CN214625003U - 一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构 - Google Patents
一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN214625003U CN214625003U CN202120266442.6U CN202120266442U CN214625003U CN 214625003 U CN214625003 U CN 214625003U CN 202120266442 U CN202120266442 U CN 202120266442U CN 214625003 U CN214625003 U CN 214625003U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- manipulator
- wafer cleaning
- rail
- grating sensor
- transmission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 35
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本申请涉及一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构，在常规的伺服步进电机控制行程的基础上，增加了进一步确定机械手位置停在正确的光电传感器，通过双重保险保障机械手停止了需要的位置。同时，当机械手未停在正确位置时，通过第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器判断机械手是否位于附近及位置。
Description
技术领域
本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构。
背景技术
晶圆清洗设备传输机构是将晶圆篮或者直接将晶圆进行运输的机构，用于将晶圆传输至各个清洗工位。
如图1所示，即为一种晶圆清洗设备传输机构的结构，包括传输轨道1和机械手2，机械手2能够在传输轨道1上运动，机械手2停止在传输轨道1的特定位置上，特定位置与工位相对应，当机械手2 停止时，即可实现晶圆的抓取和输送操作。现有技术中，通常通过设定伺服步进电机的运动行程，来对机械手2的停止位置进行控制，运动行程的控制通常又是通过控制电机的转动量来进行的，然而当传输过程中如果电机发生滑动等事故时，电机转动计数得到的运动行程量与机械手2实际运动行程不一致时就会对机械手2的实际位置发生误判，从而使晶圆的传输发出错误。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够更精确定位的精确定位的晶圆清洗设备传输机构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
本申请提供一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构，包括：
传输轨道和设置在所述传输轨道上能够沿所述传输轨道移动并用于抓取晶圆的机械手；
还包括：
伺服步进电机，用于驱动机械手运动；
光电传感器，设置在机械手停止位置处，用于感应机械手是否存在于停止位置；
第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器，设置在传输轨道上，分别位于光电传感器两侧，用于在机械手不处于正确位置时感应机械手相对于光电传感器的位置。
优选地，本实用新型的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器的感应器的宽度为2-5cm。
优选地，本实用新型的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，所述传输轨道设置有齿条，所述伺服步进电机的输出端上设置有与齿条配合的齿轮。
优选地，本实用新型的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，所述传输轨道设置有两条高度平行的导轨，且齿条位于两条导轨，机械手通过滑块在导轨上运动。
优选地，本实用新型的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，所述伺服步进电机具有电机编码器，电机编码器用于控制机械手的运动方向和行程。
优选地，本实用新型的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，所述传输轨道由上下两条安装架组成，每条安装架各设置有一条导轨，所述安装架由铝合金的型材所制成。
本实用新型的有益效果是：
本申请的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，在常规的伺服步进电机控制行程的基础上，增加了进一步确定机械手位置停在正确的光电传感器，通过双重保险保障机械手停止了需要的位置。同时，当机械手未停在正确位置时，通过第一块状光栅传感器和第二块状光栅传感器判断机械手是否位于附近及位置。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是晶圆清洗设备传输机构的结构示意图；
图2是本申请实施例1中精确定位的晶圆清洗设备传输机构的结构示意图；
图3是本申请图1中机械手部分的局部放大图；
图中的附图标记为：
1 传输轨道
2 机械手
3 光电传感器
5 伺服步进电机
7 卡爪升降驱动件
8 卡爪
41 第一块状光栅传感器
42 第二块状光栅传感器
51 齿轮
61 齿条
62 导轨。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例1
本实施例提供一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构，如图2所示，包括：
传输轨道1和设置在所述传输轨道1上能够沿所述传输轨道1移动并用于抓取晶圆的机械手2；
还包括：
伺服步进电机5，用于驱动机械手2运动，具有电机编码器以控制机械手2的运动方向和行程，机械手2的运动方向和行程量都是预先写入电机编码器中，常见的电机编码器均具有上述功能，这里不再赘述如何设定；
光电传感器3，设置在机械手2停止位置处，用于感应机械手2 是否存在于停止位置；
第一块状光栅传感器41和第二块状光栅传感器42，设置在传输轨道1上，分别位于光电传感器3两侧，用于在机械手2不处于正确位置时感应机械手2相对于光电传感器3的位置(偏左还是偏右)。
本实施例的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，在常规的伺服步进电机5控制行程的基础上，增加了进一步确定机械手2位置停在正确的光电传感器，通过双重保险保障机械手2停止了需要的位置。同时，当机械手2未停在正确位置时，通过第一块状光栅传感器41和第二块状光栅传感器42判断机械手2是否位于附近及位置，第一块状光栅传感器41和第二块状光栅传感器42能够感应到机械手2时，说明还可以微调机械手2使机械手2达到正确位置，当第一块状光栅传感器41和第二块状光栅传感器42都感应不到机械手2，说明机械手2的位置出现较大的偏差，此时只能通过报警提醒工作人员检查问题了。
进一步，第一块状光栅传感器41和第二块状光栅传感器42的感应器的宽度为2-5cm。也即机械手2向左或者向右偏差2-5cm时能够被感应到。2-5cm是可以进行调整的较佳位置，超过该范围，行程误差就较大了，需要人工干预了。
进一步，所述传输轨道1设置有齿条61，所述伺服步进电机的输出端上设置有与齿条配合的齿轮51，使用齿轮齿条的传动结构具有传动精度高，效率高、运行平稳等优点。
进一步，所述传输轨道1设置有两条高度平行的导轨62，且齿条61位于两条导轨62，机械手2通过滑块在导轨62上运动。两道导轨62能够保证机械手2更加平稳。从图2中可以看到，传输轨道1由上下两条安装架组成，每条安装架各设置有一条导轨62。从整体上看，上下两条安装架之间还通过若干竖直的固定架固定，安装架、固定架由铝合金的型材所制成，以便于各种传感器、导轨62、齿条 61的安装。
