CN214672500U

CN214672500U - 紫外线照射装置

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Publication number: CN214672500U
Application number: CN202121098370.5U
Authority: CN
Inventors: 柳生英昭
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2020-08-21
Filing date: 2021-05-21
Publication date: 2021-11-09
Anticipated expiration: 2031-05-21
Also published as: US20220059336A1; JP2022035585A; CN114078688A; TW202209412A; EP3968356A3; EP3968356A2; WO2022038872A1; JP6919753B1; US11776803B2

Abstract

本实用新型提供一种提高起动性的搭载有准分子灯的紫外线照射装置。紫外线照射装置具备多个准分子灯，该多个准分子灯具有封入有包含稀有气体的放电用气体的发光管。多个准分子灯包含以第一封入气体压力封入有放电用气体的第一准分子灯和以低于第一封入气体压力的第二封入气体压力封入有放电用气体的第二准分子灯。第一准分子灯被配置于来自第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。

Description

紫外线照射装置

技术领域

本实用新型涉及紫外线照射装置，特别涉及搭载有准分子灯的紫外线照射装置。

背景技术

以往，已知有通过对封入发光管内的放电用气体经由石英玻璃等电介质施加电压而使其发光的利用了电介质阻挡放电的灯(以下，称为“准分子灯”)。

准分子灯通过放电用气体的种类或组合来表示特有的发光波长。例如，已知有将作为稀有气体的氩(Ar)、氪(Kr)或氙(Xe)用作放电用气体的准分子灯、或将作为卤素气体的氟(F)、氯(Cl)、碘(I)、溴(Br)与上述稀有气体的混合气体用作放电用气体的准分子灯。例如，在下述专利文献1中记载了通过放电用气体的种类或组合，能够得到峰值波长126nm～308nm的多种光。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-068944号公报

实用新型所要解决的课题

近年来，搭载有准分子灯的紫外线照射装置的需求不断提高，所使用的场景也扩大。以往，一般认为在预定长时间持续点亮的产业用途中的利用较多，但今后也会更多地考虑到用在反复进行点亮和熄灭的情况。

但是，在准分子灯之中，也存在起动性差的准分子灯，其中存在熄灭期间变长时难以点亮的准分子灯。

实用新型内容

本实用新型鉴于上述课题，其目的在于，在搭载有准分子灯的紫外线照射装置中，提高起动性。

本实用新型的紫外线照射装置，

具备多个准分子灯，该多个准分子灯具有封入有含有稀有气体的放电用气体的发光管，

所述多个准分子灯包括：

以第一封入气体压力封入了所述放电用气体的第一准分子灯；和

以比所述第一封入气体压力低的第二封入气体压力封入所述放电用气体的第二准分子灯，

所述第一准分子灯配置在来自所述第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。

若提高封入在准分子灯的发光管内的放电用气体的封入气体压力，则准分子灯长寿命化。关于该理由，以放电用气体为Kr Cl的情况为例进行说明。

当对封入有放电用气体的发光管施加电压时，在发光管内产生放电，通过因放电而放出的电子，存在于发光管内(放电空间内)的氪气(Kr)、氯气(Cl₂)被激励或被离子化，生成KrCl*(氯化氪激基复合物)。该KrCl*是极其不稳定的化合物，在短时间内分离成Kr和Cl₂，此时产生固有的发光(准分子光)。封入这种放电用气体的准分子灯发出峰值波长为222nm附近的紫外线。

然而，在上述的例子的情况下，通过反复进行放电，高能量化的放电用气体的一部分(特别是Cl)被打入发光管的管壁(真空管)内，其结果，构成放电用气体的原子随着时间经过而减少。由此，生成的KrCl*的量减少，因此，照度逐渐降低。这样的问题虽然在照度降低的速度的趋势上存在差异，但与放电用气体的种类无关是通常准分子灯内在存在的问题。

如上所述，在提高搭载有准分子灯的紫外线照射装置的需求的同时，提高长时间利用紫外线照射装置后的照度维持率而实现长寿命化在当前是重要的要素。鉴于这样的情况，作为提高照度维持率的方法，预先增加成为放电用气体的气体种的原子量，换言之，提高封入气体压力是有效的。

然而，若提高封入于发光管内的放电用气体的封入气体压力，则会产生起动性降低这样的其他问题。这是基于帕邢定律的。如在“实用新型所要解决的课题”项中所说明的那样存在如下情况，在搭载了准分子灯的紫外线照射装置的利用场景正在扩大的今天，提高起动性是重要的，但尽量避免为了提高照度维持率而牺牲起动性。

作为提高起动性的一种方法，考虑提高电压的方法。但是，为了提高输入电压，电源系统、冷却系统有可能大型化，因此有可能对紫外线照射装置的利用场景有所限定。

上述的紫外线照射装置搭载有封入气体压力不同的多个准分子灯(第一准分子灯、第二准分子灯)。如上所述，封入气体压力越低则起动性越提高。因此，封入气体压力低的第二准分子灯能够比封入气体压力高的第一准分子灯得到更高的起动性。即表示，若使紫外线照射装置工作，则容纳于外壳内的多个准分子灯中、第二准分子灯先点亮的倾向。

根据上述结构，第一准分子灯配置于来自第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。因此，来自先点亮的第二准分子灯的出射光入射到第一准分子灯内。于是，第一准分子灯将来自该第二准分子灯的出射光作为触发来提高起动性。

即，根据上述的紫外线照射装置，能够以与封入气体压力低的第二准分子灯的起动时间大致同等的时间起动封入气体压力高的第一准分子灯。并且，由于该紫外线照射装置搭载有封入气体压力高的第一准分子灯，因此与仅搭载第二准分子灯的情况相比，能够实现较高的照度维持率。

而且，该紫外线照射装置只要是能够以至少能够点亮封入气体压力低的第二准分子灯的程度施加电压的结构即可，因此不需要搭载大型的电源系统。即，实现了在使电源系统、冷却系统小型化的同时，兼顾高起动性和高照度维持率的紫外线照射装置。

进而，通过将封入于第一准分子灯的放电用气体和封入于第二准分子灯的放电用气体设为相同种类的气体，在两者点亮的状态下，能够实现与仅搭载有第一准分子灯的状态或搭载有第二准分子灯的状态相同的发光光谱。

如上所述，在准分子灯中，在提高了放电用气体的封入气体压力的情况下产生的起动性的降低的程度依赖于放电用气体的种类。特别是，在利用稀有气体和卤素气体的混合气体作为放电用气体的准分子灯中，起动性降低的问题变得显著。即，在搭载有将这样的稀有气体和卤素气体的混合气体作为放电用气体的多个准分子灯的紫外线照射装置中，通过采用上述的结构，能够显著地得到上述的效果。

特别是，在将Kr和Cl₂的混合气体作为放电用气体的准分子灯中，起动性的问题特别显著。因此，在搭载有将这样的混合气体作为放电用气体的多个准分子灯的紫外线照射装置中，通过采用上述的结构，能够特别显著地得到上述的效果。

将Kr和Cl₂的混合气体作为放电用气体的准分子灯发射峰值波长为222nm附近的紫外线。包含222nm，190nm以上230nm以下的波段的紫外线即使对人体的皮肤进行照射，也被皮肤的角质层吸收，不在其内侧(基底层侧)行进。由于角质层所包含的角质细胞是作为细胞死亡的状态，因此，例如，如照射波长254nm的紫外线的情况那样，几乎不存在棘层、颗粒层、真皮等被活的细胞吸收而DNA被破坏的风险。

并且，上述波段的紫外线存在对照射对象物的杀菌效果。因此，搭载有封入有上述那样的放电用气体的准分子灯的紫外线照射装置能够设想应用于以光杀菌作用为首的各种用途，可考虑广泛的利用场景。

