用于上料暂存也可用于中转暂存，适用于不同直径和长度的晶圆棒的运输，效率高且运输安全，防止出现磕碰或损伤，保证晶圆棒表面质量。
附图说明
图1是本实用新型一实施例的放置装置的结构示意图；
图2是本实用新型一实施例的放置装置上端面的放大图；
图3是本实用新型另一实施例的放置装置的结构示意图；
图4是本实用新型另一实施例的放置装置的的支撑件三位置的放大图；
图5是本实用新型另一实施例的放置装置的仰视图。
图中：
10、工作台 20、支撑件一 30、支撑件二
40、抓取空间 50、滑道 60、止动插销
70、支撑件三 80、支撑插销一 90、支撑插销二
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。
本实施例提出一种晶圆棒放置装置，如图1所示，包括工作台10，在工作台10上设有若干固定设置的支撑件，所有支撑件并排同轴设置，即晶圆棒水平移动的方向与支撑件放置的方向一致。在本实施例中，选择有两个支撑件，分别为支撑件一20和支撑件二30，所有支撑件上均具有放置晶圆棒的滑道50，滑道50为本领域常用的滚珠滑轨组成。其中两个相邻的支撑件之间，即在支撑件一20和支撑件二30之间设有用于抓取晶圆棒的抓取空间40，以使晶圆棒被放置于所述滑道上或从所述滑道上被移出。
具体地，在工作台10上设有一凹槽，即为抓取空间40所在的位置，相应地，支撑件一20和支撑件二30分设在凹槽的两侧，从而使支撑件一20和支撑件二30断开设置。进而支撑件一20和支撑件二30之间形成一个可供操作的抓取空间40，如通过机械手或其它移动操作的自动抓取臂，此为本领域常用操作方式，在此附图省略。
支撑件一20和支撑件二30的长度可以相同，也可以不相同，可根据实际情况而定。且支撑件一20和支撑件二30上的滑道50为V型结构，也可以为其它结构，只要能支撑并使晶圆棒稳定放置即可。
优选地，本放置装置中的支撑件一20和支撑件二30可与截断机的下料轨道同轴设置和/或与开方机的上料轨道同轴设置(附图省略)，也即是，晶圆棒可从截断机或开方机的轨道上沿滑道50被滑道50上的滚珠推动向前移动，直至晶圆棒被放置在支撑件一20和支撑件二30上且横跨抓取空间40设置，即晶圆棒的两端分别被架设在支撑件一20和支撑件二30，再伸入抓取空间50卡爪晶圆棒，并把晶圆棒从支撑件一20和支撑件二30上移出，从而完成上料的工作。
当然，这一放置装置也可用作中转晶圆棒使用，即通过将其它晶圆棒横跨抓取空间40放置在支撑件一20和支撑件二30上，以满足晶圆棒的暂存放置。对于同一个工作台上，可以设置若干个带有抓取空间40的支撑件组结构，即可放置若干颗晶圆棒。
如图2，优选地，为了保证晶圆棒被安全地放置在支撑件一20和支撑件二30上，可在每个固设于工作台10上方的所有支撑件中的滑道50上，在其底部均至少设有一个止动插销60。止动插销60竖直于滑道50的底部可拆卸设置，当晶圆棒在滑道50上移动时，则不需要止动插销60，止动插销60可被移开或被自动控制压缩至滑道50的底部，这类控制为本领域常用控制方式，在此不具体限制。当晶圆棒稳定放置在支撑件一20和支撑件二30上时，止动插销60启动，卡装在晶圆棒的两端，以放置晶圆棒滚动或滑动，从而提高了晶圆棒放置的安全性，保证晶圆棒表面质量，防止磕碰或破损。
如图3所示，为另一种结构的晶圆棒放置装置，与图1结构的最大区别在于，在工作台10的下方设有与抓取空间40所在位置相对应的支撑件三70，支撑件三70能够在晶圆棒沿支撑件一20或支撑件二30中的滑道50滑动时与支撑件一20和支撑件二30形成一条连续的滑道50，以使晶圆棒横跨抓取空间40并被架设于支撑件一20或支撑件二30上；以及
支撑件三70能够在晶圆棒被放置在支撑件一20和支撑件二30后再远离晶圆棒，以使抓取空间40被留置，便于晶圆棒被抓取移出滑道50。
具体地，支撑件三70与支撑件一20和支撑件二30一样，沿晶圆棒水平移动的方向即沿滑道50长度方向设置工作台10下方，并与工作台10铰接。
如图3所示，支撑件三70与抓取空间40对应设置，并通过转轴被设于工作台10下方，优选地其初始位置被固定在工作台10的下端面，支撑件三70通过转轴旋转180°后至工作台10上的抓取空间40内，以与支撑件一20和支撑件二30同排形成连续的滑道50。
如图4所示，在工作台10的下方远离抓取空间40一侧设有支撑插销一80；支撑插销一80沿支撑件三70的长度方向滑动设置，以使支撑件三70被固定设置在工作台10下方，放置其晃动或移动，以提高整个装置的安全性和稳定性。可选择在支撑件三70的任意一端设置支撑插销一80，也可用两端都设置支撑插销一80，都可保证支撑件三70的固定安全。
如图5所示，在工作台10的下方靠近抓取空间40的一侧设有支撑插销二90；当支撑件三70选择180°后，旋转至抓取空间40处的位置时，支撑插销二90和支撑件三70的端部配合设置，以使支撑件三70固定在工作台10的上方，使晶圆棒沿支撑件一20、支撑件二30和支撑件三70组成的连续的滑道50自由且稳定地滑动，防止晶圆棒经过抓取空间40时被卡或跌落工作台10，以提高晶圆棒沿滑道50移动的安全性，防止晶圆棒在经过支撑件一20和支撑件二30的过渡端时出现磕碰或损伤，以保证晶圆棒的外观质量。
