CN214611496U - 一种半导体湿法化学液供给装置 - Google Patents

Abstract

一种半导体湿法化学液供给装置，包括第一储液桶、第二储液桶、进液管、第一电磁阀、电机、调速装置、转动杆、搅拌叶、抽液管、泵体、导液管、警报器、出液管、第二电磁阀、终端控制器和液位检测器，所述第一储液桶顶端左侧设置有进液管，进液管上设置有第一电磁阀，第一储液桶顶端右侧设置有抽液管，第一储液桶左侧设置有电机，第二储液桶内部的液位检测器可以对桶内的化学液进行检测，当化学液液体过少时，液位检测器可以将数值通过电性连接传输至终端控制器上，通过终端控制器可以控制泵体将第一储液桶内的化学液导入第二储液桶内部，以确保第二储液桶内的化学液保持在够用的状态，避免出现补给化学液时会影响正常生产的进展。

Description

一种半导体湿法化学液供给装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体湿法化学液供给装置。

背景技术

随着半导体器件工艺的发展以及按比例尺寸缩小，在半导体器件的工艺过程中，越小的缺陷(defect)将会给良率带来越大的影响。以接触孔湿法清洗步骤为例，其对工艺要求严格，工艺过程中不能中断。

例如公开号为“CN201320717101.1”专利名称为：“化学液供给装置”的专利，其公开了“储液罐、进液管(路、出液管路、连接管路、进气管路、排风管路，所述出液管路与所述储液罐的侧壁相连接。当厂务端向储液罐补充化学液时，设置于所述进液管路上第四阀打开，设置于所述连接管路上的第二阀和设置于排风管路上第三阀导通，设置于所述出液管路上的第五阀关闭，储液罐内部整体为负压，化学液进入储液罐中，液位到达液位检测器时补液停止。当机台运行工艺process时，设置于所述进液管路上的第四阀关闭，第一阀和第二阀导通，第五阀打开，储液罐内部为正压，机台通过进气管路输入氮气N，把化学液压入机台的工艺腔内。当机台闲置idle时，第一阀和第五阀关闭，第二阀和第三阀导通，机台为负压，机台通过排风EXH把储液罐液位上端的气泡排出。然而，负压会加快化学液的挥发，影响化学液的浓度，对工艺产生不良影响。通常，机台运行工艺时化学液流量很低，例如，一个批次lot在运行工艺时消耗的氨水量仅为ml左右；液体流量flowrate要求也很低，仅为ml/min左右，若出液管路中气泡过多会影响NHOH的流量，若流量达到报警的下限工艺停止，而这一道的工艺的突然中断，会为晶圆引入一些残留缺陷residuedefect，这种残留缺陷易将孔洞堵住，导致后道的钨不能填充进去，进而导致联系中断影响WAT及CP测试结果”。

但是现有的化学液供给装置在使用时，而化学液在使用中会被逐渐的消耗掉，在给化学液桶进行补给时则会影响正常生产的进行，并且在化学液存储的过程中，底部的化学液容易结晶。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种实用性强、结构简单的半导体湿法化学液供给装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体湿法化学液供给装置，包括第一储液桶、第二储液桶、进液管、第一电磁阀、电机、调速装置、转动杆、搅拌叶、抽液管、泵体、导液管、警报器、出液管、第二电磁阀、终端控制器和液位检测器，所述第一储液桶顶端左侧设置有进液管，进液管上设置有第一电磁阀，所述第一储液桶顶端右侧设置有抽液管，第一储液桶左侧设置有电机，电机上设置有调速装置，所述第一储液桶内部设置有转动杆，转动杆上设置有搅拌叶，所述抽液管一端与第一储液桶相通，另一端设置有泵体，所述泵体一侧设置有导液管，导液管与第二储液桶相通，所述第二储液桶顶端设置有警报器，第二储液桶内部底端设置有导流板，第二储液桶内部设置有液位检测器，所述第二储液桶底端设置有出液管，出液管上设置有第二电磁阀，所述第二储液桶右侧设置有终端控制器。

为了提高供给装置的使用寿命，本实用新型改进有，所述第一储液桶与第二储液桶均为不锈钢材质。

为了实现储液桶的耐用性，本实用新型改进有，所述第一储液桶与第二储液桶内壁侧涂有聚四氟乙烯涂层。

为了实现更好的控制，本实用新型改进有，所述第一电磁阀与第二电磁阀与终端控制器电性连接，所述液位检测器与警报器和终端控制器电性连接。

为了实现更好的出液，本实用新型改进有，所述导流板为锥形设置。

为了实现更好的搅拌，本实用新型改进有，所述转动杆横向设置在第一储液桶内部，所述转动杆与电机相连。

为了实现更好的使用，本实用新型改进有，所述电机为伺服电机，所述调速装置与终端控制器电性连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体湿法化学液供给装置，具备以下有益效果：

该半导体湿法化学液供给装置，在使用时，第二储液桶内部的液位检测器可以对桶内的化学液进行检测，当化学液液体过少时，液位检测器可以将数值通过电性连接传输至终端控制器上，同时使警报器进行警报，以及时提醒人员，通过终端控制器可以控制泵体将第一储液桶内的化学液导入第二储液桶内部，以确保第二储液桶内的化学液保持在够用的状态，避免出现补给化学液时会影响正常生产的进展。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1的外部结构示意图；