根据上述结构，在表示光杀菌作用的紫外线照射装置中，能够兼顾起动性的提高和照度维持率的提高，并且还能够有助于电源系统的小型化。特别是，作为光杀菌的用途，还可设想用于狭窄空间的杀菌的情况，在使装置规模小型化的同时，能够实现兼顾高的起动性和高的照度维持率，可以说上述结构的紫外线照射装置显示出极高的效果。

也可以是，所述第二封入气体压力与所述第一封入气体压力的压力差以所述第二封入气体压力为基准而设定为5％以上。

根据该结构，期待大幅度地(例如1秒以上)缩短第一放电灯的起动时间的效果。

也可以是，所述紫外线照射装置具备LED元件，所述LED元件配置为至少出射光能够入射到所述第二准分子灯内。

第二准分子灯虽然放电用气体的封入气体压力低，但也要考虑单独起动花费时间的情况。根据上述结构，由于搭载有作为起动辅助光源的LED元件，因此，能够接收该LED元件的光而缩短第二准分子灯的起动时间。另外，第一准分子灯在第二准分子灯点亮时，如上述那样接受来自第二准分子灯的出射光而大致同时点亮。

假设，紫外线照射装置在不具备封入气体压力低的第二准分子灯而仅具备封入气体压力高的第一准分子灯的情况下，即使具备作为起动辅助光源的LED元件，也无法得到高的起动性。这是因为，与来自LED元件的出射光相比，来自第二准分子灯的出射光具有极高的能量，使第一准分子灯起动的效果优异。

也可以是，所述多个准分子灯包含2根以上的所述第一准分子灯。

即使在紫外线照射装置中搭载有多个第一准分子灯，来自第二准分子灯的出射光相对于它们分别入射，从而提高了起动性。并且，根据该结构，通过搭载多个照度维持率高的第一准分子灯，能够实现高的起动性和高的照度，并且实现长寿命的紫外线照射装置。

在上述结构中，也可以是，所述多个准分子灯包含所述第一准分子灯的根数以下的根数的所述第二准分子灯。

在该情况下，所述多个准分子灯也可以包含2根以上的所述第二准分子灯。

根据上述结构，即使在万一因不良情况而使1根第二准分子灯成为不点亮的情况下，也能够通过其他第二准分子灯使第一准分子灯点亮。

所述第一准分子灯和所述第二准分子灯在同一平面上，在与各个所述发光管的管轴不平行的方向上排列，

所述紫外线照射装置也可以具备一对电极块，以与所述第一准分子灯和所述第二准分子灯的全部的所述发光管的一部分部位接触、且在与所述管轴平行的方向上分离的状态配置。

根据该结构，能够使用于对各个准分子灯施加电压的电极共用化，因此能够减小装置规模。

另外，所述紫外线照射装置也可以具备收纳所述多个准分子灯的外壳。在该情况下，所述第一准分子灯在所述外壳内被配置在来自所述第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。

实用新型效果：

根据本实用新型，在搭载有准分子灯的紫外线照射装置中，能够提高起动性。

附图说明

图1是示意性地表示本实用新型的紫外线照射装置的一个利用方式的图。

图2是示意性地表示紫外线照射装置的外观的一例的立体图。

图3是从图2分解并显示外壳的主体部和盖部的立体图。

图4是从图3提取多个准分子灯和电极块并图示的示意性立体图。

图5是用于说明准分子灯与电极块的位置关系的示意性的图，是从+Z方向观察准分子灯时的示意性俯视图。

图6是示意性地表示从与光取出面相反的一侧观察准分子灯和电极块时的情况的俯视图。

图7是示意性地表示从第二准分子灯出射的紫外线入射至第一准分子灯的情形的图。

图8是从封入有包含Kr和Cl的放电用气体的准分子灯出射的紫外线的光谱波形的例子。

图9A是表示第一准分子灯和第二准分子灯的配置模式的另一结构例的图。

图9B是表示第一准分子灯和第二准分子灯的配置模式的另一结构例的图。

图9C是表示第一准分子灯和第二准分子灯的配置模式的另一结构例的图。

符号说明：

1：紫外线照射装置

2：外壳

2a主体部

2b：盖部

5：LED元件

8：电源线

10：准分子灯

11：第一准分子灯

12：第二准分子灯

30：光取出面

40：照射对象区域

50：壳体

G10：放电用气体

具体实施方式

适当参照附图对本实用新型的紫外线照射装置的实施方式进行说明。另外，以下的各图是示意性地图示的图，图上的尺寸比与实际的尺寸比未必一致。另外，在各图之间，尺寸比也未必一致。

图1是示意性地表示本实用新型的紫外线照射装置的一个利用方式的图。在图1中，示意性地图示了紫外线照射装置1搭载于壳体50，从紫外线照射装置1的光取出面30对照射对象区域40照射紫外线L1的情形。

图2是示意性地表示紫外线照射装置1的外观的一例的立体图。图3是从图2分解紫外线照射装置1的外壳2的主体部2a和盖部2b的立体图。

在以下的各图中，参照将紫外线L1的取出方向设为X方向、将与X方向正交的平面设为YZ平面的X-Y-Z坐标系来进行说明。更详细而言，参照图2以下的附图，如后所述，将准分子灯10的管轴方向设为Y方向，将与X方向以及Y方向正交的方向设为Z方向。

在以下的说明中，在表现方向时区别正负的朝向的情况下，如“+X方向”、“-X方向”那样，标注正负符号进行记载。另外，在不区分正负的朝向而表现方向的情况下，仅记载为“X方向”。即，在本说明书中，在仅记载为“X方向”的情况下，包含“+X方向”和“-X方向”双方。关于Y方向和Z方向也是同样的。

如图2和图3所示，紫外线照射装置1具备在一个面上形成有光取出面30的外壳2。外壳2具备主体部2a和盖部2b，在主体部2a内收纳有多个准分子灯10和电极块(21、22)。在本实施方式的例子中，在外壳2内收容有4根准分子灯10。

图4是从图3提取多个准分子灯10及电极块(21、22)而图示的示意性立体图。另外，图5是示意性地表示准分子灯10与电极块(21、22)的位置关系的图，对应于在+Z方向上观察准分子灯10时的示意性俯视图。

如图4所示，本实施方式的紫外线照射装置1具备在Z方向上分离配置的4根准分子灯10。另外，以与各个准分子灯10的发光管的外表面的一部分部位接触的方式配置有2个电极块(21、22)。

多个准分子灯10是包含第一准分子灯11和第二准分子灯12的构成。第一准分子灯11和第二准分子灯12均将由相同的气体种类构成的放电用气体G10封入发光管，但封入气体压力不同。第一准分子灯11以第一封入气体压力P1封入有放电用气体G10。另一方面，第二准分子灯12以比第一封入气体压力P1低的第二封入气体压力P2封入有放电用气体G10。

在图4中，示出了多个准分子灯10由3根第一准分子灯11(11a、11b、11c)和1根第二准分子灯12构成的情况。以下，将第一准分子灯11和第二准分子灯12两者总称为“准分子灯10”。

各准分子灯10具有将Y方向作为管轴方向的发光管，在沿Y方向离开的位置，准分子灯10的发光管的外表面与各电极块(21、22)接触。即，各电极块(21、22)均以与各准分子灯10的发光管的外表面接触并且在Z方向上横跨各准分子灯10的方式配置。

如上所述，本实施方式中的紫外线照射装置1具备一对电极块(21、22)，它们配置在相互在Y方向上分离的位置。电极块(21、22)由导电性的材料构成，优选由对从准分子灯10射出的紫外线示出反射性的材料构成。作为一例，电极块(21、22)由Al、Al合金、不锈钢等构成。

若在各电极块(21、22)之间施加例如1k Hz-5MHz左右的高频的交流电压，则经由各准分子灯10的发光管对封入到内部的放电用气体G10施加所述电压。作为放电用气体G10的气体种，只要是当施加这样的电压时，构成气体种的原子被激励或离子化而成为准分子状态后，转移到基态时产生准分子发光的材料即可。更具体而言，作为放电用气体G10，可以是氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)等一种或多种稀有气体，也可以是氟(F)、氯(Cl)、碘(I)、溴(Br)等卤素气体与上述稀有气体的混合气体。