当晶圆棒安全稳定地放置在支撑件一20和支撑件二30上时，移开支撑插销二90，使支撑件三70反向旋转180°回到其初始位置处，再控制支撑插销一80朝支撑件三70一侧的方向移动，使支撑插销一80将支撑件三70卡固在工作台10下端面，进而完成一个晶圆棒的上料工作。
优选地，所有支撑件的长度可相同或不相同，可根据实际情况而定，以适应不同长度的晶圆棒的放置。
且抓取空间40的长度和宽度均大于支撑件三70的宽度和长度，以使支撑件三70可自由旋转地与支撑件一20和支撑件二30并排对接。
进一步的，所有支撑件的滑道50结构均相同，即支撑件一20、支撑件二30和支撑件三70中的滑道50的横截面均为V型。
优选地，滑道50沿支撑件的宽度方向可设计为可调整连接的结构，以调整V型放置滑道50之间的间距，目的是为了支撑不同直径的晶圆棒的放置，这一结构为本领域的常用配制结构，附图省略。
当然为了调整放置装置与各生产线的配合位置，可以在工作台的一侧设置一扶手，或在工作台下端设置滑轮组件，以提高放置装置的灵活性和可操作性。
为了收集手动止动插销60的放置，可在工作台10的端部设置一工具放置槽100，提高放置装置的舒适性。
采用本实用新型设计的一种晶圆棒放置装置，结构设计合理，即可用于上料暂存也可用于中转暂存，适用于不同直径和长度的晶圆棒的运输，适普性广且实用性强，效率高且运输安全，防止出现磕碰或损伤，保证晶圆棒表面质量。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆棒放置装置，其特征在于，包括：
若干支撑件；
所有所述支撑件上均具有放置晶圆棒的滑道；
其中两个相邻的所述支撑件之间设有用于抓取所述晶圆棒的抓取空间，以使所述晶圆棒被放置于所述滑道上或从所述滑道上被移出。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，还包括对应所述抓取空间位置设置的一个所述支撑件；
与所述抓取空间对应设置的所述支撑件能够在所述晶圆棒沿所述抓取空间两侧任一所述支撑件上的所述滑道滑动时与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件形成一条连续的所述滑道，以使所述晶圆棒横跨所述抓取空间并被架设于所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上；以及
能够在所述晶圆棒被放置在所述抓取空间两侧位置的所述支撑件上后再远离所述晶圆棒，以使其所述抓取空间被留置，便于所述晶圆棒被抓取而移出所述滑道。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，还包括：
工作台；
所有所述支撑件均沿所述滑道长度方向同向与所述工作台连接；
其中置于所述抓取空间两侧的所述支撑件被固设于所述工作台上方且同排设置。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，每个固设于所述工作台上方的所述支撑件中，在其所述滑道底部均至少设有一个止动插销。
5.根据权利要求3所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，与所述抓取空间对应设置的所述支撑件通过转轴被设于所述工作台下方，且可沿所述转轴旋转至所述工作台上的所述抓取空间内，以与所述抓取空间两侧位置的所述支撑件同排形成连续的所述滑道。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，在所述工作台下方远离所述抓取空间一侧设有支撑插销一；
所述支撑插销一沿与所述抓取空间对应设置的所述支撑件的长度方向滑动设置，以使与所述抓取空间对应设置的所述支撑件被固设于所述工作台下方。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，在所述工作台下方靠近所述抓取空间一侧设有支撑插销二；
当与所述抓取空间对应设置的所述支撑件旋转至所述抓取空间位置时，所述支撑插销二和与所述抓取空间对应设置的所述支撑件的端部配合设置，以使与所述抓取空间对应设置的所述支撑件固定在所述工作台上方。
8.根据权利要求1-2、4-7任一项所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，所有所述支撑件的长度可相同或不相同；
且所述抓取空间的长度和宽度均大于与其对应设置的所述支撑件的宽度和长度。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，所有所述支撑件的所述滑道结构均相同。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆棒放置装置，其特征在于，所述滑道沿所述支撑件宽度方向可调整其间距，以支撑不同直径的所述晶圆棒的放置。
Priority Applications (1)
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| CN202121098578.7U CN214672544U (zh) | 2021-05-21 | 2021-05-21 | 一种晶圆棒放置装置 |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |