CN214519739U - 可调平吸附锁紧治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可调平吸附锁紧治具，包括：通用安装转接板，通用安装转接板为直板件，通用安装转接板的四周设有四个调平螺栓组件，调平螺栓组件将通用安装转接板固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件以调节通用安装转接板的上表面达到平行；吸附锁紧治具，吸附锁紧治具设于通用安装转接板的上表面，吸附锁紧治具上承载有工件。本实用新型结构简单，通过四个调平螺栓组件对通用安装转接板的四个角落的高度进行调节，进而间接将吸附锁紧治具上的工件调整平行，调平过程便捷，同时避免了调平与工件发生直接干扰。

Description

可调平吸附锁紧治具

技术领域

本实用新型属于调平吸附装置技术领域，具体涉及一种可调平吸附锁紧治具。

背景技术

在目前高精度的芯片加工过程中，为提高加工质量和实现高精度、高效率的作业，需要保持芯片在xy平面上保持平行，因此需要对承载芯片的部件进行调平，现有方案通常采用顶丝进行调平，当角度变化时，顶丝的螺纹会产生变形，经常使用会降低调平效果。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种可调平吸附锁紧治具，该可调平吸附锁紧治具具有调平结果更为平行、调平过程便捷的优点。

根据本实用新型实施例的可调平吸附锁紧治具，包括：通用安装转接板，所述通用安装转接板为直板件，所述通用安装转接板的四周设有四个调平螺栓组件，所述调平螺栓组件将所述通用安装转接板固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件以调节通用安装转接板的上表面达到平行；吸附锁紧治具，所述吸附锁紧治具设于所述通用安装转接板的上表面，所述吸附锁紧治具上承载有工件。

本实用新型的有益效果是，本实用新型结构简单，通过四个调平螺栓组件对通用安装转接板的四个角落的高度进行调节，进而间接将吸附锁紧治具上的工件调整平行，调平过程便捷，同时避免了调平与工件发生直接干扰。

根据本实用新型一个实施例，所述通用安装转接板沿厚度方向开设有四个细牙螺纹孔，所述调平螺栓组件的一端设于所述细牙螺纹孔内，所述调平螺栓组件的另一端与所述顶升装置相连。

根据本实用新型一个实施例，所述通用安装转接板沿厚度方向开设有四条缝隙，所述缝隙连通所述细牙螺纹孔。

根据本实用新型一个实施例，所述通用安装转接板的四周设有四个水平锁紧螺钉，所述水平锁紧螺钉贯穿所述缝隙，转动所述水平锁紧螺钉以调节所述缝隙的大小，进而调节所述细牙螺纹孔的大小。

根据本实用新型一个实施例，所述水平锁紧螺钉的轴线与所述调平螺栓组件的轴线相垂直。

根据本实用新型一个实施例，所述调平螺栓组件包括：调平件，所述调平件为柱形件，所述调平件的外周缘上设有细牙外螺纹，所述细牙外螺纹与所述细牙螺纹孔相配合，所述调平件上开设有沿厚度方向贯穿的调平孔；球形垫片，所述球形垫片设于所述调平件与所述顶升装置之间；连接件，所述连接件的一端穿过所述调平孔和所述球形垫片后与所述顶升装置相连。

根据本实用新型一个实施例，所述调平孔的上部为六角沉头，所述调平孔的中部为圆柱沉孔,所述连接件的另一端卡设于所述圆柱沉孔内。

根据本实用新型一个实施例，可调平吸附锁紧治具还包括：加热板，所述加热板设于所述通用安装转接板与所述顶升装置之间；隔热板，所述隔热板设于所述加热板与所述顶升装置之间。

根据本实用新型一个实施例，所述吸附锁紧治具包括：本体；多个吸盘，所述多个吸盘间隔开设在所述本体的上表面，所述吸盘上吸附有工件；真空接头，所述真空接头设于所述本体的侧面，所述真空接头与所述多个吸盘相连通。