作为一例，放电用气体G10可以是氪(Kr)、氯(Cl)和氩(Ar)的混合气体。需要说明的是，在该情况下，氪和氯作为发光气体发挥作用，氩作为缓冲气体发挥作用。另外，作为缓冲气体，可以使用从氩(Ar)、氖(Ne)、氦(He)中选择的1种以上的稀有气体。

图6是示意性地表示从与光取出面30相反的一侧(+X方向)观察设置于外壳2的主体部2a内的准分子灯10和电极块(21、22)时的情况的俯视图。本实施方式的紫外线照射装置1具备LED元件5。该LED元件5设置为起动辅助用光源，特别是为了辅助第二准分子灯12的起动而设置。

作为一例，LED元件5是射出峰值波长为250nm以上且300nm以下的光L5的光源。但是，在紫外线照射装置1具备LED元件5的情况下，从LED元件5射出的光L5的波长只要起到第二准分子灯12的起动辅助功能，就没有限定。作为从LED元件5射出的光L5的波长，从包含紫外光区域、蓝色光区域在内的200nm以上500nm以下中适当选择。

当使紫外线照射装置1工作时，从未图示的电源经由电源线8(参照图2)如上述那样在各电极块(21、22)之间施加高频电压。由此，经由发光管对封入于各准分子灯10的放电用气体G10施加上述高频电压。

但是，封入于准分子灯10的放电用气体G10有时仅施加高频电压的话不产生准分子发光。特别是，对于以作为高封入气体压力的第一封入气体压力P1封入有放电用气体G10的第一准分子灯11，仅施加电压就不会产生点亮，或者到点亮为止需要非常长的时间。

在本实施方式的紫外线照射装置1中，对电极块(21、22)之间施加电压，并且从未图示的电源对LED元件5供给电流。由此，LED元件5点亮，对第二准分子灯12照射来自LED元件5的出射光L5。

在通过电极块(21、22)对放电用气体G10施加电压的状态下，若来自LED元件5的出射光L5入射，则第二准分子灯12以该光能为触发而在短时间(例如0.1秒～5秒以内)点亮。

对于第一准分子灯11，也存在来自LED元件5的出射光L5入射的情况。但是，第一准分子灯11与第二准分子灯12相比，放电用气体G10的封入气体压力高，因此，在来自LED元件5的出射光L5的光能下难以瞬时点亮。即，通常不会引起第一准分子灯11比第二准分子灯12先点亮。

如图7所示，当第二准分子灯12点亮时，从第二准分子灯12出射源自放电用气体G10的波长的准分子光(紫外线L12)。该紫外线L12在发光管的外周方向行进，因此也对沿Z方向排列配置的第一准分子灯11进行照射。该紫外线L12相比来自LED元件5的出射光L5具有极高的光能。由此，第一准分子灯11在通过电极块(21、22)对放电用气体G10施加电压的状态下，若从第二准分子灯12射出的紫外线L12入射，则将该光能作为触发而大致同时点亮。

第一准分子灯11中封入有与第二准分子灯12相同的气体种的放电用气体G10。因此，从点亮的第一准分子灯11射出的紫外线L11与从第二准分子灯12射出的紫外线L12一起作为表示相同光谱的紫外线L1从光取出面30朝向照射对象区域40射出。作为放电用气体G10，在含有氪(Kr)和氯(Cl)的情况下，从紫外线照射装置1射出的紫外线L1表示图8所示的光谱。

从提高照度维持率的观点出发，准分子灯10优选提高封入的放电用气体G10的封入气体压力。然而，若提高放电用气体G10的封入气体压力，则从施加电压到点亮为止所需的时间(起动时间)变长。参照下述表1对这一点进行说明。

表1是验证了放电用气体G10的封入气体压力与起动时间的关系的结果。对该验证方法进行说明。

[表1]

样品No.	封入气体压力(kPa)	封入气体压力的偏差	起动延迟时间
				#1	20	0.0％	0
#2	20.5	2.5％	0
				#3	21	5.0％	1
#4	22	10.0％	2
				#5	25	25.0％	10

制作具有与上述的紫外线照射装置1相同的结构、且使封入在4根准分子灯10中的放电用气体G10的封入气体压力全部相同的样品。作为放电用气体G10，利用氪和氯和氖以Kr∶Cl∶Ne＝40∶1∶59的比例混合后的混合气体。

另外，各样品#1～#5使放电用气体G10的封入气体压力相互不同(参照表1)。

对于各样品#1～#5，从未图示的电源施加4kV的电压，测量从电压施加开始到点亮开始的时间。此外，在时间的测量方法中，对各样品#1～#5的光取出面30设置受光传感器，测量电压施加开始时刻与受光传感器的光检测时刻的时滞。

根据表1可知，封入于准分子灯10的放电用气体G10的封入气体压力高，与封入气体压力低的样品#1相比，样品#3～#5的起动时间变慢。进而，若对各样品#3～#5进行比较，则确认到越提高放电用气体G10的封入气体压力则起动时间越慢。

另外，根据表1，在样品#1和样品#2中，对于起动时间未能确认到1秒以上的差。这是因为验证中使用的系统无法检测不到1秒的时间差，但实际上会产生0.1秒～0.5秒左右的起动延迟。

但是，鉴于实际利用紫外线照射装置1的场景，认为即使发生了起动延迟，在该时间小于1秒的情况下，也不会产生过大的问题。另一方面，存在1秒以上的起动延迟对于使用者而言有成为问题的情况。进而，如样品#5那样，在起动延迟时间达到10秒时，在反复进行点亮和熄灭的场景下，成为每次开始运转时点亮均需要时间，可能成为大的问题。

另一方面，如上所述，提高封入于准分子灯10的放电用气体G10的封入气体压力，在提高准分子灯10的照度维持率、实现长寿命化的方面是优选的。即，在将封入于准分子灯10的放电用气体G10的封入气体压力一律降低的情况下，从照度维持率的观点出发，可以说不优选。

如上所述，本实施方式的紫外线照射装置1具备封入气体压力低的第二准分子灯12和封入气体压力高的第一准分子灯11，第一准分子灯11配置在从第二准分子灯12射出的紫外线L12能够入射的位置。由此，第一准分子灯11，在起动较快的第二准分子灯12点亮时，将从该第二准分子灯12射出的紫外线L12作为触发，能够与第二准分子灯12大致同时点亮。

并且，紫外线照射装置1通过具备封入气体压力高的第一准分子灯11，与仅具备封入气体压力低的第二准分子灯12的情况相比，能够实现照度维持率的提高。

与第一准分子灯11相比，第二准分子灯12的放电用气体G10的封入气体压力低，因此照度维持率低。因此，通过长期使用，来自从第二准分子灯12射出的紫外线L12的照度降低。但是，来自从第一准分子灯11射出的紫外线L11的照度的下降速度慢，因此，作为从紫外线照射装置1的光取出面30照射的紫外线L1，能够抑制照度的下降速度。

特别是，根据表1的结果可知，通过具备以第二封入气体压力P2封入有放电用气体G10的第二准分子灯12，以使第二封入气体压力P2与第一封入气体压力P1的压力差成为以第二封入气体压力P2为基准的5％以上，从而能够将起动时间缩短1秒以上。

另外，鉴于表1的结果，还确认到，随着第二封入气体压力P2与第一封入气体压力P1的压力差变大，起动时间的缩短效果逐渐变得显著。因此，第二封入气体压力P2与第一封入气体压力P1的压力差可以以第二封入气体压力P2为基准而设为10％以上，进一步也可以设为25％以上。

另外，从能够抑制从紫外线照射装置1照射的紫外线L1的照度维持率的降低速度并且缩短起动时间的观点出发，更优选使第一准分子灯11的根数比第二准分子灯12多。

[其他实施方式]

以下，对其他实施方式进行说明。

<1>在上述实施方式中，说明了第二准分子灯12位于沿Z方向排列的多个准分子灯10的最端部的情况。但是，第二准分子灯12的配置位置是任意的。例如，如图9A所示，第二准分子灯12也可以位于在其两侧配置第一准分子灯11的中央附近。

<2>紫外线照射装置1也可以具备2根以上的第二准分子灯12。在图9B所示的例子中，示意性地示出了紫外线照射装置1具备3根第一准分子灯11和2根第二准分子灯12的结构。在本实用新型中，紫外线照射装置1所具备的第一准分子灯11和第二准分子灯12各自的根数没有限定。

例如，如图9C所示，紫外线照射装置1也可以具备2根第一准分子灯11和2根第二准分子灯12。另外，紫外线照射装置1也可以具备1根第一准分子灯11和1根第二准分子灯12。

<3>在紫外线照射装置1具备2根以上的第一准分子灯11的情况下，在这些第一准分子灯11之间，放电用气体G10的封入气体压力也可以不同。同样地，在紫外线照射装置1具备2根以上的第二准分子灯12的情况下，在这些第二准分子灯12之间，放电用气体G10的封入气体压力也可以不同。换言之，紫外线照射装置1只要具备放电用气体G10的封入气体压力相对较高的第一准分子灯11和放电用气体G10的封入气体压力相对较低的第二准分子灯12即可，具备表示3种以上不同的封入气体压力的准分子灯10的情况也在本实用新型的范围内。

<4>在上述实施方式中，对紫外线照射装置1具备起动辅助用的LED元件5的情况进行了说明。但是，在本实用新型中，紫外线照射装置1是否具备LED元件5是任意的。在第二准分子灯12的起动性原本较高的情况下、具备触发电极等、利用LED元件5以外的方法进行第二准分子灯12的起动辅助的情况下，紫外线照射装置1也可以不必具备LED元件5。

<5>在上述实施方式中，说明了紫外线照射装置1所具备的各准分子灯10在与发光管的管轴方向(Y方向)正交的Z方向上排列。但是，上述的多个准分子灯10的配置方法只是一例。例如，多个准分子灯10也可以在Z方向以外的与Y方向非平行的方向上排列。另外，作为另一例，多个准分子灯10的一部分也可以以在X方向上错开的状态排列。

<6>参照图2～图6所述的紫外线照射装置1所具备的各准分子灯10的形状、用于对各准分子灯10施加电压的电极块(21、22)形状以及配置方式是任意的，本实用新型并不限定于这些形状等。

<7>容纳各准分子灯10的外壳2不必一定需要形成封闭空间。例如，外壳2也可以是1个面开放、包围3方的形状。

另外，紫外线照射装置1也可以不必具备外壳2。换言之，本实用新型也包含搭载在紫外线照射装置1上的各准分子灯10以完全露出的状态设置的情况。

Claims

1.一种紫外线照射装置，其特征在于，

所述多个准分子灯包括：

第一准分子灯，以第一封入气体压力封入有所述放电用气体；和

第二准分子灯，以比所述第一封入气体压力低的第二封入气体压力封入所述放电用气体，

2.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述第二封入气体压力与所述第一封入气体压力的压力差被设定为以所述第二封入气体压力为基准的5％以上。

3.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

具备LED元件，

所述LED元件配置为，来自该LED元件的出射光至少能够入射到所述第二准分子灯内。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述多个准分子灯包含2根以上的所述第一准分子灯。

5.根据权利要求4所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述多个准分子灯包含所述第一准分子灯的根数以下的根数的所述第二准分子灯。

6.根据权利要求5所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述多个准分子灯包含2根以上的所述第二准分子灯。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

具备一对电极块，与所述第一准分子灯和所述第二准分子灯的全部的所述发光管的一部分部位接触，且以在与所述管轴平行的方向上分离的状态配置。