CN214572353U - 一种易取坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种易取坩埚，应用于高温制造过程中,所述坩埚的内表面对应石英坩埚的外表面，所述坩埚包括一埚体和至少一活动块，所述埚体对应所述活动块的位置开设一侧孔，一个所述活动块设置在一个所述侧孔中，所述活动块靠近所述石英坩埚的一侧的面积大于另外一侧的面积，所述侧孔的形状对应所述活动块的形状。本申请的坩埚在每次去除石英坩埚时,采用活动块直接敲打石英坩埚，使得坩埚和石英坩埚完好分离，不易损坏外侧的坩埚，可以有效延长外侧坩埚的寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种热场装置，具体涉及一种采用敲打方式容易和石英坩埚分离的坩埚。
背景技术
在单晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(CZ法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在现有技术设备中，随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也越做越大，这样对热场的可靠性也要求越来越高，其它诸如高温炉和气淬炉也有这样的要求。由于直径越大那么其壁厚要求也越大，所以重量很重，现有技术已经使用轻质的材料或拼接方式制作坩埚，但是，使用大的石墨块挖空来制作坩埚，或者是其它材料例如碳碳，又或者是采用拼接制作，由于都是包覆在石英坩埚的外表面，在石英坩埚损坏时，往往石英坩埚的外表面贴附在坩埚的内表面，在敲打损坏的石英坩埚时，同时会造成外部坩埚的损伤。
综上所述，现有技术高温热场的坩埚除了自身的使用寿命到期需要更换外，在石英坩埚损坏敲打时，也会报废更新，形成浪费，造成成本增加。
因此，现有技术的坩埚还有提升的地方。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种采用活动块敲打方式，容易和石英坩埚分离的坩埚，以解决现有技术的问题。
为实现上述目的，本实用新型采用了以下的技术方案：
一种易取坩埚，应用于高温制造过程中,所述坩埚的内表面对应石英坩埚的外表面，所述坩埚包括一埚体和至少一活动块，所述埚体对应所述活动块的位置开设一侧孔，一个所述活动块设置在一个所述侧孔中，所述活动块靠近所述石英坩埚的一侧的面积大于另外一侧的面积，所述侧孔的形状对应所述活动块的形状。
依照本申请较佳实施例所述的易取坩埚，所述活动块的外沿切面为斜线。
依照本申请较佳实施例所述的易取坩埚，所述活动块的外沿切面为阶梯状。
依照本申请较佳实施例所述的易取坩埚，所述活动块的外沿为多边形。
本申请的核心思想在于，制作一种坩埚，坩埚上开设侧孔，在侧孔中设置活动块，活动块的内侧面积大于外侧面积，采用嵌入结构，活动块只能从内侧移出，这样在受到石英坩埚膨胀挤压时不至于脱落，这种坩埚上设置的活动块可以根据实际的设计要求灵活设计其数量和位置，便于实现快速破碎石英坩埚而不会伤害设置在石英坩埚外侧的坩埚，使用达到设计寿命，节约成本。所谓的易取的意思是容易将坩埚中损坏的石英坩埚取出来的意思。
由于采用了以上的技术方案，使得本实用新型具有如下的优点效果：
1、本申请的坩埚在每次去除石英坩埚时,采用活动块直接敲打石英坩埚，使得坩埚和石英坩埚完好分离，不易损坏外侧的坩埚，可以有效延长外侧坩埚的寿命；
2、本申请的坩埚可以大大节约取出石英坩埚的时间，提升生产效率节约企业成本。
3、本申请的坩埚设置多个活动块，可以采用专用破除工装一次去除石英坩埚，为自动化拆除石英坩埚提供了解决方案。
当然，实施本申请内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。
附图说明
图1为本申请坩埚和石英坩埚示意图；
图2为本申请活动块的剖开示意图；
图3为本申请活动块的另一剖开示意图；
图4为本申请活动块的形状示意图。
具体实施方式
为便于理解，以下结合附图对本实用新型的较佳实施例做进一步详细叙述。
