CN214668644U - 光源装置及使用该光源装置的自动光学检测系统 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种光源装置，包含一弧形壳体，一发光单元与一导光结构相间隔的设置于该弧形壳体内，该导光结构具有一入光面靠近该发光单元，以及相对该入光面的一出光面，该发光单元所发射的光线会在该导光结构内多次反射后均匀地照射至一待测物品表面。
Description
技术领域
本申请是一种光源装置，特别是一种可供自动光学检测(Automatic OpticalInspection,AOI)设备使用的光源装置，以及使用前述光学组件的检测用光源，可以提高自动光学检测的准确度。
背景技术
自动光学检测技术在半导体制造过程中扮演重要脚色，为了避免后续制造的产品有缺陷，半导体制造过程中会以自动光学检测进行初步检验，检测过程中会使用发光二极管照射待测物品并以摄像机接收检测画面，而发光二极管照射至待测物品的光线强度会受到发光二极管的排列位置影响，容易使得待测物品受光不均匀，造成检测不够精准的问题。
实用新型内容
本申请所要解决的技术问题在于提供一种光源装置，特别是一种可供自动光学检测(Automatic Optical Inspection,AOI)设备使用的光源装置，能够提高自动光学检测的精准度。
根据本申请目的，提供一种光源装置，包含一弧形壳体，为一中空壳体且具有二开放端部，一发光单元设置于该弧形壳体内，该发光单元包含一印刷电路板及一发光二极管，该发光二极管设置于该印刷电路板的一表面，以及一导光结构，该导光结构设置于该弧形壳体内且与该发光单元相间隔，该导光结构具有一入光面靠近该发光单元的发光面及相对该入光面的一出光面。
较佳的，该导光结构包含有反射面能够涂布高反射材料或是设置光反射微结构，使该发光单元所发出的光线进入到出光面之前进行多次反射，使光线能够均匀照射至待测物品。
较佳的，该弧形壳体为规则弧形状或不规则的弧形状，用以检测不同形状的待测物并提高缺陷检测率。
此外，本申请进一步提供一种自动光学检测系统，包含有一摄像机，以及该光源装置，其中该摄像机接收该光源装置所发射的光线。
本申请通过弧形壳体而可以将待测物品设置于二开放端部之间，利用导光单元来形呈均匀的光线而照射于待测物品表面，提高自动光学检测的泛用性及精确度。
有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本申请的结构剖视图；
图2是本申请的光路示意图；
图3是本申请的第二实施例示意图；
图4A是待测物的成像均匀度模拟结果；
图4B是本申请第二实施例的成像均匀度模拟结果。
符号说明
X：X轴 L1：光轴 A：反射光线
100：光源装置 10：弧形壳体 11：发光单元
111：印刷电路板 112：发光二极管 12：第一端部
13：第二端部 20：导光结构 21：入光面
22：出光面 30：摄像机 40：待测物品
41：待测表面
具体实施方式
在下文的实施方式中所述的位置关系，包括：上，下，左和右，若无特别指明，皆是以图式中组件绘示的方向为基准。
请参阅图1至图2，本申请所提供实施例为一种光源装置100，包含有中空的一弧形壳体10，以及位于弧形壳体10内部的一发光单元11及一导光结构20。
该弧形壳体10为圆弧状且由上盖体与下盖体对接而成，其顶面形状呈半圆形，该弧形壳体10具有位于同平面且相间隔的第一端部12及第二端部13(即二开放端部)。
该发光单元11设置于该弧形壳体10内且接近其顶面，在本实施例中，该发光单元11设置于弧形壳体10的上盖，该发光单元11包含一印刷电路板111及多个发光二极管112，该发光二极管112设置于该印刷电路板111的一表面，通过该些发光二极管112作为光源以发射可见光及/或不可见光。
该导光结构20在本实施例是安装于弧形壳体10的下盖。在本实施例中，该导光结构20的横断面大致为直角三角形且前述直角三角形的短边靠近发光二极管，前述直角三角形的斜边则远离发光二极管112，使该光源装置100形成梯形的横断面轮廓。因此，该导光结构20具有一入光面21靠近该发光单元11以接收来自发光二极管112所发出的光线，以及相对该入光面21的一出光面22，其中该发光单元11的发光方向定义一X轴，该导光结构20定义一光轴L1为出光方向，该光轴L1与该X轴具有一夹角θ，该夹角θ为锐角且介于10度到60度之间。
此外，该导光结构20包含有高反射材料涂布于入光面21与出光面22之间而形成一反射面。于本实施例中，该反射面贴复合该弧形壳体10的内壁且平行于 X轴。因此，发光二极管112所发出的光线从入光面21射入该导光结构20，在该导光结构20内部进行多次反射进行均匀化后从出光面22沿着光轴L1射出，均匀地照射至待测物品40的表面后，以凸显缺陷影像并提高辨识分析的精准度。前述反射面也可以改为设置光反射微结构来提供反射作用，而不需要涂布光反射材料。
于其他实施例中，可在该发光单元11及该导光结构20的入光面之间加入一透镜，进行聚焦及/或混光，增强该光线的反射效果，使光线能够均匀地照射至待测物品40表面，提高检测精准度。