根据本实用新型一个实施例，所述吸附锁紧治具还包括：补光板，所述补光板设于所述本体的上表面，所述补光板的上表面为镜面。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型的可调平吸附锁紧治具的立体结构示意图；

图2是根据本实用新型的可调平吸附锁紧治具的俯视结构示意图；

图3是根据本实用新型的可调平吸附锁紧治具的局部剖视结构示意图；

图4是根据本实用新型的可调平吸附锁紧治具中调平螺栓组件的截面结构示意图；

附图标记：

通用安装转接板-41、加热板-42、隔热板-43、吸附锁紧治具-44、调平螺栓组件-45、水平锁紧螺钉-46、细牙螺纹孔-41a、缝隙-41b、调平件-45a、球形垫片-45b、连接件 -45c、细牙外螺纹-45a1、六角沉头-45a2、圆柱沉孔-45a3、本体-44a、吸盘-44b、真空接头-44c、补光板-44d。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考附图具体描述根据本实用新型实施例的可调平吸附锁紧治具。

如图1至图4所示，根据本实用新型实施例的可调平吸附锁紧治具，包括：通用安装转接板41和吸附锁紧治具44，通用安装转接板41为直板件，通用安装转接板41的四周设有四个调平螺栓组件45，调平螺栓组件45将通用安装转接板41固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件45以调节通用安装转接板41的上表面达到平行；吸附锁紧治具44设于通用安装转接板41的上表面，吸附锁紧治具44上承载有工件。

本实用新型的有益效果是，本实用新型结构简单，通过四个调平螺栓组件45对通用安装转接板41的四个角落的高度进行调节，进而间接将吸附锁紧治具44上的工件调整平行，调平过程便捷，同时避免了调平与工件发生直接干扰。

根据本实用新型一个实施例，通用安装转接板41沿厚度方向开设有四个细牙螺纹孔 41a，调平螺栓组件45的一端设于细牙螺纹孔41a内，调平螺栓组件45的另一端与顶升装置相连。通用安装转接板41沿厚度方向开设有四条缝隙41b，缝隙41b连通细牙螺纹孔41a。通用安装转接板41的四周设有四个水平锁紧螺钉46，水平锁紧螺钉46贯穿缝隙41b，转动水平锁紧螺钉46以调节缝隙41b的大小，进而调节细牙螺纹孔41a的大小，最终实现细牙螺纹孔41a与调平螺栓组件45的紧密连接。进一步地，水平锁紧螺钉46的轴线与调平螺栓组件45的轴线相垂直。利用水平锁紧螺钉46从侧面进行锁紧，避免了锁紧时产生z向的作用力，进而减少了锁紧过程对调平过程的干扰。

根据本实用新型一个实施例，如图4所示，调平螺栓组件45包括：调平件45a，球形垫片45b和连接件45c，调平件45a为柱形件，调平件45a的外周缘上设有细牙外螺纹45a1，细牙外螺纹45a1与细牙螺纹孔41a相配合，调平件45a上开设有沿厚度方向贯穿的调平孔；球形垫片45b设于调平件45a与顶升装置之间；连接件45c的一端穿过调平孔和球形垫片45b后与顶升装置相连。进一步地，调平孔的上部为六角沉头45a2，便于扳手拧入后进行调平操作，调平孔的中部为圆柱沉孔45a3，连接件45c的另一端卡设于圆柱沉孔45a3内，通过圆柱沉孔45a3与连接件45c的配合作用，避免了细牙外螺纹45a1的螺纹连接与变化的调平角度之间产生干扰，同时，球形垫片45b的上下垫片之间通过球面接触，保证了调平过程中，不因角度变化而影响调平效果。优选地，连接件45c为内六角螺钉。

根据本实用新型一个实施例，如图1所示，可调平吸附锁紧治具还包括：加热板42和隔热板43，加热板42设于通用安装转接板41与顶升装置之间；隔热板43设于加热板42与顶升装置之间，加热板42和隔热板43上均开设有与调平螺栓组件45间隙配合的通孔。

根据本实用新型一个实施例，如图3所示，吸附锁紧治具44包括：本体44a，多个吸盘44b和真空接头44c，多个吸盘44b间隔开设在本体44a的上表面，吸盘44b上吸附有工件；真空接头44c设于本体44a的侧面，真空接头44c与多个吸盘44b相连通。

进一步地，吸附锁紧治具44还包括：补光板44d，补光板44d设于本体44a的上表面，补光板44d的上表面为镜面，便于视觉识别装置对工件识别轮廓时，利用镜面反光，使得轮廓识别的光源得到补强，提高了工件轮廓识别准确性。

工作时，将调平件45a拧入细牙螺纹孔41a内，随后将连接件45c放入调平孔内，转动连接件45c，使连接件45c下端与顶升装置固定，接着转动调平件45a进行校平，校平完成后，拧紧水平锁紧螺钉46完成调平螺栓组件45的锁紧。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种可调平吸附锁紧治具，其特征在于，包括：

通用安装转接板(41)，所述通用安装转接板(41)为直板件，所述通用安装转接板(41)的四周设有四个调平螺栓组件(45)，所述调平螺栓组件(45)将所述通用安装转接板(41)固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件(45)以调节通用安装转接板(41)的上表面达到平行；

吸附锁紧治具(44)，所述吸附锁紧治具(44)设于所述通用安装转接板(41)的上表面，所述吸附锁紧治具(44)上承载有工件。

2.根据权利要求1所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述通用安装转接板(41)沿厚度方向开设有四个细牙螺纹孔(41a)，所述调平螺栓组件(45)的一端设于所述细牙螺纹孔(41a)内，所述调平螺栓组件(45)的另一端与所述顶升装置相连。

3.根据权利要求2所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述通用安装转接板(41)沿厚度方向开设有四条缝隙(41b)，所述缝隙(41b)连通所述细牙螺纹孔(41a)。

4.根据权利要求3所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述通用安装转接板(41)的四周设有四个水平锁紧螺钉(46)，所述水平锁紧螺钉(46)贯穿所述缝隙(41b)，转动所述水平锁紧螺钉(46)以调节所述缝隙(41b)的大小，进而调节所述细牙螺纹孔(41a)的大小。

5.根据权利要求4所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述水平锁紧螺钉(46)的轴线与所述调平螺栓组件(45)的轴线相垂直。

6.根据权利要求2所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述调平螺栓组件(45)包括：

调平件(45a)，所述调平件(45a)为柱形件，所述调平件(45a)的外周缘上设有细牙外螺纹(45a1)，所述细牙外螺纹(45a1)与所述细牙螺纹孔(41a)相配合，所述调平件(45a)上开设有沿厚度方向贯穿的调平孔；

球形垫片(45b)，所述球形垫片(45b)设于所述调平件(45a)与所述顶升装置之间；

连接件(45c)，所述连接件(45c)的一端穿过所述调平孔和所述球形垫片(45b)后与所述顶升装置相连。

7.根据权利要求6所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述调平孔的上部为六角沉头(45a2)，所述调平孔的中部为圆柱沉孔(45a3)，所述连接件(45c)的另一端卡设于所述圆柱沉孔(45a3)内。

8.根据权利要求7所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，还包括：

加热板(42)，所述加热板(42)设于所述通用安装转接板(41)与所述顶升装置之间；

隔热板(43)，所述隔热板(43)设于所述加热板(42)与所述顶升装置之间。

9.根据权利要求8所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述吸附锁紧治具(44)包括：

本体(44a)；

多个吸盘(44b)，所述多个吸盘(44b)间隔开设在所述本体(44a)的上表面，所述吸盘(44b)上吸附有工件；

真空接头(44c)，所述真空接头(44c)设于所述本体(44a)的侧面，所述真空接头(44c)与所述多个吸盘(44b)相连通。

10.根据权利要求9所述的可调平吸附锁紧治具，其特征在于，所述吸附锁紧治具(44)还包括：

补光板(44d)，所述补光板(44d)设于所述本体(44a)的上表面，所述补光板(44d)的上表面为镜面。

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