以下结合附图，具体说明本申请。请参见图1和图2，一种坩埚10，应用于高温制造过程中,所述坩埚10的内表面对应石英坩埚20的外表面，所述坩埚10包括一埚体11和至少一活动块12，所述埚体11对应所述活动块12的位置开设一侧孔13，一个所述活动块12设置在一个所述侧孔13中，所述侧孔13的形状对应所述活动块12的形状，也就是所述坩埚10的所述侧孔13和所述活动块12的形状匹配，紧密配合，所以所述活动块12的数量等于所述侧孔13的数量，所述活动块12靠近所述石英坩埚20的一侧的面积大于另外一侧的面积。由于受力时，所述活动块12要能够朝向石英坩埚20移动，因此不能存在卡止的现象。
在所述侧孔13中设置所述活动块12，所述活动块12从内侧放入所述侧孔13而且只能从内侧移出，这样在受到石英坩埚20膨胀挤压时不至于从外侧脱落，这种坩埚10上设置的活动块12可以根据实际的设计要求灵活设计其数量和位置，例如在90度角的四个方位个设置一个所述活动块12，而且相邻的两个所述活动块12一上一下，在石英坩埚20损坏时，以外力施加在所述活动块12的外侧，所述活动块12受力撞击内侧的石英坩埚20，将石英坩埚20击碎，优选的，所述活动块12可以采用碳碳材料，质地坚硬更耐腐蚀，实现快速破碎石英坩埚20而不会伤害设置在石英坩埚20外侧的所述坩埚10的目的，外侧的所述坩埚10可以使用达到设计的使用寿命。
优选的，如图2所示，所述活动块12的外沿切面A为斜线，这种所述活动块12是锥形体的一部份，朝向石英坩埚20的一侧面积大于另外一侧的面积，这样在受到石英坩埚20膨胀挤压时不至于从外侧脱落。所述侧孔13的形状对应所述活动块12的形状，在所述活动块12放入所述侧孔13后还是可以保证坩埚应该有的功能。
优选的，如图3所示所述活动块12的另外一种实施例，所述活动块12的外沿切面B为阶梯状，这种所述活动块12朝向石英坩埚20的一侧面积大于另外一侧的面积，两侧的外沿切面呈现阶梯状，也就是存在落差，这样在受到石英坩埚20膨胀挤压时不至于从外侧脱落。所述侧孔13的形状对应所述活动块12的形状，在所述活动块12放入所述侧孔13后还是可以保证坩埚应该有的功能。
优选的，如图4所示，所述活动块内侧的形状，所述活动块12的外沿为多边形，本实施例中所述活动块12为八边形，但是不能用来限制本申请，例如三角形、四边形、星形或圆形等等，只要能够嵌入所述侧孔13中，都应该是本申请的保护范围。
坩埚的直径大小和高度高矮是依据热场的不同而有所不同的，当然，直径的大小、高矮在设计时，已经设计好了，对不同的坩埚，我们可以增减活动块12的数量来控制，例如一般直径90公分，高度200公分时，就需要8个有序分布的活动块12，经过对这8个有序分布的活动块12进行敲击，可以容易的击碎内部的石英坩埚，顺利取出石英坩埚。当然也可以不均匀分布，根据坩埚强度计算结果选择孔的分布位置，不可以因为开了所述侧孔13导致坩埚破损、影响坩埚使用寿命。在设置多个活动块的情况下，可以采用专用破除工装一次去除石英坩埚，自动化拆除石英坩埚，更加的省时省工。
由于采用了以上的技术方案，使得本实用新型具有如下的优点效果：
1、本申请的坩埚在每次去除石英坩埚时,采用活动块直接敲打石英坩埚，使得坩埚和石英坩埚完好分离，不易损坏外侧的坩埚，可以有效延长外侧坩埚的寿命；
2、本申请的坩埚可以大大节约取出石英坩埚的时间，提升生产效率节约企业成本。
3、本申请的坩埚设置多个活动块，可以采用专用破除工装一次去除石英坩埚，为自动化拆除石英坩埚提供了解决方案。
当然，实施本实用新型内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。
以上公开的仅仅是本实用新型的较佳实施例，但并非用来限制其本身，任何熟习本领域的技术人员在不违背本实用新型精神内涵的情况下，所做的均等变化和更动，均应落在本实用新型的保护范围内。
Claims (4)
1.一种易取坩埚，应用于高温制造过程中,其特征在于，所述坩埚的内表面对应石英坩埚的外表面，所述坩埚包括一埚体和至少一活动块，所述埚体对应所述活动块的位置开设一侧孔，一个所述活动块设置在一个所述侧孔中，所述活动块靠近所述石英坩埚的一侧的面积大于另外一侧的面积，所述侧孔的形状对应所述活动块的形状。
2.如权利要求1所述的易取坩埚，其特征在于，所述活动块的外沿切面为斜线。
3.如权利要求1所述的易取坩埚，其特征在于，所述活动块的外沿切面为阶梯状。
4.如权利要求1所述的易取坩埚，其特征在于，所述活动块的外沿为多边形。
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