CN214420764U - 一种流水线用晶圆翻转打包装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种流水线用晶圆翻转打包装置，包括晶圆传送带、真空吸笔设备支撑柱、包装传送带和旋转设备装配柱，晶圆传送带和包装传送带分别布置于真空吸笔设备支撑柱，旋转设备装配柱设置于包装传送带的出料端，导轨内装配有轨道车，打开真空吸附基片，旋转轴旋转180°的同时，包装盒底底部固定块转动，然后从储物架上落下，基片背面向上倒扣在包装盒底内，然后包装盒底在包装传送带上运动，运动到下一个储物架位置处停止，同上，压花落在基片背面起固定作用，包装传送带继续向前运动至下一储物架，包装盒盖落下，包装传送带继续向前，转动座带动盒盖夹具将包装盒底和盖拧紧，完成打包。
Description
技术领域
本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种流水线用晶圆翻转打包装置。
背景技术
纳米压印是一种用于工程与技术科学基础学科领域的工艺试验仪器，微纳米尺度图形结构的快速复制和转移；具有高分辨率、高产量、低成本的优点；可轻易制作3D立体结构之微影刻蚀技术；高分子材料直接压印成形，避免长时间或大范围之刻蚀步骤。随着纳米压印技术的成熟与普及，纳米压印设备也由最初的手动操作变得越来越自动化，但上片与取片仍主要依靠人工，打包压印产品比较耗时。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种流水线用晶圆翻转打包装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种流水线用晶圆翻转打包装置，包括晶圆传送带、真空吸笔设备支撑柱、包装传送带和旋转设备装配柱，晶圆传送带和包装传送带分别布置于真空吸笔设备支撑柱，旋转设备装配柱设置于包装传送带的出料端，所述真空吸笔设备支撑柱的上端转动安装有导轨，所述导轨内装配有轨道车，所述轨道车的下侧装配有真空吸笔，所述包装传送带的上侧固定安装有储物架，所述旋转设备装配柱的末端装配有转动座，所述转动座的下端固定安装有盒盖夹具。
优选的，所述轨道车下侧壁的外围均匀装配有液压柱，所述液压柱的下端装配有角铁，所述角铁的侧壁均匀嵌入有滚轮，且角铁的下表面贴合于导轨内壁的底面，所述滚轮的外壁紧密贴合于导轨的内侧壁。
优选的，所述轨道车下壁的中部固定安装有转动基座，所述转动基座的下侧固定安装有转动轴，所述真空吸笔装配于转动轴的下端。
优选的，所述储物架和盒盖夹具的动力均由外部液压设备提供。
优选的，所述角铁的下表面均匀嵌入有辊轴。
优选的，所述真空吸笔设备支撑柱与导轨的连接处设置有旋转轴。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种流水线用晶圆翻转打包装置，当纳米压印设备压印完成，真空吸盘断真空，PIN针顶起基片，将基片转运至晶圆传送带表面，真空吸笔通过导轨向前运动至基片底部，打开真空吸附基片，旋转轴旋转180°的同时，包装盒底底部固定块转动，然后从储物架上落下，基片背面向上倒扣在包装盒底内，然后包装盒底在包装传送带上运动，运动到下一个储物架位置处停止，同上所述，压花落在基片背面起固定作用，包装传送带继续向前运动至下一储物架，包装盒盖落下，包装传送带继续向前，转动座带动盒盖夹具将包装盒底和盖拧紧，完成打包。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的真空吸笔结构示意图；
图3为本实用新型真空吸笔的仰视结构示意图。
图中：1晶圆传送带、2真空吸笔设备支撑柱、3导轨、4轨道车、5真空吸笔、6包装传送带、7储物架、8旋转设备装配柱、9转动座、10盒盖夹具、11转动基座、12液压柱、13角铁、14滚轮、15转动轴、16辊轴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种流水线用晶圆翻转打包装置，包括晶圆传送带1、真空吸笔设备支撑柱2、包装传送带6和旋转设备装配柱8，晶圆传送带1和包装传送带6分别布置于真空吸笔设备支撑柱2，旋转设备装配柱8设置于包装传送带6的出料端，真空吸笔设备支撑柱2的上端转动安装有导轨3，导轨3内装配有轨道车4，轨道车4的下侧装配有真空吸笔5，包装传送带6的上侧固定安装有储物架7，旋转设备装配柱8的末端装配有转动座9，转动座9的下端固定安装有盒盖夹具10。
具体而言，轨道车4下侧壁的外围均匀装配有液压柱12，液压柱12的下端装配有角铁13，角铁13的侧壁均匀嵌入有滚轮14，且角铁13的下表面贴合于导轨3内壁的底面，滚轮14的外壁紧密贴合于导轨3的内侧壁。
具体而言，轨道车4下壁的中部固定安装有转动基座11，转动基座11的下侧固定安装有转动轴15，真空吸笔5装配于转动轴15的下端。
具体而言，储物架7和盒盖夹具10的动力均由外部液压设备提供。
具体而言，角铁13的下表面均匀嵌入有辊轴16。
具体而言，真空吸笔设备支撑柱2与导轨3的连接处设置有旋转轴17。
工作原理：当本实用新型在使用时，当纳米压印设备压印完成，真空吸盘断真空，PIN针顶起基片，将基片转运至晶圆传送带1表面，真空吸笔5通过导轨3向前运动至基片底部，打开真空吸附基片，旋转轴17旋转180°的同时，包装盒底7底部固定块转动，然后从储物架7上落下，基片背面向上倒扣在包装盒底内，然后包装盒底在包装传送带6上运动，运动到下一个储物架7位置处停止，同上所述，压花11落在基片背面起固定作用，包装传送带6继续向前运动至下一储物架7，包装盒盖落下，包装传送带6继续向前，转动座9带动盒盖夹具10将包装盒底和盖拧紧，完成打包。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种流水线用晶圆翻转打包装置，包括晶圆传送带(1)、真空吸笔设备支撑柱(2)、包装传送带(6)和旋转设备装配柱(8)，晶圆传送带(1)和包装传送带(6)分别布置于真空吸笔设备支撑柱(2)，旋转设备装配柱(8)设置于包装传送带(6)的出料端，其特征在于：所述真空吸笔设备支撑柱(2)的上端转动安装有导轨(3)，所述导轨(3)内装配有轨道车(4)，所述轨道车(4)的下侧装配有真空吸笔(5)，所述包装传送带(6)的上侧固定安装有储物架(7)，所述旋转设备装配柱(8)的末端装配有转动座(9)，所述转动座(9)的下端固定安装有盒盖夹具(10)。
2.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述轨道车(4)下侧壁的外围均匀装配有液压柱(12)，所述液压柱(12)的下端装配有角铁(13)，所述角铁(13)的侧壁均匀嵌入有滚轮(14)，且角铁(13)的下表面贴合于导轨(3)内壁的底面，所述滚轮(14)的外壁紧密贴合于导轨(3)的内侧壁。
3.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述轨道车(4)下壁的中部固定安装有转动基座(11)，所述转动基座(11)的下侧固定安装有转动轴(15)，所述真空吸笔(5)装配于转动轴(15)的下端。
4.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述储物架(7)和盒盖夹具(10)的动力均由外部液压设备提供。
5.根据权利要求2所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述角铁(13)的下表面均匀嵌入有辊轴(16)。
6.根据权利要求1所述的一种流水线用晶圆翻转打包装置，其特征在于：所述真空吸笔设备支撑柱(2)与导轨(3)的连接处设置有旋转轴(17)。
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