CN214651982U - 一种用于硅片自动装花篮的插片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅片自动装花篮的插片机，涉及半导体硅片生产机械技术领域，包括工作台、和设置在工作台上的的料桶和花篮，工作台倾斜设置，料桶的位置高于花篮的位置，料桶的下端设有上推机构，花篮通过花篮底座设置在工作台面上，花篮底座的两端滑动设有导杆，花篮底座的底端设有齿条，齿条的顶端贯穿工作台固定在花篮底座上，齿条通过齿轮传动，齿轮连接有驱动机构，料桶的顶端设有排料轮，排料轮通过传动机构与驱动机构连接。本实用新型利用一个驱动电机利用推动花篮移动的同时，旋转排料轮把硅片装入花篮，完成自动分片装入花篮的动作，自动装蓝的同时，有效避免了对硅片的污染和易碎的问题，有效提升了分片的效率。

Description

一种用于硅片自动装花篮的插片机

技术领域

本实用新型属于半导体硅片生产机械技术领域，具体是一种用于硅片自动装花篮的插片机。

背景技术

在现有的技术中单晶硅通过线切、脱胶清洗及碱腐工序后，需要手动作业将圆形硅片插入到硅片装载装置中，以便进行下道清洗作业，手动分片、插片会造成硅片污染，并且在作业中极易发生破片。半导体硅片对于表面的颗粒度有严格的要求，手动作业产生的次生污染已不能适应生产的需求，在工业发展迅速的大环境下，随着半导体行业的发展，以及人员费用的递增，急需一种自动的硅片插片机取代目前半导体圆形硅片手动插片形式，以适应工业发展趋势。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本实用新型提供了一种用于硅片自动装花篮的插片机，用于解决现有技术中手动分片、插片对硅片造成污染、在作业中易碎片的问题，实现硅片插片的自动化作业。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：包括工作台、和设置在工作台上的料桶和花篮，所述工作台倾斜设置，所述料桶的位置高于所述花篮的位置，所述料桶的下端设有上推机构，花篮通过花篮底座设置在工作台面上，所述花篮底座的两端滑动设有导杆，花篮底座的底端设有齿条，所述齿条的顶端贯穿工作台固定在花篮底座上，齿条通过齿轮传动，齿轮连接有驱动机构，所述料桶的顶端设有排料轮，排料轮通过传动机构与所述驱动机构连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述驱动机构的输出轴上连接有主动轮和所述齿轮，所述排料轮的传动轴上连接有从动轮，所述从动轮和所述主动轮通过皮带连接，所述齿轮与所述齿条相匹配传动，所述主动轮的直径大于所述从动轮的直径。

作为本实用新型的进一步改进，所述上推机构包括推板、挡板和推杆，推杆上固定连接推板和挡板，所述推板在所述料桶内，料桶的下端设有壳体，挡板设置在壳体内，推杆与所述料桶的底部滑动设置而，在挡板下端的推杆上设有上推弹簧，所述上推弹簧的下端固定在所述壳体底端。

作为本实用新型的进一步改进，所述推板和所述挡板之间推杆的长度值等于所述料桶的深度值，所述料桶的顶部靠近所述花篮的一侧设有开口。

作为本实用新型的进一步改进，所述排料轮的外周上设有橡胶圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述花篮底座的左右两端均通过直线轴承与所述导杆滑动设置，所述导杆的下端固定设置在固定箱体上，所述固定箱体与所述工作台之间的导杆外部设有弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，所述花篮上设有与所述花篮底座上设置相对应的卡接装置。

作为本实用新型的进一步改进，所述齿条贯穿所述固定箱体的外壁和所述工作台，齿条的背部设有固定件，所述齿条与所述固定件滑动设置，所述固定件的上下两端分别与工作台和固定箱体固定连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述排料轮和所述从动轮的旋转轴设在上端支架上，所述上端支架的底端固定在工作台上。

作为本实用新型的进一步改进，所述齿轮、所述主动轮和所述驱动机构的旋转轴设在下端支架上，所述下端支架的顶端固定在工作台上。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：

1.本实用新型通过驱动机构和传动机构配合，花篮移动一格，排料轮正好旋转一周把一个硅片旋转至花篮内的格子内，从而完成自动装花篮动作；

2.本实用新型的排料轮上设置了一圈橡胶，橡胶与硅片之间的摩擦力迫使硅片像旋转方向滑动，确保花篮的每个格子里会有硅片放入；

总的来说，本实用新型利用一个驱动电机利用推动花篮移动的同时，旋转排料轮把硅片装入花篮，完成自动分片装入花篮的动作，自动装蓝的同时，有效避免了对硅片的污染和易碎的问题，有效提升了分片的效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明：

图1为本实用新型的侧视结构示意图；

图2为本实用新型除去导杆后的侧视结构示意图；

图3为图1的A向结构示意图。

图中： 1.工作台， 2.料桶， 3.花篮， 4.花篮底座，5.排料轮，501.橡胶圈，6.从动轮，7.齿条，8.齿轮，9.主动轮，10.驱动机构，11.皮带，12.直线轴承，13.导杆，14.推杆，15.推板，16.挡板，17.壳体，18.上推弹簧，19.固定箱体，20.固定件，21.上端支架，22.下端支架。

值得注意的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

具体实施方式

为了本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步的详细说明，应当理解，此处所描述的具体实施方式仅用于理解本实用新型，并不用于限定本实用新型，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：用于硅片自动装花篮的插片机，包括工作台1、和设置在工作台1上的料桶2和花篮3，工作台1倾斜设置，料桶2的位置高于花篮3的位置，花篮3卡接在花篮底座4上，花篮底座4的两端滑动设有导杆13，底端设有齿条7，导杆13贯穿工作台1，齿条7的顶端贯穿工作台1固定在花篮底座4上，齿条7通过齿轮8传动，齿轮8连接有驱动机构10，料桶2的顶端设有排料轮5，排料轮5通过传动机构与驱动机构10连接。

驱动机构10的输出轴上连接有主动轮9和齿轮8，排料轮5的传动轴上连接有从动轮6，从动轮6和主动轮9通过皮带11连接，齿轮8与齿条7相匹配传动，主动轮9的直径大于从动轮6的直径。排料轮5和从动轮6的旋转轴设在上端支架21上，上端支架21的底端固定在工作台1上。齿轮8、主动轮9和驱动机构10的旋转轴设在下端支架22上，下端支架22的顶端固定在工作台1上。排料轮5的外周上设有橡胶圈501。

料桶2的下端设有上推机构，上推机构包括推板15、挡板16和推杆14，推杆14上固定连接推板15和挡板16，推板15在料桶2内，料桶2的下端设有壳体17，挡板16设置在壳体17内，推杆14与料桶2的底部滑动设置，在挡板16下端的推杆14上设有上推弹簧18，上推弹簧18的下端固定在壳体17底端。推板15和挡板16之间推杆14的长度值等于料桶2的深度值，便于把硅片推出料桶2，料桶2内的硅片减少一片，上推弹簧18推动推板15上升，在料桶2的顶部靠近花篮3的一侧设有开口，当硅片到达最顶端与排料轮5接触处时在开口处，方便排料轮5旋转时把硅片旋转出料桶2。

花篮底座4的左右两端均通过直线轴承12与导杆13滑动设置，导杆13的下端固定设置在固定箱体上19，固定箱体19与工作台1之间的导杆13的外部设有弹簧。齿条7贯穿固定箱体19的外壁和工作台1，齿条7的背部设有固定件20，齿条7与固定件20滑动设置，固定件20的上下两端分别与工作台1和固定箱体19固定连接，固定件用于齿条的支撑。

本实用新型在使用过程中，首先把花篮卡入到花篮底座上，料桶中装入硅片，然后开启驱动机构，驱动机构带动主动轮和齿轮转动，齿轮转动带动齿条向上移动，主动轮带动从动轮转动，从动轮带动排料轮转动，排料轮转动把硅片从料桶转入到花篮中，其中主动轮和从动轮的直径设置一定的比例，主动轮大于从动轮的直径，根据花篮中硅片槽的厚度，调节合适的比例，让齿条移动一定齿的数量，硅片槽恰好移动一格格，同时排料轮正好转动一周，把最顶部的硅片从料桶旋转入花篮的硅片槽内，如此往复，把花篮装满硅片，从而完成硅片的分片和装入花篮，有效避免了对硅片的污染和易碎的问题，有效提升了分片的效率。

Claims (10)

1.一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：包括工作台、和设置在工作台上的料桶和花篮，所述工作台倾斜设置，所述料桶的位置高于所述花篮的位置，所述料桶的下端设有上推机构，花篮通过花篮底座设置在工作台面上，所述花篮底座的两端滑动设有导杆，花篮底座的底端设有齿条，所述齿条的顶端贯穿工作台固定在花篮底座上，齿条通过齿轮传动，齿轮连接有驱动机构，所述料桶的顶端设有排料轮，排料轮通过传动机构与所述驱动机构连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述驱动机构的输出轴上连接有主动轮和所述齿轮，所述排料轮的传动轴上连接有从动轮，所述从动轮和所述主动轮通过皮带连接，所述齿轮与所述齿条相匹配传动，所述主动轮的直径大于所述从动轮的直径。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述上推机构包括推板、挡板和推杆，推杆上固定连接推板和挡板，所述推板在所述料桶内，料桶的下端设有壳体，挡板设置在壳体内，推杆与所述料桶的底部滑动设置而，在挡板下端的推杆上设有上推弹簧，所述上推弹簧的下端固定在所述壳体底端。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述推板和所述挡板之间推杆的长度值等于所述料桶的深度值，所述料桶的顶部靠近所述花篮的一侧设有开口。

5.根据权利要求2所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述排料轮的外周上设有橡胶圈。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述花篮底座的左右两端均通过直线轴承与所述导杆滑动设置，所述导杆的下端固定设置在固定箱体上，所述固定箱体与所述工作台之间的导杆外部设有弹簧。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述花篮上设有与所述花篮底座上设置相对应的卡接装置。

8.根据权利要求6所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述齿条贯穿所述固定箱体的外壁和所述工作台，齿条的背部设有固定件，所述齿条与所述固定件滑动设置，所述固定件的上下两端分别与工作台和固定箱体固定连接。

9.根据权利要求2所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述排料轮和所述从动轮的旋转轴设在上端支架上，所述上端支架的底端固定在工作台上。

10.根据权利要求2所述的一种用于硅片自动装花篮的插片机，其特征在于：所述齿轮、所述主动轮和所述驱动机构的旋转轴设在下端支架上，所述下端支架的顶端固定在工作台上。

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