CN214529227U - 一种高效真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效真空镀膜装置，包括主体，所述主体右侧靠近底端位置设置有真空泵，所述主体内部底端设置有两组支架，两组所述支架之间靠近底部位置设置有加热棒，两组所述支架之间靠近中间位置设置有坩埚，两组所述支架之间靠近上端位置设置有镀膜仓，所述镀膜仓上端设置有盖板，所述盖板底端设置有安装板，所述安装板上端靠近中间位置开设有滑槽，所述安装板上端靠近右端位置设置有固定卡夹，所述固定卡夹左侧设置有夹持机构，所述夹持机构包括横板，所述横板上端靠近左端位置固定设置有竖板。该高效真空镀膜装置可以很好地对铸件进行夹持，便于工作人员更换损坏的限位板，节约成本。

Description

一种高效真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种高效真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺；

市场上的高效真空镀膜装置，大多不可以很好夹持铸件，限位板安装和拆卸较为麻烦，为此，我们提出一种高效真空镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的市场上的高效真空镀膜装置，大多不可以很好夹持铸件，限位板安装和拆卸较为麻烦的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效真空镀膜装置，包括主体，所述主体右侧靠近底端位置设置有真空泵，所述主体内部底端设置有两组支架，两组所述支架之间靠近底部位置设置有加热棒，两组所述支架之间靠近中间位置设置有坩埚，两组所述支架之间靠近上端位置设置有镀膜仓，所述镀膜仓上端设置有盖板，所述盖板底端设置有安装板，所述安装板上端靠近中间位置开设有滑槽，所述安装板上端靠近右端位置设置有固定卡夹，所述固定卡夹左侧设置有夹持机构。

优选的，所述夹持机构包括横板，所述横板上端靠近左端位置固定设置有竖板，所述横板底端靠近中间位置设置有滑块，所述横板上端靠近中间位置开设有滑道，所述滑道内部设置有滑板，所述滑板上端设置有限位板，所述滑板左端设置有链条，所述链条上套设有固定机构。

优选的，所述固定机构包括连接板，所述连接板左端设置有L型夹板，所述L型夹板左侧面靠近中间位置设置有限位卡板，所述L型夹板上设置有固定板，所述固定板和L型夹板之间设置有转轴，所述L型夹板左侧面靠近底部位置设置有固定卡板，所述固定板右侧靠近中间位置开设有限位槽，所述固定板右侧靠近底部位置开设有卡槽。

优选的，所述横板左侧靠近前端位置设置有主动轮，所述主动轮右端设置有从动轮，所述从动轮上端设置有齿轮，所述主动轮和从动轮相互啮合，链条上开设有若干组与齿轮相匹配的齿槽。

优选的，所述盖板和镀膜仓之间设置有铰链，滑槽右侧壁设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆右侧设置有驱动电机，横板通过滑块配合电动伸缩杆沿着滑槽左右移动。

优选的，所述夹持机构与固定卡夹相互配合，所述限位板通过滑板配合链条沿着滑道左右移动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该高效真空镀膜装置通过设置有夹持机构，主动轮通过从动轮配合齿轮使链条旋转，进而使限位板在滑板的作用下沿着滑道左右移动，可以调整限位板与竖板之间的距离，从纵向夹紧铸件，之后通过驱动电机配合电动伸缩杆，调整夹持机构和固定卡夹之间的距离，使铸件可以很好地放置夹持机构和固定卡夹之间，最后将铸件右端重复上述操作固定在固定卡夹内部，可以很好地对铸件进行夹持，便于镀膜；

该高效真空镀膜装置通过设置有固定机构，将链条放置在L型夹板和固定卡板之间，此时限位卡板穿过链条上的一组齿槽，可以防止固定机构在工作时滑动，之后通过转轴向右转动固定板,将卡槽套设在固定卡板上，使限位板配合固定机构活动设置在链条上，更换限位板时向左转动固定板即可很方便的将固定机构取下，使限位板的安装和拆卸较为便捷。

附图说明

图1为本实用新型整体内部结构示意图；

图2为本实用新型镀膜仓结构示意图；

图3为本实用新型A的放大图；

图4为本实用新型横板内部结构示意图；

图5为本实用新型链条与滑板连接示意图。

图中：1、主体；2、支架；3、加热棒；4、坩埚；5、镀膜仓；6、连接板；7、L型夹板；8、限位卡板；9、固定板；10、转轴；11、限位槽；12、固定卡板；13、卡槽；14、盖板；15、安装板；16、滑槽；17、固定卡夹；18、横板；19、竖板；20、滑块；21、限位板；22、滑道；23、滑板；24、主动轮；25、从动轮；26、齿轮；27、链条；28、真空泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种高效真空镀膜装置，包括主体1，主体1右侧靠近底端位置设置有真空泵28，主体1内部底端设置有两组支架2，两组支架2之间靠近底部位置设置有加热棒3，两组支架2之间靠近中间位置设置有坩埚4，两组支架2之间靠近上端位置设置有镀膜仓5，镀膜仓5上端设置有盖板14，盖板14底端设置有安装板15，安装板15上端靠近中间位置开设有滑槽16，安装板15上端靠近右端位置设置有固定卡夹17，固定卡夹17左侧设置有夹持机构，夹持机构包括横板18，盖板14和镀膜仓5之间设置有铰链，滑槽16右侧壁设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆右侧设置有驱动电机，横板18通过滑块20配合电动伸缩杆沿着滑槽16左右移动，横板18上端靠近左端位置固定设置有竖板19，横板18底端靠近中间位置设置有滑块20，横板18上端靠近中间位置开设有滑道22，滑道22内部设置有滑板23，滑板23上端设置有限位板21，滑板23左端设置有链条27，链条27上套设有固定机构，通过调整与竖板19之间的距离，从而可以从纵向夹紧铸件，之后通过驱动电机配合电动伸缩杆，调整夹持机构和固定卡夹17之间的距离，使铸件可以很好地放置夹持机构和固定卡夹17之间，之后将铸件右端重复上述操作固定在固定卡夹17内部，进而可以很好地对铸件进行夹持，便于镀膜；