除此以外，图3中还展示了卡爪8，卡爪升降驱动件7，卡爪升降导轨等等。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构，其特征在于，包括：
传输轨道(1)和设置在所述传输轨道(1)上能够沿所述传输轨道(1)移动并用于抓取晶圆的机械手(2)；
还包括：
伺服步进电机(5)，用于驱动机械手(2)运动；
光电传感器(3)，设置在机械手(2)停止位置处，用于感应机械手(2)是否存在于停止位置；
第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)，设置在传输轨道(1)上，分别位于光电传感器(3)两侧，用于在机械手(2)不处于正确位置时感应机械手(2)相对于光电传感器(3)的位置。
2.根据权利要求1所述的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，其特征在于，第一块状光栅传感器(41)和第二块状光栅传感器(42)的感应器的宽度为2-5cm。
3.根据权利要求1所述的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，其特征在于，所述传输轨道(1)设置有齿条，所述伺服步进电机的输出端上设置有与齿条配合的齿轮。
4.根据权利要求1所述的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，其特征在于，所述传输轨道(1)设置两条高度平行的导轨(62)，且齿条(61)位于两条导轨(62)，机械手(2)通过滑块在导轨(62)上运动。
5.根据权利要求1所述的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，其特征在于，所述伺服步进电机(5)具有电机编码器，电机编码器用于控制机械手(2)的运动方向和行程。
6.根据权利要求4所述的精确定位的晶圆清洗设备传输机构，其特征在于，所述传输轨道(1)由上下两条安装架组成，每条安装架各设置有一条导轨(62)，所述安装架由铝合金的型材所制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120266442.6U CN214625003U (zh) | 2021-01-31 | 2021-01-31 | 一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120266442.6U CN214625003U (zh) | 2021-01-31 | 2021-01-31 | 一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214625003U true CN214625003U (zh) | 2021-11-05 |
Family
ID=78439690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120266442.6U Active CN214625003U (zh) | 2021-01-31 | 2021-01-31 | 一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214625003U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116666268A (zh) * | 2023-05-18 | 2023-08-29 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置 |
-
2021
- 2021-01-31 CN CN202120266442.6U patent/CN214625003U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116666268A (zh) * | 2023-05-18 | 2023-08-29 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置 |
| CN116666268B (zh) * | 2023-05-18 | 2023-12-01 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种槽内晶圆篮故障排除方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2021168970A1 (zh) | 基于三维视觉的小型机械臂搬运小车 | |
| CN109573449A (zh) | 一种搬运机器人、仓储物流系统及货箱搬运方法 | |
| US7408314B2 (en) | Control device for movable body | |
| CN214625003U (zh) | 一种精确定位的晶圆清洗设备传输机构 | |
| CN103009031B (zh) | 自动装配线/机专用电传动取放机械手 | |
| CN111847261A (zh) | 重载智能搬运行车 | |
| CN205238050U (zh) | 一种四自由度机械手 | |
| JP2006290510A (ja) | 搬送装置 | |
| CN214086497U (zh) | 上料装置及上料系统 | |
| CN113306941A (zh) | 一种存储搬运机器人的自学定位结构及其自学定位方法 | |
| CN116040300B (zh) | 一种芯片承载盘输送装置及输送方法 | |
| CN208575733U (zh) | 一种对中定位装置 | |
| CN113759819B (zh) | 一种用于物流搬送的升降机构控制系统及流程 | |
| CN208531817U (zh) | 一种用于搬运布料卷芯的机械手 | |
| CN216582269U (zh) | 一种用于穿梭车的定位装置 | |
| CN214166545U (zh) | 下料托盘装置 | |
| KR200234110Y1 (ko) | 롤표면용조도측정기의자동이송장치 | |
| CN214878049U (zh) | 火车车轮夹取装置 | |
| CN210001203U (zh) | 一种全自动玻璃位置寻找机构 | |
| CN209857850U (zh) | 一种方形玻璃检测设备 | |
| CN112847308A (zh) | 一种基于视觉识别的对位夹取机构 | |
| CN215375057U (zh) | 一种变压器绕组生产用绕线检测装置 | |
| CN218967853U (zh) | 取放料机器人及取放料系统 | |
| CN220782878U (zh) | 双行程锁附装置 | |
| CN114348633B (zh) | 一种自动搬运工字轮的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 225500 No. 151, Keji Avenue, Sanshui street, Jiangyan District, Taizhou City, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu Yadian Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 225300 No.199, Keji Road, Sanshui street, Jiangyan District, Taizhou City, Jiangsu Province Patentee before: Jiangsu Yadian Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |