CN214356865U - 一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，包括整体机架、旋转升降平移传送带、胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、活动机架、升降装置、悬臂装置和胶带取头贴胶装置，升降装置固定在整体机架上，活动机架安装在升降装置的活动端，升降装置驱动活动机架在竖直方向做直线运动；旋转升降平移传送带用于固定支撑晶圆包装盒并带动晶圆包装盒的旋转，旋转升降平移传送带固定在整体机架上；胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、悬臂装置均安装在活动机架上，胶带取头贴胶装置安装在悬臂装置上；本实用新型能够实现晶圆包装盒包装袋的自动缠绕胶带的工作，缠胶带效率高，整个过程全自动化进行，降低了人工成本。

Description

一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆包装盒包装领域，更具体的说，尤其涉及一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置。

背景技术

晶圆指的是硅半导体集成电路所制成的硅芯片，由于其形状为圆形，故被称为晶圆，晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义上的晶圆基本上指的是单晶硅圆片，单晶归元片由普通硅砂垃制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一些列错失后支撑单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后就成了晶圆。随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增加，要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和清洁度，而为了实现晶圆表面的平整度、光滑度和清洁度，其运输过程中必然不能像普通设备一样随意包装，因此采用专用的晶圆包装盒就显得尤为必要。

晶圆包装盒，又被称为晶圆包装盒（Front Opening Shipping Box），全称前开式晶圆包装盒，可保护、运输并存储晶圆，防止晶圆在运输的过程中发生摩擦或碰撞，为晶圆运输传输及储存时提供安全防护。晶圆包装盒的气密度很好，能够有效防止物质的产生。

现有的晶圆包装盒在存储运输前都需要进行包装操作，目前的晶圆包装基本都采用人工包装，整个包装过程包括包装袋整形并放入晶圆包装盒、对包装袋进行热真空热封、包装袋再整形、包装袋表面缠绕胶带和贴标签这五个步骤，这些步骤若是人工手动包装效率十分缓慢，且包装精度不一样，其中包装袋表面缠绕胶带是其中一个尤为耗时的步骤，且缠胶带操作由于晶圆包装盒侧面的形状比较复杂，难以采用自动化的方式进行包装，这一步骤现阶段基本采用人工手动完成，生产效率低，自动化程度低，无法适应如今自动化生产的需求。

针对晶圆包装盒的包装袋表面缠绕胶带工序自动化程度不高的主要原因就在于胶带的胶带头太难找，胶带往往仅在开头时具有一个胶带头，而在用过一段时间后，则需要手动找胶带头，这一过程非常困难，很难通过自动化设备来实现，而若是通过人工来实现又非常耗时，每次进行包装都要重新找胶带头，给自动化包装带来极大的麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有的晶圆包装盒的包装袋表面缠绕胶带工序自动化程度不高，胶带头难找的问题，提出了一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，能够自动实现晶圆包装盒的包装袋表面的胶带缠绕工作，工作效率高，且能够自动找胶带头，方便整个胶带缠绕工作的进行。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，包括整体机架、旋转升降平移传送带、胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、活动机架、升降装置、悬臂装置和胶带取头贴胶装置，所述升降装置固定在整体机架上，活动机架安装在升降装置的活动端，升降装置驱动活动机架在竖直方向做直线运动；所述旋转升降平移传送带用于固定支撑套袋整形后的晶圆包装盒并带动晶圆包装盒的升降、平移和旋转，旋转升降平移传送带固定在活动机架旁的整体机架上；所述胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、悬臂装置均安装在活动机架上，胶带取头贴胶装置安装在悬臂装置上；

所述旋转升降平移传送带包括传送带升降装置、传送带平移装置和传送带旋转装置，所述传送带升降装置包括抬升气缸和抬升气缸转接板，抬升气缸转接板固定在抬升气缸的正上方的输出头上，抬升气缸工作时驱动所述抬升气缸转接板上下运动；

所述传送带旋转装置包括传送带轴承座、旋转主轴、电机安装板、旋转主动轮、传送带旋转电机、传送带旋转从动轮、旋转同步带、主轴法兰和上端平板，所述传送带轴承座竖直固定在抬升气缸转接板上，旋转主轴的下端通过两个轴承竖直安装在传送带轴承座内；电机安装板固定在所述传送带轴承座上，电机安装板的中部设置有供旋转主轴穿过的通孔；传送带旋转从动轮通过键固定在旋转主轴上，传送带旋转电机固定在传送带轴承座一侧的电机安装板上，传送带旋转电机的输出端连接旋转主动轮，旋转主动轮和传送带旋转从动轮通过旋转同步带连接，传送带旋转电机工作时通过旋转主动轮、旋转同步带和传送带旋转从动轮构成的同步带机构带动旋转主轴的转动，进而带动固定在旋转主轴上方的上端平板的转动；

所述传送带平移装置包括前转轴、后转轴、左侧板、右侧板、第一轴套、第一螺纹齿轮、连接环、平移从动轮、平移主动轮、平移电机、平移同步带、主动轴、第二螺纹齿轮、传动链轮和链条传送带，所述左侧板和右侧板平行设置，左侧板和右侧板分别固定在上端平板的左右两侧，前转轴固定在上端平板的前端，后转轴固定在上端平板的后端，前转轴和后转轴均垂直于左侧板和右侧板设置，前转轴和后转轴的两端分别固定在左侧板和右侧板上；所述前转轴和后转轴的左端分别设置一个左链条轴套，所述前转轴和后转轴的右端分别设置一个右链条轴套，两个左链条轴套上套装有一根链条传送带，两个右链条轴套上套装有一根链条传送带；

所述平移电机固定在传送带轴承座另一侧的电机安装板上，平移电机的输出端连接平移主动轮，所述第一轴套套装在旋转主轴上，所述第一螺纹齿轮、连接环和平移从动轮从上至下依次固定在第一轴套上，平移主动轮和平移从动轮通过平移同步带连接，所述主动轴水平设置且主动轴的轴心线垂直于左侧板和右侧板，所述主动轴的两端分别通过轴承安装在左侧板和右侧板上，第二螺纹齿轮固定在所述主动轴的中部，所述第一螺纹齿轮和第二螺纹齿轮相啮合，所述主动轴的两端分别设置有传动链轮，两条链条传送带分别与主动轴的两端传动链轮相啮合；

所述平移电机工作时通过平移主动轮、平移从动轮和平移同步带构成的同步带机构带动第一轴套、第一螺纹齿轮和连接环组成的整体进行转动，带动与第一螺纹齿轮相啮合的第二螺纹齿轮的转动，进而带动主动轴和两个传动链轮的转动，从而带动两条链条传送带的运动；

所述悬臂装置包括悬臂梁底座、悬臂梁轴承座、悬臂梁旋转轴、悬臂直线模组、悬臂转动气缸和悬臂气缸座，所述悬臂梁旋转轴竖直设置，悬臂梁旋转轴的下端通过悬臂梁轴承座安装在活动机架上，悬臂梁旋转轴的上端通过另一个悬臂梁轴承座安装在悬臂梁底座的一端，悬臂直线模组水平安装在悬臂梁底座上；所述悬臂转动气缸水平设置，悬臂转动气缸的固定端通过悬臂气缸座固定在活动机架上，悬臂转动气缸的固定端铰接在悬臂气缸座上，悬臂转动气缸的活动端铰接在所述悬臂梁底座的中部；所述悬臂转动气缸工作时带动悬臂梁底座和悬臂梁轴承座组成的整体绕着悬臂梁旋转轴在水平方向上转动；

所述胶带取头贴胶装置安装在悬臂装置的悬臂直线模组的滑块上；所述胶带取头贴胶装置包括旋转底座、底座旋转驱动电机、半圆导向侧板、底部支撑板、压块气缸、胶带压块、取胶头气缸、第一胶头连接块、第二胶头连接块、胶头推板、刀片气缸、剪刀刀片、光电传感器和胶带限位滚轮，所述底座旋转驱动电机竖直设置且底座旋转驱动电机固定在悬臂装置的悬臂直线模组的滑块上，旋转底座设置在底座旋转驱动电机正上方且旋转底座底部与底座旋转驱动电机的输出轴固定连接，底座旋转驱动电机转动时驱动旋转底座的转动；所述旋转底座上表面的一侧固定整体呈半圆形环绕的半圆导向侧板，旋转底座上表面的另一侧固定底部支撑板，所述刀片气缸、取胶头气缸和压块气缸并列安装在底部支撑板上且取胶头气缸和半圆导向侧板分别设置在压块气缸的左右两侧，剪刀刀片连接在刀片气缸的输出端，胶带压块连接在压块气缸的输出端，胶头推板设置在取胶头气缸的输出端；所述胶带限位滚轮和第一胶头连接块均固定在底部支撑板上，刀片气缸推动剪刀刀片伸出时胶带限位滚轮和第一胶头连接块分别位于剪刀刀片的两侧；所述第一胶头连接块设置在胶头推板的正前方，所述第二胶头连接块包括连接背板、两块胶带挡板和两块连接侧板，连接背板与两块胶带挡板平行设置，两块胶带挡板通过两块连接侧板固定在连接背板上；所述第二胶头连接块的连接背板固定在第一胶头连接块上，第一胶头连接块和第二胶头连接块的连接背板上均设置有供胶头推板通过的横向通孔，第二胶头连接块的连接背板与胶带挡板间设置有容纳胶带穿过的穿胶带通道；两块胶带挡板中部设置有中部窄两端宽的夹缝，夹缝的最大宽度大于胶带宽度且夹缝的最小宽度小于胶带宽度，胶带进入第二胶头连接块的穿胶带通道后，取胶头气缸推动胶头推板穿过第一胶头连接块和第二胶头连接块上的横向通孔并将胶带压紧在第二胶头连接块的胶带挡板内侧；所述光电传感器安装在刀片气缸和取胶头气缸之间且光电传感器正对的方向为刀片气缸和取胶头气缸的活塞杆伸出方向；

所述压紧装置包括压紧底座、压紧导轨、压紧滑板、压紧气缸、压紧上盖板、压紧轮、压紧限位块和压紧定位片，所述压紧底座固定在活动机架上，压紧上盖板固定在压紧底座上；所述压紧导轨固定在压紧底座上且压紧导轨的轴线垂直于晶圆包装盒的正面，压紧滑板底部设置有与压紧导轨相配合的导向槽，压紧滑板通过底部的导向槽套装在压紧导轨上；所述压紧轮的轴线竖直设置且压紧轮固定在压紧滑板靠近晶圆包装盒的一端，压紧定位片固定在靠近压紧轮的压紧滑板上，所述压紧定位片上设置有供压紧气缸的活塞杆穿过的槽孔；所述压紧气缸平行于压紧导轨设置且压紧气缸固定在压紧上盖板上，压紧气缸的活塞杆上设置有压紧限位块，压紧气缸的活塞杆穿过压紧定位片上的槽孔后通过压紧限位块推动压紧定位片的运动进而带动压紧滑板和压紧轮组成的整体向晶圆包装盒方向运动；

所述胶带固定装置包括气动三爪卡盘、卡盘驱动气缸、旋转进气轴、胶带旋转从动轮、从动轮安装座和集气环，所述气动三抓卡盘固定在卡盘驱动气缸的输出端，卡盘驱动气缸底部固定在竖直设置的旋转进气轴的顶端，所述旋转进气轴通过两个轴承座安装在从动轮安装座上，胶带旋转从动轮固定在旋转进气轴上且胶带旋转从动轮设置在支撑旋转进气轴的两个轴承座之间；所述从动轮安装座固定在活动机架上，所述集气环固定在从动轮安装座底部，集气环上端输气口与旋转进气轴的下端进气口连接，旋转进气轴的上端出气口与卡盘驱动气缸的进气口连接；所述胶带旋转从动轮和胶带旋转主动轮通过同步带连接；气动三爪卡盘固定胶带时胶带的高度与穿胶带通道的高度相当，胶带的胶头能刚好穿入第一胶头连接块的穿胶带通道中；

所述胶带旋转驱动装置通过同步带连接胶带固定装置的胶带旋转驱动轮，胶带旋转驱动装置工作时通过同步带带动胶带旋转驱动轮转动进而带动气动三爪卡盘和胶带组成的整体进行转动。

进一步的，所述胶带旋转驱动装置包括胶带旋转驱动电机、胶带旋转电机座、胶带旋转联轴器和胶带旋转驱动轮，所述胶带旋转电机座固定在活动机架上，胶带旋转驱动电机竖直固定在胶带旋转电机座上，胶带旋转驱动电机的输出轴通过胶带旋转联轴器连接胶带旋转驱动轮。

进一步的，所述升降装置包括升降滑块、升降导轨和升降气缸，所述升降导轨设置有两条且两条升降导轨均竖直固定在整体机架上，每个升降导轨上套装有一个升降滑块，两个升降滑块均与活动机架固定连接；所述升降气缸的底部固定在整体机架上，升降气缸的活动端固定在所述活动机架上；升降气缸工作时驱动活动机架和升降滑块组成的整体沿着升降导轨上下运动。由于对晶圆包装盒在包装整形后的缠胶带操作一共需要进行两次，因此设置升降机构使整个缠胶带装置的缠胶带部分提升或下降，方便在一次缠胶带完成后进行第二次缠胶带操作。

进一步的，所述集气环通过集气环固定座固定在从动轮安装座上，集气环为下端固定上端能够转动的供气装置，集气环的下端固定在集气环固定座上，集气环的上端在供气时随着旋转进气轴一起转动。

进一步的，所述压紧滑板的前端向悬臂装置一侧弯折，压紧轮固定在压紧滑板的弯折的端部且压紧轮的直径大于压紧滑板弯折端的宽度。压紧轮边缘伸出到压紧滑板弯折端的外侧，保证压紧装置在压紧胶带时仅压紧轮起作用，压紧滑板不会与胶带产生接触。

进一步的，两块胶带挡板之间的夹缝最小宽度为胶带宽度的一半。

进一步的，所述第二胶头连接块通过螺栓固定在第一胶头连接块上。第二胶头连接块为可拆卸式的，在更换不同宽度的胶带时仅需更换不同夹缝宽度的第二胶头连接块即可实现不同宽度胶带的缠胶带操作。

进一步的，所述第二胶头连接块上的夹缝开设方向为水平方向。胶带在一端固定后通过底座旋转驱动电机带动第二胶头连接块的转动可实现胶带从夹缝中进入穿胶带通道。

由于缠胶带的操作时胶带本身不会绕着晶圆包装盒进行旋转，所以采用晶圆包装盒进行旋转的方式，旋转升降平移传送带带动位置固定好的晶圆包装盒进行旋转从而实现包装整形后的晶圆包装盒的缠胶带操作。传送带装置采用传送链轮、传送驱动电机与链条传送带相配合的方式进行晶圆包装盒的传输，链条传送带设置有左右对称的两条，对晶圆包装盒的两端支撑并带动晶圆包装盒在前后工位间的移动；而在传送带装置的固定支撑板上设置夹紧装置，夹紧装置通过两个夹紧块和固定支撑板上与晶圆包装盒底部配合的定位柱将晶圆包装盒固定在传送带装置的指定位置；传送带旋转驱动装置采用传送带旋转驱动电机直接连接传送带装置的方式，通过带动传送带装置和夹紧装置整体转动实现晶圆包装盒的转动。

进一步的，所述第二胶头连接块上的穿胶带通道的开口为一侧大一侧小的渐变式，穿胶带通道在靠近胶带的一侧开口较大，穿胶带通道靠近光电传感器一侧的开口较小。

进一步的，所述上端平板的底部还设置有两块回转轮轴固定板，回转轮轴固定板平行于左侧板和右侧板设置，左侧板和与左侧板相邻的回转轮轴固定板之间设置有两个回转轮，两个回转轮对称设置在主动轴的两侧，两个回转轮的转向轴两端分别固定在左侧板和回转轮轴固定板上；链条传送带缠绕时依次经过前转轴上的左链条轴套、靠近前转轴的回转轮、传动链轮、靠近后转轴的回转轮和后转轴上的左链条轴套；所述右侧板和与右侧板相邻的回转轮轴固定板上设置也设置有两个回转轮，这两个回转轮的结构与左侧的两个回转轮相对于旋转主轴的轴心线对称设置。

进一步的，所述上端平板上还设置有限位机构，所述限位机构设有关于旋转主轴轴心线镜像设置的一对，所述限位机构包括限位座、限位气缸、夹持旋转片、夹持固定片、夹持旋转轴，所述夹持固定片固定在上端平板的底部，夹持旋转片的中部通过夹持旋转轴连接在夹持固定片上，夹持旋转片的上端伸出到上端平板上方；限位气缸的底部固定在限位座上，限位座固定在上端平板上，限位气缸的输出端铰接在所述夹持旋转片的下端，限位气缸工作时驱动夹持旋转片绕着夹持旋转轴转动，两个限位机构的夹持旋转片的上端实现晶圆包装盒两侧的夹持固定。

进一步的，所述旋转主轴的上端与主轴法兰通过销轴固定连接，主轴法兰通过螺栓固定在上端平板的底面中部。主轴法兰的上端面上设置有一圈螺栓孔，上端平板中部设置有一圈对应的螺栓孔，通过穿过一圈螺栓孔的定位螺栓实现主轴法兰和上端平板的定位。

进一步的，所述上端平板上端设置有多个与晶圆包装盒底部定位柱相对应的定位孔。

本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型能够实现晶圆包装盒包装袋的自动缠绕胶带的工作，缠胶带效率高，整个过程全自动化进行，降低了人工成本。

2、 本实用新型能够自动实现找胶带头的工作，避免了每次换胶带后都需要手动找胶带头的麻烦，同时每次缠胶带完成后胶带都有一小段作为胶带头滞留在胶带取头贴胶装置上，方便下一次胶带缠绕工作的进行，提高了整体的工作效率。

3、本实用新型利用升降装置驱动缠胶带工序整体的升降，方便在完成一道胶带的缠绕后进行下一道胶带的缠绕，由于晶圆包装盒的摆放为正面摆放在旋转升降平移传送带，晶圆包装盒包装时需要缠绕上下两道胶带，升降装置的存在可以完美的保证一道胶带缠绕完毕后立刻进入下一道胶带的缠绕，使得两道胶带的缠绕工作可以利用同一设备依次完成，减少了整体的设计成本。

4、本实用新型利用胶带旋转驱动装置驱动胶带固定装置上的胶带转动，胶带旋转驱动装置采用胶带旋转驱动电机来驱动，可以保证胶带稳定的旋转，保证了胶带头更好的找到。

5、本实用新型通过胶带旋转驱动装置驱动胶带的转动与胶带取头贴胶装置上底座旋转驱动电机的转动相配合，利用二者近乎相切的方式将胶带的胶带头送入第二胶头连接块的穿胶带通道中，找胶带头的方式快捷稳定，提高找胶带头的效率。

6、本实用新型利用悬臂直线模组驱动胶带取头贴胶装置直线运动，利用悬臂转动气缸驱动悬臂梁底座的旋转，从而使胶带取头贴胶装置靠近胶带或靠近晶圆包装盒表面，使得取胶带头的部分和缠胶带部分集中在同一个机构上，减少整体占地面积和设计成本，使得整个装置更适用于晶圆包装盒的充氮包装生产线。

7、本实用新型的旋转升降平移传送带结构简单紧凑，能够实现晶圆包装盒传输时的提升、旋转和平移，适用于晶圆包装盒包装生产线之间的晶圆包装盒运输，占地空间小，应用范围广。

8、本实用新型的旋转升降平移传送带采用抬升气缸实现晶圆包装盒的升降，平移电机实现晶圆包装盒的平移，旋转电机实现晶圆包装盒的旋转，平移电机和旋转电机设置在抬升气缸驱动的电机安装板上，晶圆包装盒的升降、平移和旋转过程中平移电机和旋转电机只进行升降运动不进行旋转和平移运动，避免了整个工作过程的线路缠绕干涉。

9、本实用新型的旋转升降平移传送带整体结构紧凑，将整个驱动结构设置在上端平板的下方，占地面积小的同时能够完成晶圆包装盒的多种动作，使晶圆包装盒在不同工序之间的衔接更加顺畅，能够极大提升晶圆包装盒生产线的包装各工序之间的晶圆包装盒运输定位。

10、本实用新型的旋转升降平移传送带可应用于多工位的晶圆包装盒包装运输，晶圆包装盒包装运输的各工位之间衔接紧密，各工位的传送机构往往相邻设置且相互之间的间距很短，在需要进行转角运输时可以通过先提升在转动最后下降衔接的方式实现晶圆包装盒运输的对接，能够更好的适应各工位的晶圆包装盒运输。

11、本实用新型的旋转升降平移传送带设置有限位机构，能够夹持晶圆包装盒的两侧，使得晶圆包装盒在运输时更加的稳定，不会随着运输时的机械颤抖而产生位置变化；同时采用链条传送带和传动链轮相配合传动的方式，利用回转轮进行支撑限位，使得整个传动过程更加平稳可靠。

附图说明

图1是本实用新型一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置的整体结构示意图。

图2是本实用新型一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置的另一个角度的整体结构示意图。

图3是本实用新型一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置的主视图。

图4是本实用新型一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置的俯视图。

图5是本实用新型缠胶带工位的整体结构示意图。

图6是本实用新型缠胶带工位的右视图。

图7是本实用新型缠胶带工位的俯视图。

图8是本实用新型悬臂转动气缸和悬臂气缸座的连接示意图。

图9是本实用新型胶带固定装置的结构示意图。

图10是本实用新型胶带固定装置的主视图。

图11是本实用新型胶带旋转驱动装置的结构示意图。

图12是本实用新型胶带旋转驱动装置的的主视图。

图13是本实用新型胶带取头贴胶装置的结构示意图。

图14是本实用新型旋转升降平移传送带的轴测图。

图15是本实用新型旋转升降平移传送带另一个角度的轴测图。

图16是本实用新型旋转升降平移传送带的主视图。

图17是本实用新型旋转升降平移传送带的后视图。

图18是本实用新型旋转升降平移传送带的左视图。

图19是本实用新型旋转升降平移传送带的右视图。

图20是本实用新型旋转升降平移传送带的俯视图。

图21是本实用新型旋转升降平移传送带的仰视图。

图中，1-晶圆包装盒、2-整体机架、3-旋转升降平移传送带、4-胶带固定装置、5-胶带旋转驱动装置、6-压紧装置、7-活动机架、8-升降装置、9-悬臂装置、10-胶带取头贴胶装置、41-气动三爪卡盘、42-卡盘驱动气缸、43-旋转进气轴、44-胶带旋转从动轮、45-从动轮安装座、46-集气环固定座、47-集气环、51-胶带旋转驱动电机、52-胶带旋转电机座、53-胶带旋转联轴器、54-胶带旋转驱动轮、61-压紧底座、62-压紧导轨、63-压紧滑板、64-压紧气缸、65-压紧上盖板、66-压紧轮、67-压紧限位块、68-压紧定位片、81-升降滑块、82-升降导轨、83-升降气缸、91-悬臂梁底座、92-悬臂梁轴承座、93-悬臂梁旋转轴、94-悬臂直线模组、95-悬臂转动气缸、96-悬臂气缸座、101-旋转底座、102-底座旋转驱动电机、103-半圆导向侧板、104-底部支撑板、105-压块气缸、106-胶带压块、107-取胶头气缸、108-第一胶头连接块、109-第二胶头连接块、110-胶头推板、111-刀片气缸、112-剪刀刀片、113-胶带限位滚轮、114-光电传感器、301-抬升气缸、302-抬升气缸转接板、303-传送带轴承座、304-旋转主轴、305-电机安装板、306-传送带旋转电机、307-旋转主动轮、308-传送带旋转从动轮、309-主轴法兰、310-上端平板、311-前转轴、312-后转轴、313-左侧板、314-右侧板、315-第一轴套、316-第一螺纹齿轮、317-连接环、318-平移从动轮、319-平移主动轮、320-平移电机、321-主动轴、322-第二螺纹齿轮、323-左链条轴套、324-链条传送带、325-回转轮轴固定板、326-回转轮、327-右链条轴套、328-限位气缸、329-夹持旋转片、330-夹持旋转轴。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1~21所示，一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，包括整体机架2、旋转升降平移传送带3、胶带固定装置4、胶带旋转驱动装置5、压紧装置6、活动机架7、升降装置8、悬臂装置9和胶带取头贴胶装置10，所述升降装置8固定在整体机架2上，活动机架7安装在升降装置8的活动端，升降装置8驱动活动机架7在竖直方向做直线运动；所述旋转升降平移传送带3用于固定支撑套袋整形后的晶圆包装盒1并带动晶圆包装盒1的旋转，旋转升降平移传送带3固定在活动机架7旁的整体机架2上；所述胶带固定装置4、胶带旋转驱动装置5、压紧装置6、悬臂装置9均安装在活动机架7上，胶带取头贴胶装置10安装在悬臂装置9上。

所述旋转升降平移传送带包括传送带升降装置、传送带平移装置和传送带旋转装置，所述传送带升降装置包括抬升气缸301和抬升气缸转接板302，抬升气缸转接板302固定在抬升气缸301的正上方的输出头上，抬升气缸301工作时驱动所述抬升气缸转接板302上下运动；

所述传送带旋转装置包括传送带轴承座303、旋转主轴304、电机安装板305、旋转主动轮307、传送带旋转电机306、传送带旋转从动轮308、旋转同步带、主轴法兰309和上端平板310，所述传送带轴承座303竖直固定在抬升气缸转接板302上，旋转主轴304的下端通过两个轴承竖直安装在传送带轴承座303内；电机安装板305固定在所述传送带轴承座303上，电机安装板305的中部设置有供旋转主轴304穿过的通孔；传送带旋转从动轮308通过键固定在旋转主轴304上，传送带旋转电机306固定在传送带轴承座303一侧的电机安装板305上，传送带旋转电机306的输出端连接旋转主动轮307，旋转主动轮307和传送带旋转从动轮308通过旋转同步带连接，传送带旋转电机306工作时通过旋转主动轮307、旋转同步带和传送带旋转从动轮308构成的同步带机构带动旋转主轴304的转动，进而带动固定在旋转主轴304上方的上端平板310的转动；

所述传送带平移装置包括前转轴311、后转轴312、左侧板313、右侧板314、第一轴套315、第一螺纹齿轮316、连接环317、平移从动轮318、平移主动轮319、平移电机320、平移同步带、主动轴321、第二螺纹齿轮322、传动链轮和链条传送带，所述左侧板313和右侧板314平行设置，左侧板313和右侧板314分别固定在上端平板310的左右两侧，前转轴311固定在上端平板310的前端，后转轴312固定在上端平板310的后端，前转轴311和后转轴312均垂直于左侧板313和右侧板314设置，前转轴311和后转轴312的两端分别固定在左侧板313和右侧板314上；所述前转轴311和后转轴312的左端分别设置一个左链条轴套323，所述前转轴311和后转轴312的右端分别设置一个右链条轴套327，两个左链条轴套323上套装有一根链条传送带，两个右链条轴套327上套装有一根链条传送带；

所述平移电机320固定在传送带轴承座303另一侧的电机安装板305上，平移电机320的输出端连接平移主动轮319，所述第一轴套315套装在旋转主轴304上，所述第一螺纹齿轮316、连接环317和平移从动轮318从上至下依次固定在第一轴套315上，平移主动轮319和平移从动轮318通过平移同步带连接，所述主动轴321水平设置且主动轴321的轴心线垂直于左侧板313和右侧板314，所述主动轴321的两端分别通过轴承安装在左侧板313和右侧板314上，第二螺纹齿轮322固定在所述主动轴321的中部，所述第一螺纹齿轮316和第二螺纹齿轮322相啮合，所述主动轴321的两端分别设置有传动链轮，两条链条传送带分别与主动轴321的两端传动链轮相啮合；

所述平移电机320工作时通过平移主动轮319、平移从动轮318和平移同步带构成的同步带机构带动第一轴套315、第一螺纹齿轮316和连接环317组成的整体进行转动，带动与第一螺纹齿轮316相啮合的第二螺纹齿轮322的转动，进而带动主动轴321和两个传动链轮的转动，从而带动两条链条传送带的运动。

所述上端平板310的底部还设置有两块回转轮轴固定板325，回转轮轴固定板325平行于左侧板313和右侧板314设置，左侧板313和与左侧板313相邻的回转轮轴固定板325之间设置有两个回转轮326，两个回转轮326对称设置在主动轴321的两侧，两个回转轮326的转向轴两端分别固定在左侧板313和回转轮轴固定板325上；链条传送带缠绕时依次经过前转轴311上的左链条轴套323、靠近前转轴311的回转轮326、传动链轮、靠近后转轴312的回转轮326和后转轴312上的左链条轴套323；所述右侧板314和与右侧板314相邻的回转轮轴固定板325上设置也设置有两个回转轮326，这两个回转轮326的结构与左侧的两个回转轮326相对于旋转主轴304的轴心线对称设置。

所述上端平板310上还设置有限位机构，所述限位机构设有关于旋转主轴304轴心线镜像设置的一对，所述限位机构包括限位座、限位气缸328、夹持旋转片329、夹持固定片、夹持旋转轴330，所述夹持固定片固定在上端平板310的底部，夹持旋转片329的中部通过夹持旋转轴330连接在夹持固定片上，夹持旋转片329的上端伸出到上端平板310上方；限位气缸328的底部固定在限位座上，限位座固定在上端平板310上，限位气缸328的输出端铰接在所述夹持旋转片329的下端，限位气缸328工作时驱动夹持旋转片329绕着夹持旋转轴330转动，两个限位机构的夹持旋转片329的上端实现FOSB两侧的夹持固定。

所述旋转主轴304的上端与主轴法兰309通过销轴固定连接，主轴法兰309通过螺栓固定在上端平板310的底面中部。主轴法兰309的上端面上设置有一圈螺栓孔，上端平板310中部设置有一圈对应的螺栓孔，通过穿过一圈螺栓孔的定位螺栓实现主轴法兰309和上端平板310的定位。