固定机构包括连接板6，连接板6左端设置有L型夹板7，L型夹板7左侧面靠近中间位置设置有限位卡板8，L型夹板7上设置有固定板9，固定板9和L型夹板7之间设置有转轴10，L型夹板7左侧面靠近底部位置设置有固定卡板12，固定板9右侧靠近中间位置开设有限位槽11，固定板9右侧靠近底部位置开设有卡槽13，横板18左侧靠近前端位置设置有主动轮24，主动轮24右端设置有从动轮25，从动轮25上端设置有齿轮26，主动轮24和从动轮25相互啮合，链条27上开设有若干组与齿轮26相匹配的齿槽，夹持机构与固定卡夹17相互配合，限位板21通过滑板23配合链条27沿着滑道22左右移动，将链条27放置在L型夹板7和固定卡板12之间，此时限位卡板8穿过链条27上的一组齿槽，可以防止固定机构在工作时滑动，之后通过转轴10向右转动固定板9,将卡槽13套设在固定卡板12上，使限位板21配合固定机构活动设置在链条27上，更换限位板21时向左转动固定板9即可很方便的将固定机构取下。

工作原理：对于这类的高效真空镀膜装置，首先工作人员通过真空泵28将主体1内部抽成真空状态，再将原料放置在坩埚4上，之后通过加热棒3对其加热，原料在高温状态下变成蒸汽，移动到镀膜仓5内部，将铸件夹持在盖板14底端，通过铰链旋转盖板14将铸件移动至镀膜仓5内部，然后凝结在铸件表面形成薄膜，工作人员将待镀膜的铸件左端设置于竖板19和限位板21之间，之后转动主动轮24，主动轮24通过从动轮25配合齿轮26使链条27旋转，进而使限位板21在滑板23的作用下沿着滑道22左右移动，调整与竖板19之间的距离，从而可以从纵向夹紧铸件，之后通过驱动电机配合电动伸缩杆，调整夹持机构和固定卡夹17之间的距离，使铸件可以很好地放置夹持机构和固定卡夹17之间，之后将铸件右端重复上述操作固定在固定卡夹17内部，进而可以很好地对铸件进行夹持，便于镀膜，将链条27放置在L型夹板7和固定卡板12之间，此时限位卡板8穿过链条27上的一组齿槽，可以防止固定机构在工作时滑动，之后通过转轴10向右转动固定板9,将卡槽13套设在固定卡板12上，使限位板21配合固定机构活动设置在链条27上，更换限位板21时向左转动固定板9即可很方便的将固定机构取下。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种高效真空镀膜装置，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)右侧靠近底端位置设置有真空泵(28)，所述主体(1)内部底端设置有两组支架(2)，两组所述支架(2)之间靠近底部位置设置有加热棒(3)，两组所述支架(2)之间靠近中间位置设置有坩埚(4)，两组所述支架(2)之间靠近上端位置设置有镀膜仓(5)，所述镀膜仓(5)上端设置有盖板(14)，所述盖板(14)底端设置有安装板(15)，所述安装板(15)上端靠近中间位置开设有滑槽(16)，所述安装板(15)上端靠近右端位置设置有固定卡夹(17)，所述固定卡夹(17)左侧设置有夹持机构。

2.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于：所述夹持机构包括横板(18)，所述横板(18)上端靠近左端位置固定设置有竖板(19)，所述横板(18)底端靠近中间位置设置有滑块(20)，所述横板(18)上端靠近中间位置开设有滑道(22)，所述滑道(22)内部设置有滑板(23)，所述滑板(23)上端设置有限位板(21)，所述滑板(23)左端设置有链条(27)，所述链条(27)上套设有固定机构。

3.根据权利要求2所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于：所述固定机构包括连接板(6)，所述连接板(6)左端设置有L型夹板(7)，所述L型夹板(7)左侧面靠近中间位置设置有限位卡板(8)，所述L型夹板(7)上设置有固定板(9)，所述固定板(9)和L型夹板(7)之间设置有转轴(10)，所述L型夹板(7)左侧面靠近底部位置设置有固定卡板(12)，所述固定板(9)右侧靠近中间位置开设有限位槽(11)，所述固定板(9)右侧靠近底部位置开设有卡槽(13)。

4.根据权利要求2所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于：所述横板(18)左侧靠近前端位置设置有主动轮(24)，所述主动轮(24)右端设置有从动轮(25)，所述从动轮(25)上端设置有齿轮(26)，所述主动轮(24)和从动轮(25)相互啮合，链条(27)上开设有若干组与齿轮(26)相匹配的齿槽。

5.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于：所述盖板(14)和镀膜仓(5)之间设置有铰链，滑槽(16)右侧壁设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆右侧设置有驱动电机，横板(18)通过滑块(20)配合电动伸缩杆沿着滑槽(16)左右移动。

6.根据权利要求1所述的一种高效真空镀膜装置，其特征在于：所述夹持机构与固定卡夹(17)相互配合，限位板(21)通过滑板(23)配合链条(27)沿着滑道(22)左右移动。

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