图中：1.第一储液桶；2.第二储液桶；3.进液管；4.第一电磁阀；5.电机；6.调速装置；7.转动杆；8.搅拌叶；9.抽液管；10.本体；11.导液管；12.导流板；13.警报器；14.出液管；15.第二电磁阀；16.终端控制器；17.液位检测器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种半导体湿法化学液供给装置，包括第一储液桶1、第二储液桶2、进液管3、第一电磁阀4、电机5、调速装置6、转动杆7、搅拌叶8、抽液管9、泵体10、导液管11、警报器13、出液管14、第二电磁阀15、终端控制器16和液位检测器17，所述第一储液桶1顶端左侧设置有进液管3，进液管3上设置有第一电磁阀4，所述第一储液桶1顶端右侧设置有抽液管9，第一储液桶1左侧设置有电机5，电机5上设置有调速装置6，所述第一储液桶1内部设置有转动杆7，转动杆7上设置有搅拌叶8，所述抽液管9一端与第一储液桶1相通，另一端设置有泵体10，所述泵体10一侧设置有导液管11，导液管11与第二储液桶2相通，所述第二储液桶2顶端设置有警报器13，第二储液桶2内部底端设置有导流板12，第二储液桶2内部设置有液位检测器17，所述第二储液桶2底端设置有出液管14，出液管14上设置有第二电磁阀15，所述第二储液桶2右侧设置有终端控制器16。

为了提高供给装置的使用寿命，本实用新型改进有，所述第一储液桶1与第二储液桶2均为不锈钢材质。

为了实现储液桶的耐用性，本实用新型改进有，所述第一储液桶1与第二储液桶2内壁侧涂有聚四氟乙烯涂层。

为了实现更好的控制，本实用新型改进有，所述第一电磁阀4与第二电磁阀15与终端控制器16电性连接，所述液位检测器17与警报器13和终端控制器16电性连接。

为了实现更好的出液，本实用新型改进有，所述导流板12为锥形设置。

为了实现更好的搅拌，本实用新型改进有，所述转动杆7横向设置在第一储液桶1内部，所述转动杆7与电机5相连。

为了实现更好的使用，本实用新型改进有，所述电机5为伺服电机5，所述调速装置6与终端控制器16电性连接。

综上所述，该半导体湿法化学液供给装置的工作原理和工作过程为，在使用时，首先将第一储液桶1和第二储液桶2均装有相同的化学液，当使用过程中，第二储液桶2通过出液管14进行供给化学液，在第二储液桶2内部的液位检测器17可以对桶内的化学液进行检测，当化学液液体过少时，液位检测器17可以将数值通过电性连接传输至终端控制器16上，同时使警报器13进行警报，以及时提醒人员，使用人员可以通过终端控制器16控制泵体10将第一储液桶1内的化学液导入第二储液桶2内部，以确保第二储液桶2内的化学液保持在够用的状态，避免出现补给化学液时会影响正常生产的进展，当第一储液桶1内部化学液导入第二储液桶2内部后，在通过终端控制器16开启第一电磁阀4，通过进液管3将第一储液桶1内部灌满化学液，以便进行下次使用，在第一储液桶1内部底端横向设置的转动杆7，转动杆7通过电机5带动搅拌叶8对化学液进行缓慢的搅拌，避免在上时间的静置中导致底部的化学液结晶，所述电机5通过调速装置6可以进行调节电机5的转速，以便应对不同时段的化学液，提高了供给装置的实用性，在第一储液桶1与第二储液桶2内壁侧均涂有聚四氟乙烯涂层，聚四氟乙烯涂层可以有效的防止化学物质对其造成腐蚀影响，提高了使用寿命。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：包括第一储液桶(1)、第二储液桶(2)、进液管(3)、第一电磁阀(4)、电机(5)、调速装置(6)、转动杆(7)、搅拌叶(8)、抽液管(9)、泵体(10)、导液管(11)、警报器(13)、出液管(14)、第二电磁阀(15)、终端控制器(16)和液位检测器(17)，所述第一储液桶(1)顶端左侧设置有进液管(3)，进液管(3)上设置有第一电磁阀(4)，所述第一储液桶(1)顶端右侧设置有抽液管(9)，第一储液桶(1)左侧设置有电机(5)，电机(5)上设置有调速装置(6)，所述第一储液桶(1)内部设置有转动杆(7)，转动杆(7)上设置有搅拌叶(8)，所述抽液管(9)一端与第一储液桶(1)相通，另一端设置有泵体(10)，所述泵体(10)一侧设置有导液管(11)，导液管(11)与第二储液桶(2)相通，所述第二储液桶(2)顶端设置有警报器(13)，第二储液桶(2)内部底端设置有导流板(12)，第二储液桶(2)内部设置有液位检测器(17)，所述第二储液桶(2)底端设置有出液管(14)，出液管(14)上设置有第二电磁阀(15)，所述第二储液桶(2)右侧设置有终端控制器(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述第一储液桶(1)与第二储液桶(2)均为不锈钢材质。

3.根据权利要求2所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述第一储液桶(1)与第二储液桶(2)内壁侧涂有聚四氟乙烯涂层。

4.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述第一电磁阀(4)与第二电磁阀(15)与终端控制器(16)电性连接，所述液位检测器(17)与警报器(13)和终端控制器(16)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述导流板(12)为锥形设置。

6.根据权利要求1所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述转动杆(7)横向设置在第一储液桶(1)内部，所述转动杆(7)与电机(5)相连。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种半导体湿法化学液供给装置，其特征在于：所述电机(5)为伺服电机(5)，所述调速装置(6)与终端控制器(16)电性连接。

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