旋转升降平移传送带3构成整个工件夹持旋转工位。胶带固定装置4、胶带旋转驱动装置5、压紧装置6、活动机架7、升降装置8、悬臂装置9和胶带取头贴胶装置10共同构成缠胶带工位。

所述悬臂装置9包括悬臂梁底座91、悬臂梁轴承座92、悬臂梁旋转轴93、悬臂直线模组94、悬臂转动气缸95和悬臂气缸座96，所述悬臂梁旋转轴93竖直设置，悬臂梁旋转轴93的下端通过悬臂梁轴承座92安装在活动机架7上，悬臂梁旋转轴93的上端通过另一个悬臂梁轴承座92安装在悬臂梁底座91的一端，悬臂直线模组94水平安装在悬臂梁底座91上；所述悬臂转动气缸95水平设置，悬臂转动气缸95的固定端通过悬臂气缸座96固定在活动机架7上，悬臂转动气缸95的固定端铰接在悬臂气缸座96上，悬臂转动气缸95的活动端铰接在所述悬臂梁底座91的中部；所述悬臂转动气缸95工作时带动悬臂梁底座91和悬臂梁轴承座92组成的整体绕着悬臂梁旋转轴93在水平方向上转动。

所述胶带取头贴胶装置10安装在悬臂装置9的悬臂直线模组94的滑块上；所述胶带取头贴胶装置10包括旋转底座101、底座旋转驱动电机102、半圆导向侧板103、底部支撑板104、压块气缸105、胶带压块106、取胶头气缸107、第一胶头连接块108、第二胶头连接块109、胶头推板110、刀片气缸111、剪刀刀片112、光电传感器114和胶带限位滚轮113，所述底座旋转驱动电机102竖直设置且底座旋转驱动电机102固定在悬臂装置9的悬臂直线模组94的滑块上，旋转底座101设置在底座旋转驱动电机102正上方且旋转底座101底部与底座旋转驱动电机102的输出轴固定连接，底座旋转驱动电机102转动时驱动旋转底座101的转动；所述旋转底座101上表面的一侧固定整体呈半圆形环绕的半圆导向侧板103，旋转底座101上表面的另一侧固定底部支撑板104，所述刀片气缸111、取胶头气缸107和压块气缸105并列安装在底部支撑板104上且取胶头气缸107和半圆导向侧板103分别设置在压块气缸105的左右两侧，剪刀刀片112连接在刀片气缸111的输出端，胶带压块106连接在压块气缸105的输出端，胶头推板110设置在取胶头气缸107的输出端；所述胶带限位滚轮113和第一胶头连接块108均固定在底部支撑板104上，刀片气缸111推动剪刀刀片112伸出时胶带限位滚轮113和第一胶头连接块108分别位于剪刀刀片112的两侧；所述第一胶头连接块108设置在胶头推板110的正前方，所述第二胶头连接块109包括连接背板、两块胶带挡板和两块连接侧板，连接背板与两块胶带挡板平行设置，两块胶带挡板通过两块连接侧板固定在连接背板上；所述第二胶头连接块109的连接背板固定在第一胶头连接块108上，第一胶头连接块108和第二胶头连接块109的连接背板上均设置有供胶头推板110通过的横向通孔，第二胶头连接块109的连接背板与胶带挡板间设置有容纳胶带穿过的穿胶带通道；两块胶带挡板中部设置有中部窄两端宽的夹缝，夹缝的最大宽度大于胶带宽度且夹缝的最小宽度小于胶带宽度，胶带进入第二胶头连接块109的穿胶带通道后，取胶头气缸107推动胶头推板110穿过第一胶头连接块108和第二胶头连接块109上的横向通孔并将胶带压紧在第二胶头连接块109的胶带挡板内侧；所述光电传感器114安装在刀片气缸111和取胶头气缸107之间且光电传感器114正对的方向为刀片气缸111和取胶头气缸107的活塞杆伸出方向。

所述压紧装置6包括压紧底座61、压紧导轨62、压紧滑板63、压紧气缸64、压紧上盖板65、压紧轮66、压紧限位块67和压紧定位片68，所述压紧底座61固定在活动机架7上，压紧上盖板65固定在压紧底座61上；所述压紧导轨62固定在压紧底座61上且压紧导轨62的轴线垂直于晶圆包装盒1的正面，压紧滑板63底部设置有与压紧导轨62相配合的导向槽，压紧滑板63通过底部的导向槽套装在压紧导轨62上；所述压紧轮66的轴线竖直设置且压紧轮66固定在压紧滑板63靠近晶圆包装盒1的一端，压紧定位片68固定在靠近压紧轮66的压紧滑板63上，所述压紧定位片68上设置有供压紧气缸64的活塞杆穿过的槽孔；所述压紧气缸64平行于压紧导轨62设置且压紧气缸64固定在压紧上盖板65上，压紧气缸64的活塞杆上设置有压紧限位块67，压紧气缸64的活塞杆穿过压紧定位片68上的槽孔后通过压紧限位块67推动压紧定位片68的运动进而带动压紧滑板63和压紧轮66组成的整体向晶圆包装盒1方向运动。

所述胶带固定装置4包括气动三爪卡盘41、卡盘驱动气缸42、旋转进气轴43、胶带旋转从动轮44、从动轮安装座45和集气环47，所述气动三抓卡盘固定在卡盘驱动气缸42的输出端，卡盘驱动气缸42底部固定在竖直设置的旋转进气轴43的顶端，所述旋转进气轴43通过两个轴承座安装在从动轮安装座45上，胶带旋转从动轮44固定在旋转进气轴43上且胶带旋转从动轮44设置在支撑旋转进气轴43的两个轴承座之间；所述从动轮安装座45固定在活动机架7上，所述集气环47固定在从动轮安装座45底部，集气环47上端输气口与旋转进气轴43的下端进气口连接，旋转进气轴43的上端出气口与卡盘驱动气缸42的进气口连接；所述胶带旋转从动轮44和胶带旋转主动轮通过同步带连接；气动三爪卡盘41固定胶带时胶带的高度与穿胶带通道的高度相当，胶带的胶头能刚好穿入第一胶头连接块108的穿胶带通道中。

所述胶带旋转驱动装置5通过同步带连接胶带固定装置4的胶带旋转驱动轮54，胶带旋转驱动装置5工作时通过同步带带动胶带旋转驱动轮54转动进而带动气动三爪卡盘41和胶带组成的整体进行转动。

所述胶带旋转驱动装置5包括胶带旋转驱动电机51、胶带旋转电机座52、胶带旋转联轴器53和胶带旋转驱动轮54，所述胶带旋转电机座52固定在活动机架7上，胶带旋转驱动电机51竖直固定在胶带旋转电机座52上，胶带旋转驱动电机51的输出轴通过胶带旋转联轴器53连接胶带旋转驱动轮54。

所述升降装置8包括升降滑块81、升降导轨82和升降气缸83，所述升降导轨82设置有两条且两条升降导轨82均竖直固定在整体机架2上，每个升降导轨82上套装有一个升降滑块81，两个升降滑块81均与活动机架7固定连接；所述升降气缸83的底部固定在整体机架2上，升降气缸83的活动端固定在所述活动机架7上；升降气缸83工作时驱动活动机架7和升降滑块81组成的整体沿着升降导轨82上下运动。

所述集气环47通过集气环固定座46固定在从动轮安装座45上，集气环47为下端固定上端能够转动的供气装置，集气环47的下端固定在集气环固定座46上，集气环47的上端在供气时随着旋转进气轴43一起转动。

所述压紧滑板63的前端向悬臂装置9一侧弯折，压紧轮66固定在压紧滑板63的弯折的端部且压紧轮66的直径大于压紧滑板63弯折端的宽度。

两块胶带挡板之间的夹缝最小宽度为胶带宽度的一半。

所述第二胶头连接块109通过螺栓固定在第一胶头连接块108上。

所述第二胶头连接块109上的夹缝开设方向为水平方向。

所述第二胶头连接块109上的穿胶带通道的开口为一侧大一侧小的渐变式，穿胶带通道在靠近胶带的一侧开口较大，穿胶带通道靠近光电传感器一侧的开口较小。

本实用新型的具体工作流程如下：

初始状态下，需要将胶带安装在胶带固定装置4上，将晶圆包装盒安装在旋转升降平移传送带3上，胶带固定装置4上端的气动三爪卡盘41夹持住胶带，使胶带水平防止，胶带本身自带一块胶带头，胶带头为一侧与胶带粘粘另一侧不沾粘的方块，胶带安装在气动三爪卡盘41上时利用卡盘驱动气缸42驱动气动三爪卡盘41张开抓紧胶带内壁，同时利用胶带旋转驱动装置5驱动气动三爪卡盘41和胶带组成的整体进行转动；

在初始工作时需要进行胶带头的固定操作，由于初始状态下胶带具有一个伸出的胶带头，悬臂装置9的悬臂梁底座91运动到合适位置，同时驱动悬臂直线模组94使得胶带取头贴胶装置10整体移动到胶带附近，胶带取头贴胶装置10上的底座旋转驱动电机102驱动上方的整体转动，配合胶带的转动，可以使胶带的胶带头在旋转时进入胶带取头贴胶装置10的穿胶带通道内，当光电传感器114检测到胶带的胶带头后即代表胶带头进入穿胶带通道中，此时取胶头气缸107推动胶头推板110向前移动，将胶带头压在胶头推板110和第二胶头连接块109的胶带挡板内侧之间，实现胶带头的固定操作。

胶带头固定后，则需要进行胶带缠绕操作，首先悬臂装置9的悬臂转动气缸95工作，推动悬臂梁底座91转动，同时驱动悬臂直线模组94工作，使得胶带取头贴胶装置10移动到正对晶圆包装盒的位置，此时压块气缸105、取胶头气缸107和刀片气缸111的输出端均垂直于晶圆包装盒的正面；利用压块气缸105推动胶带压块106向前移动，胶带压块106将胶带头旁的胶带向前推，直至胶带粘在晶圆包装盒的正面上，此时取胶头气缸107退回到初始位置，松开胶带头，同时旋转升降平移传送带3带动晶圆包装盒转动，使胶带绕过半圆导向侧板103后一圈圈的缠绕在晶圆包装盒上直至整个缠胶带操作完成；在缠胶带的过程中，压紧装置6保持与缠胶带工序同时通过，压紧装置的压紧气缸64通过推动压紧滑板63前移使压紧轮66压在晶圆包装盒表面，压紧装置压紧晶圆包装盒时保持一定的压紧力，当超出一定压紧力范围则代表进入卡点，则需要主动将压紧位置稍微后腿，直至绕过卡点后再推动压紧轮66向前移动继续压紧晶圆包装盒。

当缠胶带工序完成后，在晶圆包装盒回复到初始位置时停止旋转升降平移传送带3的转动，同时压紧装置6复位，此时缠绕在晶圆包装盒上的胶带和安装在胶带旋转驱动装置5上的胶带之间设有一段绷直的胶带段，这段胶带还绕过半圆导向侧板103；此时旋转胶带取头贴胶装置10的底座旋转驱动电机102使其上方的整体开始转动，直至压块气缸105、取胶头气缸107和刀片气缸111的输出端垂直于这一段胶带段，胶带段向胶带头与旋转胶带取头贴胶装置10的接触位置挤压，而旋转胶带取头贴胶装置10与胶带段的接触位置包括半圆导向侧板103、第二胶头连接块109的胶带挡板和胶带限位滚轮113，胶带段最终会从两块胶带挡板之间的夹缝挤入第二胶头连接块109的穿胶带通道中，此时取胶头气缸107推动胶头推板110向前移动，将这一段胶带段的部分压在胶头推板110和第二胶头连接块109的胶带挡板内侧之间，实现胶带段的固定。

当缠绕后的胶带中部的胶带段固定后，刀片气缸111驱动剪刀刀片112前移，直至将胶带段剪断，则完成整个晶圆包装盒的胶带末端切断工作以及下一个晶圆包装盒的前置取胶头工作，旋转升降平移传送带3将缠绕好的晶圆包装盒运输到下一个工位，同时需要缠胶带的晶圆包装盒继续通过上一个工位的传输装置送入旋转升降平移传送带3中，准备进行下一个缠胶带操作。

当刀片气缸111驱动剪刀刀片112剪断胶带时，压紧装置6还可以继续工作一段时间，是的剪短后伸出的一小段胶带可以顺利被压在晶圆包装盒表面，也可以整个胶带剪断的工序直接在晶圆包装盒的正面附近进行，被切断时胶带本身只留有一小段，会在剪刀刀片剪断胶带时直接将胶带推到晶圆包装盒上。

由于整个晶圆包装盒需要进行两次缠胶带操作，当一次缠胶带操作完成后，升降装置8带动活动机架7上衣，使得整个缠胶带工位上移一段距离，从而进行晶圆包装盒的第二道缠胶带工序，整个缠胶带工序的找胶带头工作仅需要进行一次即可，后续可以一直利用找到的胶带头直接进行缠胶带操作。

旋转升降平移传送带3的具体工作流程如下：具体工作时，晶圆包装盒的升降通过传送带升降装置来实现，抬升气缸301工作时驱动抬升气缸转接板302上下运动；晶圆包装盒的旋转通过传送带旋转装置来实现，传送带旋转电机306工作时通过旋转主动轮307、旋转同步带和传送带旋转从动轮308构成的同步带机构带动旋转主轴304的转动，进而带动固定在旋转主轴304上方的上端平板310的转动，晶圆包装盒的平移通过传送带平移装置来实现，平移电机320工作时通过平移主动轮319、传送带平移从动轮318和平移同步带构成的同步带机构带动第一轴套315、第一螺纹齿轮316和连接环317组成的整体进行转动，带动与第一螺纹齿轮316相啮合的第二螺纹齿轮322的转动，进而带动主动轴321和两个传动链轮的转动，从而带动两条链条传送带324的运动。在晶圆包装盒缠胶带的操作中，需要传送带旋转装置一直工作使得晶圆包装盒保持旋转的状态，才能使胶带均匀缠绕在晶圆包装盒上，而在加工完毕后，将晶圆包装带送到下一个工位是需要用到传送带旋转装置进行水平传输；如果下一个工位采用与旋转升降平移传送带3相同的机构作为传输机构，则需要利用传送带升降装置将传送带平移装置上升后旋转90度再与下一个工位的旋转升降平移传送带3进行对接。

上述实施例只是本实用新型的较佳实施例，并不是对本实用新型技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。

Claims (9)

1.一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：包括整体机架（2）、旋转升降平移传送带（3）、胶带固定装置（4）、胶带旋转驱动装置（5）、压紧装置（6）、活动机架（7）、升降装置（8）、悬臂装置（9）和胶带取头贴胶装置（10），所述升降装置（8）固定在整体机架（2）上，活动机架（7）安装在升降装置（8）的活动端，升降装置（8）驱动活动机架（7）在竖直方向做直线运动；所述旋转升降平移传送带（3）用于固定支撑套袋整形后的晶圆包装盒（1）并带动晶圆包装盒（1）的升降、平移和旋转，旋转升降平移传送带（3）固定在活动机架（7）旁的整体机架（2）上；所述胶带固定装置（4）、胶带旋转驱动装置（5）、压紧装置（6）、悬臂装置（9）均安装在活动机架（7）上，胶带取头贴胶装置（10）安装在悬臂装置（9）上；

所述旋转升降平移传送带包括传送带升降装置、传送带平移装置和传送带旋转装置，所述传送带升降装置包括抬升气缸（301）和抬升气缸转接板（302），抬升气缸转接板（302）固定在抬升气缸（301）的正上方的输出头上，抬升气缸（301）工作时驱动所述抬升气缸转接板（302）上下运动；

所述传送带旋转装置包括传送带轴承座（303）、旋转主轴（304）、电机安装板（305）、旋转主动轮（307）、传送带旋转电机（306）、传送带旋转从动轮（308）、旋转同步带、主轴法兰（309）和上端平板（310），所述传送带轴承座（303）竖直固定在抬升气缸转接板（302）上，旋转主轴（304）的下端通过两个轴承竖直安装在传送带轴承座（303）内；电机安装板（305）固定在所述传送带轴承座（303）上，电机安装板（305）的中部设置有供旋转主轴（304）穿过的通孔；传送带旋转从动轮（308）通过键固定在旋转主轴（304）上，传送带旋转电机（306）固定在传送带轴承座（303）一侧的电机安装板（305）上，传送带旋转电机（306）的输出端连接旋转主动轮（307），旋转主动轮（307）和传送带旋转从动轮（308）通过旋转同步带连接，传送带旋转电机（306）工作时通过旋转主动轮（307）、旋转同步带和传送带旋转从动轮（308）构成的同步带机构带动旋转主轴（304）的转动，进而带动固定在旋转主轴（304）上方的上端平板（310）的转动；

所述传送带平移装置包括前转轴（311）、后转轴（312）、左侧板（313）、右侧板（314）、第一轴套（315）、第一螺纹齿轮（316）、连接环（317）、平移从动轮（318）、平移主动轮（319）、平移电机（320）、平移同步带、主动轴（321）、第二螺纹齿轮（322）、传动链轮和链条传送带，所述左侧板（313）和右侧板（314）平行设置，左侧板（313）和右侧板（314）分别固定在上端平板（310）的左右两侧，前转轴（311）固定在上端平板（310）的前端，后转轴（312）固定在上端平板（310）的后端，前转轴（311）和后转轴（312）均垂直于左侧板（313）和右侧板（314）设置，前转轴（311）和后转轴（312）的两端分别固定在左侧板（313）和右侧板（314）上；所述前转轴（311）和后转轴（312）的左端分别设置一个左链条轴套（323），所述前转轴（311）和后转轴（312）的右端分别设置一个右链条轴套（327），两个左链条轴套（323）上套装有一根链条传送带，两个右链条轴套（327）上套装有一根链条传送带；

所述平移电机（320）固定在传送带轴承座（303）另一侧的电机安装板（305）上，平移电机（320）的输出端连接平移主动轮（319），所述第一轴套（315）套装在旋转主轴（304）上，所述第一螺纹齿轮（316）、连接环（317）和平移从动轮（318）从上至下依次固定在第一轴套（315）上，平移主动轮（319）和平移从动轮（318）通过平移同步带连接，所述主动轴（321）水平设置且主动轴（321）的轴心线垂直于左侧板（313）和右侧板（314），所述主动轴（321）的两端分别通过轴承安装在左侧板（313）和右侧板（314）上，第二螺纹齿轮（322）固定在所述主动轴（321）的中部，所述第一螺纹齿轮（316）和第二螺纹齿轮（322）相啮合，所述主动轴（321）的两端分别设置有传动链轮，两条链条传送带分别与主动轴（321）的两端传动链轮相啮合；

所述平移电机（320）工作时通过平移主动轮（319）、平移从动轮（318）和平移同步带构成的同步带机构带动第一轴套（315）、第一螺纹齿轮（316）和连接环（317）组成的整体进行转动，带动与第一螺纹齿轮（316）相啮合的第二螺纹齿轮（322）的转动，进而带动主动轴（321）和两个传动链轮的转动，从而带动两条链条传送带的运动；

所述悬臂装置（9）包括悬臂梁底座（91）、悬臂梁轴承座（92）、悬臂梁旋转轴（93）、悬臂直线模组（94）、悬臂转动气缸（95）和悬臂气缸座（96），所述悬臂梁旋转轴（93）竖直设置，悬臂梁旋转轴（93）的下端通过悬臂梁轴承座（92）安装在活动机架（7）上，悬臂梁旋转轴（93）的上端通过另一个悬臂梁轴承座（92）安装在悬臂梁底座（91）的一端，悬臂直线模组（94）水平安装在悬臂梁底座（91）上；所述悬臂转动气缸（95）水平设置，悬臂转动气缸（95）的固定端通过悬臂气缸座（96）固定在活动机架（7）上，悬臂转动气缸（95）的固定端铰接在悬臂气缸座（96）上，悬臂转动气缸（95）的活动端铰接在所述悬臂梁底座（91）的中部；所述悬臂转动气缸（95）工作时带动悬臂梁底座（91）和悬臂梁轴承座（92）组成的整体绕着悬臂梁旋转轴（93）在水平方向上转动；

所述胶带取头贴胶装置（10）安装在悬臂装置（9）的悬臂直线模组（94）的滑块上；所述胶带取头贴胶装置（10）包括旋转底座（101）、底座旋转驱动电机（102）、半圆导向侧板（103）、底部支撑板（104）、压块气缸（105）、胶带压块（106）、取胶头气缸（107）、第一胶头连接块（108）、第二胶头连接块（109）、胶头推板（110）、刀片气缸（111）、剪刀刀片（112）、光电传感器（114）和胶带限位滚轮（113），所述底座旋转驱动电机（102）竖直设置且底座旋转驱动电机（102）固定在悬臂装置（9）的悬臂直线模组（94）的滑块上，旋转底座（101）设置在底座旋转驱动电机（102）正上方且旋转底座（101）底部与底座旋转驱动电机（102）的输出轴固定连接，底座旋转驱动电机（102）转动时驱动旋转底座（101）的转动；所述旋转底座（101）上表面的一侧固定整体呈半圆形环绕的半圆导向侧板（103），旋转底座（101）上表面的另一侧固定底部支撑板（104），所述刀片气缸（111）、取胶头气缸（107）和压块气缸（105）并列安装在底部支撑板（104）上且取胶头气缸（107）和半圆导向侧板（103）分别设置在压块气缸（105）的左右两侧，剪刀刀片（112）连接在刀片气缸（111）的输出端，胶带压块（106）连接在压块气缸（105）的输出端，胶头推板（110）设置在取胶头气缸（107）的输出端；所述胶带限位滚轮（113）和第一胶头连接块（108）均固定在底部支撑板（104）上，刀片气缸（111）推动剪刀刀片（112）伸出时胶带限位滚轮（113）和第一胶头连接块（108）分别位于剪刀刀片（112）的两侧；所述第一胶头连接块（108）设置在胶头推板（110）的正前方，所述第二胶头连接块（109）包括连接背板、两块胶带挡板和两块连接侧板，连接背板与两块胶带挡板平行设置，两块胶带挡板通过两块连接侧板固定在连接背板上；所述第二胶头连接块（109）的连接背板固定在第一胶头连接块（108）上，第一胶头连接块（108）和第二胶头连接块（109）的连接背板上均设置有供胶头推板（110）通过的横向通孔，第二胶头连接块（109）的连接背板与胶带挡板间设置有容纳胶带穿过的穿胶带通道；两块胶带挡板中部设置有中部窄两端宽的夹缝，夹缝的最大宽度大于胶带宽度且夹缝的最小宽度小于胶带宽度，胶带进入第二胶头连接块（109）的穿胶带通道后，取胶头气缸（107）推动胶头推板（110）穿过第一胶头连接块（108）和第二胶头连接块（109）上的横向通孔并将胶带压紧在第二胶头连接块（109）的胶带挡板内侧；所述光电传感器（114）安装在刀片气缸（111）和取胶头气缸（107）之间且光电传感器（114）正对的方向为刀片气缸（111）和取胶头气缸（107）的活塞杆伸出方向；

所述压紧装置（6）包括压紧底座（61）、压紧导轨（62）、压紧滑板（63）、压紧气缸（64）、压紧上盖板（65）、压紧轮（66）、压紧限位块（67）和压紧定位片（68），所述压紧底座（61）固定在活动机架（7）上，压紧上盖板（65）固定在压紧底座（61）上；所述压紧导轨（62）固定在压紧底座（61）上且压紧导轨（62）的轴线垂直于晶圆包装盒（1）的正面，压紧滑板（63）底部设置有与压紧导轨（62）相配合的导向槽，压紧滑板（63）通过底部的导向槽套装在压紧导轨（62）上；所述压紧轮（66）的轴线竖直设置且压紧轮（66）固定在压紧滑板（63）靠近晶圆包装盒（1）的一端，压紧定位片（68）固定在靠近压紧轮（66）的压紧滑板（63）上，所述压紧定位片（68）上设置有供压紧气缸（64）的活塞杆穿过的槽孔；所述压紧气缸（64）平行于压紧导轨（62）设置且压紧气缸（64）固定在压紧上盖板（65）上，压紧气缸（64）的活塞杆上设置有压紧限位块（67），压紧气缸（64）的活塞杆穿过压紧定位片（68）上的槽孔后通过压紧限位块（67）推动压紧定位片（68）的运动进而带动压紧滑板（63）和压紧轮（66）组成的整体向晶圆包装盒（1）方向运动；

所述胶带固定装置（4）包括气动三爪卡盘（41）、卡盘驱动气缸（42）、旋转进气轴（43）、胶带旋转从动轮（44）、从动轮安装座（45）和集气环（47），所述气动三抓卡盘固定在卡盘驱动气缸（42）的输出端，卡盘驱动气缸（42）底部固定在竖直设置的旋转进气轴（43）的顶端，所述旋转进气轴（43）通过两个轴承座安装在从动轮安装座（45）上，胶带旋转从动轮（44）固定在旋转进气轴（43）上且胶带旋转从动轮（44）设置在支撑旋转进气轴（43）的两个轴承座之间；所述从动轮安装座（45）固定在活动机架（7）上，所述集气环（47）固定在从动轮安装座（45）底部，集气环（47）上端输气口与旋转进气轴（43）的下端进气口连接，旋转进气轴（43）的上端出气口与卡盘驱动气缸（42）的进气口连接；所述胶带旋转从动轮（44）和胶带旋转主动轮（307）通过同步带连接；气动三爪卡盘（41）固定胶带时胶带的高度与穿胶带通道的高度相当，胶带的胶头能刚好穿入第一胶头连接块（108）的穿胶带通道中；

所述胶带旋转驱动装置（5）通过同步带连接胶带固定装置（4）的胶带旋转驱动轮（54），胶带旋转驱动装置（5）工作时通过同步带带动胶带旋转驱动轮（54）转动进而带动气动三爪卡盘（41）和胶带组成的整体进行转动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述胶带旋转驱动装置（5）包括胶带旋转驱动电机（51）、胶带旋转电机座（52）、胶带旋转联轴器（53）和胶带旋转驱动轮（54），所述胶带旋转电机座（52）固定在活动机架（7）上，胶带旋转驱动电机（51）竖直固定在胶带旋转电机座（52）上，胶带旋转驱动电机（51）的输出轴通过胶带旋转联轴器（53）连接胶带旋转驱动轮（54）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述升降装置（8）包括升降滑块（81）、升降导轨（82）和升降气缸（83），所述升降导轨（82）设置有两条且两条升降导轨（82）均竖直固定在整体机架（2）上，每个升降导轨（82）上套装有一个升降滑块（81），两个升降滑块（81）均与活动机架（7）固定连接；所述升降气缸（83）的底部固定在整体机架（2）上，升降气缸（83）的活动端固定在所述活动机架（7）上；升降气缸（83）工作时驱动活动机架（7）和升降滑块（81）组成的整体沿着升降导轨（82）上下运动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述集气环（47）通过集气环固定座（46）固定在从动轮安装座（45）上，集气环（47）为下端固定上端能够转动的供气装置，集气环（47）的下端固定在集气环固定座（46）上，集气环（47）的上端在供气时随着旋转进气轴（43）一起转动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述压紧滑板（63）的前端向悬臂装置（9）一侧弯折，压紧轮（66）固定在压紧滑板（63）的弯折的端部且压紧轮（66）的直径大于压紧滑板（63）弯折端的宽度。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述第二胶头连接块（109）上的穿胶带通道的开口为一侧大一侧小的渐变式，穿胶带通道在靠近胶带的一侧开口较大，穿胶带通道靠近光电传感器一侧的开口较小。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述上端平板（310）的底部还设置有两块回转轮轴固定板（325），回转轮轴固定板（325）平行于左侧板（313）和右侧板（314）设置，左侧板（313）和与左侧板（313）相邻的回转轮轴固定板（325）之间设置有两个回转轮（326），两个回转轮（326）对称设置在主动轴（321）的两侧，两个回转轮（326）的转向轴两端分别固定在左侧板（313）和回转轮轴固定板（325）上；链条传送带缠绕时依次经过前转轴（311）上的左链条轴套（323）、靠近前转轴（311）的回转轮（326）、传动链轮、靠近后转轴（312）的回转轮（326）和后转轴（312）上的左链条轴套（323）；所述右侧板（314）和与右侧板（314）相邻的回转轮轴固定板（325）上设置也设置有两个回转轮（326），这两个回转轮（326）的结构与左侧的两个回转轮（326）相对于旋转主轴（304）的轴心线对称设置。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述上端平板（310）上还设置有限位机构，所述限位机构设有关于旋转主轴（304）轴心线镜像设置的一对，所述限位机构包括限位座、限位气缸（328）、夹持旋转片（329）、夹持固定片、夹持旋转轴（330），所述夹持固定片固定在上端平板（310）的底部，夹持旋转片（329）的中部通过夹持旋转轴（330）连接在夹持固定片上，夹持旋转片（329）的上端伸出到上端平板（310）上方；限位气缸（328）的底部固定在限位座上，限位座固定在上端平板（310）上，限位气缸（328）的输出端铰接在所述夹持旋转片（329）的下端，限位气缸（328）工作时驱动夹持旋转片（329）绕着夹持旋转轴（330）转动，两个限位机构的夹持旋转片（329）的上端实现FOSB两侧的夹持固定。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆包装盒流水线自动胶带包扎装置，其特征在于：所述旋转主轴（304）的上端与主轴法兰（309）通过销轴固定连接，主轴法兰（309）通过螺栓固定在上端平板（310）的底面中部；主轴法兰（309）的上端面上设置有一圈螺栓孔，上端平板（310）中部设置有一圈对应的螺栓孔，通过穿过一圈螺栓孔的定位螺栓实现主轴法兰（309）和上端平板（310）的定位。

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