请参阅图3为本申请的第二实施例，该弧形壳体10会配合待测物的形状而有不同的外型设计，该弧形壳体10为方弧状，本实施例适用于检测方形待测物，方弧状的设计能使光源均匀地反射至方形待测物，请参阅图4A为利用圆弧形壳体检测方形待测物的成像均匀度模拟结果，方形待测表面的成像均匀度仅有 50％，请参阅图4B为第二实施例的成像均匀度模拟结果，利用方弧形壳体检测方形待测物，于第二实施例中光线反射至待测表面41的均匀度为至少90％，减少待测表面在待测物边缘而产生照明不均匀的情况，以提高取像均匀度及缺陷检出率。在此补充的是，该弧形壳体的外型设计可以是但不限于圆弧状、方弧状、波浪状或是其他任意具有规则的弧形状或不规则的弧形状，以适用于检测任意形状的待测物。
此外，本申请进一步提供一种自动光学检测系统，包含有一摄像机30，以及该光源装置100，该光线通过该导光结构20反射后经由光轴L1均匀照射至该待测物品40的表面，该摄像机30接收该反射光线A以辨识该待测物品40表面是否有缺陷。
以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本申请技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本申请技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本申请内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例，但仍应视为与本申请实质相同的技术或实施例。
Claims (9)
1.一种光源装置，其特征在于，包含：
一弧形壳体，呈弯弧状而具有二开放端部；
一发光单元，设置于该弧形壳体内；以及
一导光结构，设置于该弧形壳体内并且与该发光单元相间隔，该导光结构具有一入光面靠近该发光单元，及相对远离该发光单元的一出光面。
2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，该发光单元包含一印刷电路板及多个发光二极管，该些发光二极管设置于该印刷电路板的一表面。
3.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，该导光结构横断面为三角形。
4.根据权利要求3所述的光源装置，其特征在于，该导光结构具有一反射面位于该入光面与该出光面之间。
5.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，该反射面涂布有高反射材料。
6.根据权利要求4所述的光源装置，其特征在于，该反射面设有光反射微结构。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光源装置，其特征在于，该发光单元具有多个发光二极管而以其发光方向定义一X轴，该导光结构的出光面定义一光轴，该光轴与该X轴具有一夹角，该夹角介于10度到60度之间。
8.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，该弧形壳体为规则弧形状或不规则的弧形状。
9.一种自动光学检测系统，其特征在于，包含有一摄像机，以及采用权利要求1所述的光源装置，其中该摄像机接收该光源装置所发射的光线。
Applications Claiming Priority (2)
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| TW109208728 | 2020-07-09 | ||
| TW109208728U TWM604061U (zh) | 2020-07-09 | 2020-07-09 | 光源裝置及使用該光源裝置的自動光學檢測系統 |
Publications (1)
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ID=74203603
Family Applications (1)
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Country Status (2)
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| TW (1) | TWM604061U (zh) |
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2020
- 2020-07-09 TW TW109208728U patent/TWM604061U/zh unknown
- 2020-12-03 CN CN202022865077.9U patent/CN214668644U/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| TWM604061U (zh) | 2020-11-11 |
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant |