CN214334612U - 一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，所述腔体结构包括测试腔体；测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口；本实用新型可以检测出测试腔体间是否放置试样，有效的避免了无效的试验和传感器的损坏；实现了无上腔测试，在进行批量测试时能够保证温湿度的一致性，实现更精确的批量测试，提高了测试精度。

Description

一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备

技术领域

本实用新型涉及薄膜渗透测试技术领域，特别涉及一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备。

背景技术

本部分的陈述仅仅是提供了与本实用新型相关的背景技术，并不必然构成现有技术。

在进行薄膜渗透检测时，现有的测试结构由测试上腔及测试下腔组成，将被测试样(薄膜)放在上下腔之间。测试时，测试上腔将被测试样压紧在下腔上。

本实用新型发明人发现：

(1)现有的薄膜渗透检测产品，通常不对是否放置试样进行预先判断，直接开始测试，而在测试过程中如果上下腔之间没有放置试样，系统无法知晓，试验继续进行，轻则本次试验失败，重则导致传感器损坏；

(2)现有的气体渗透测试设备大多采用测试上腔和测试下腔相结合的方式，当进行批量试样的测试时，需要保证各个测试结构的上下腔的环境一致，控制精度较低，最终的测试结果也存在较大的误差；

(3)现有的气体渗透测试系统大都是将传感元件和电气元件放置在测试腔的下方，在进行温湿度的控制时，容易产生冷凝水或者出现冷却水的泄漏，进而对传感元件和电气元件产生较大的影响；

(4)现有的气体渗透测试系统，测试上腔将被测试样压紧在下腔上，在更换被测试样时，都是打开测试上腔，完成试样的更换，此种结构占用空间大，两个或两个以上的多腔结构只能采用平铺方式排列，更换试样时，需要打开测试上腔，一旦操作有误，测试上腔容易滑落到测试下腔上，伤及操作人员和造成零部件的损坏。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，可以检测出测试腔体间是否放置试样，有效的避免了无效的试验和传感器的损坏；实现了无上腔测试，在进行批量测试时能够保证温湿度的一致性，实现更精确的批量测试，提高了测试精度。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型第一方面提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构。

一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：

测试腔体；

测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。

作为可能的一些实现方式，凹槽内设有真空环，且真空环为多孔网状支撑体。

作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的闭环凹槽。

作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的非闭环凹槽。

作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个间隔设置的凹槽。

作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个凹槽，且相邻的两个凹槽之间开有与抽气端口连通的至少一个孔。

作为可能的一些实现方式，每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。

本实用新型第二方面提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构。

一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：

测试腔体；

测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的多个孔，测试腔体开有与各个孔连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。

作为可能的一些实现方式，孔内设有多孔网状支撑体。

作为可能的一些实现方式，各个相邻孔之间的距离相同。

作为可能的一些实现方式，各个孔绕测试腔体的内腔开口依次设置。

作为可能的一些实现方式，相邻的两个孔之间设有与抽气端口连通的至少一个凹槽。

作为可能的一些实现方式，每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。

本实用新型第三方面提供了一种薄膜渗透测试设备，包括本实用新型第一方面或第二方面所述的薄膜渗透测试的腔体结构。

本实用新型第四方面提供了一种薄膜渗透测试设备。

一种薄膜渗透测试设备，包括均含有内腔的第一仓体和第二仓体，第一仓体设置在第二仓体的上部或者侧部，第一仓体的内腔内设置有至少一个传感元件，第二仓体的内腔内设置有至少一个本实用新型第一方面或第二方面所述的腔体结构，第一仓体的内腔和第二仓体的内腔通过至少一条管路连通。

作为可能的一些实现方式，腔体结构所在的内腔侧壁固定有至少一个板件，至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接，腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽；

推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构固定连接，推拉件的第二端设有挡板且位于仓体外侧，挡板与通槽相对的一侧设有密封垫。

作为进一步的限定，包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽。

作为进一步的限定，包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽，腔体结构所在的内腔顶壁上设有用于管路通过的槽。

作为可能的一些实现方式，腔体结构的载气出气端口通过第一金属软管与第一金属管的一端连通，第一金属管的另一端与传感元件连通，腔体结构的载气进气端口通过第二金属软管与第二金属管的一端连通，第二金属管的另一端与载气供给装置连通，且金属软管位于腔体结构所在的内腔中。

作为可能的一些实现方式，每个独立的内腔均由隔热板围成。

作为可能的一些实现方式，每个独立的内腔的侧壁上设有温控模块，温控模块包括用于进行空间气流循环的至少一台循环风扇。

作为可能的一些实现方式，腔体结构所在内腔侧壁上开有试验气体排出口和试验气体进气口，腔体结构所在内腔设有温度传感器、湿度传感器和湿度发生装置，且湿度发生装置与试验气体进气口连通。

本实用新型第五方面提供了一种薄膜渗透测试设备。

一种薄膜渗透测试设备，包括含有内腔的仓体，仓体的内腔中设有板件，板件将内腔分成独立的第一内腔和第二内腔，第一内腔设置在第二内腔的上部或者侧部，第一内腔内设置至少一个传感元件，第二内腔内设置有至少一个本实用新型第一方面或第二方面所述的腔体结构，板件上设有至少一个用于管路通过的通孔。

作为可能的一些实现方式，腔体结构所在的内腔侧壁固定有至少一个板件，至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接，腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽；

推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构固定连接，推拉件的第二端设有挡板且位于仓体外侧，挡板与通槽相对的一侧设有密封垫。

作为进一步的限定，包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽。

作为进一步的限定，包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽，腔体结构所在的内腔顶壁上设有用于管路通过的槽。

作为可能的一些实现方式，腔体结构的载气出气端口通过第一金属软管与第一金属管的一端连通，第一金属管的另一端与传感元件连通，腔体结构的载气进气端口通过第二金属软管与第二金属管的一端连通，第二金属管的另一端与载气供给装置连通，且金属软管位于腔体结构所在的内腔中。

作为可能的一些实现方式，每个独立的内腔均由隔热板围成。

作为可能的一些实现方式，每个独立的内腔的侧壁上设有温控模块，温控模块包括用于进行空间气流循环的至少一台循环风扇。

作为可能的一些实现方式，腔体结构所在内腔侧壁上开有试验气体排出口和试验气体进气口，腔体结构所在内腔设有温度传感器、湿度传感器和湿度发生装置，且湿度发生装置与试验气体进气口连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型所述的薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，能够实现无上腔的测试，即当多个腔体结构处于同一个测试环境时，能够保证温湿度的一致性，实现更精确的批量测试，提高了测试精度。

2、本实用新型所述的薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，各个独立的内腔空间进行单独的控温，极大的提升了控温效果，保证了测试结果的准确性。

3、本实用新型所述的薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，可以检测出测试腔体间是否放置试样，有效的避免了无效的试验和传感器的损坏。

4、本实用新型所述的薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，通过在测试腔体上设置凹槽或者气孔，结合抽真空装置，能够实现对试样的有效吸附，进而能够有效的检测出测试腔体间是否放置试样。

5、本实用新型所述的薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，当凹槽较深时，通过设置多孔网状支撑体，支撑体作为凹槽与试样的媒介，结合抽真空装置能够实现试样的有效吸附，避免了试样的严重变形。

6、本实用新型所述的薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，当凹槽较浅或者采用至少一个小孔进行试样吸附时，无需设置多孔网状支撑体，能够直接的实现有效吸附且不会出现较大的试样变形。

7、本实用新型所述的薄膜渗透测试设备，通过金属软管、金属管与U型槽的配合，能够实现腔体结构在通槽内的稳定进出，有效的避免了腔体结构的移动对传感元件的测试精度带来的影响。

8、本实用新型所述的薄膜渗透测试设备，通过设置挡板和密封垫，在实现快速换样的前提下还保证了腔体结构所在空间的密封性，提高了测试结果的稳定性。

附图说明

构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

图1为本实用新型实施例1提供的薄膜渗透检测的腔体结构示意图。

图2为本实用新型实施例2提供的薄膜渗透检测的腔体结构示意图。

图3为本实用新型实施例6提供的薄膜渗透测试设备的结构示意图。

图4为本实用新型实施例6提供的可弹出式测试腔的结构示意图。

其中，1、传感器仓；2、阀组件；3、传感器仓排水口；4、金属管；5、密封垫；6、挡风盖；7、可弹出式测试腔；8、测试腔仓排水口；9、测试腔仓；10、测试腔仓控温组件；11、传感器仓控温组件；12、控制阀；13、电气元件；14、传感元件；15、试验气体排出口；16、温度传感器；17、湿度传感器；18、试验气体进气口；19、湿度发生装置；

7-1、基板；7-2、接头；7-3、测试腔体结构；7-4、U形槽；7-5、金属软管；7-3-1、被测试样；7-3-2、测试腔体；7-3-3、载气进入通道；7-3-4、载气流出通道；7-3-5、真空管道；7-3-6、真空环。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步说明。

应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本实用新型提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本实用新型所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本实用新型的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

实施例1：

如图1所示，本实用新型实施例1提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：测试腔体7-3-2；

测试腔体7-3-2的开口一侧开有用于与被测试样7-3-1相对的凹槽，凹槽内设有真空环7-3-6，测试腔体7-3-2开有与凹槽连通的抽气端口，连通通道构成真空管道7-3-5，即抽气端口与真空管的一端连通，真空管的另一端与抽真空装置连通，抽真空装置优选的可以是真空泵或真空发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有真空管，真空管的一端与凹槽连通，真空管的另一端与抽真空装置连通；当然，也可以是真空管的一端与连通通道的内部靠近凹槽的部分密封连通，真空管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与抽真空装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口，连通通道构成载气进入通道7-3-3，即载气进入通道7-3-3的端口与载气进气管的一端连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通，载气供给装置优选的载气气体发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气进气管，载气进气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通；当然，也可以是载气进气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气进气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与载气供给装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气出气端口，连通通道构成载气流出通道7-3-4，载气流出通道7-3-4的另一端与测试腔体外部连通。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气出气管，载气出气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气出气管的另一端与外界连通；当然，也可以是载气出气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气出气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与外界连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

本实施例中，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的闭环凹槽，可以理解的，在其他一些实施方式中，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的非闭环凹槽，如半圆形凹槽或者圆弧状凹槽或者方形凹槽等等，当然，这里的凹槽也可以是分段间隔设置的多个断续凹槽，也可以是在相邻的两个断续凹槽之间设置至少一个与抽气端口连通的孔，本领域技术人员可以根据具体工况进行凹槽形状的选择；这里不再赘述。

每个测试腔体包括至少一个内腔，本实施例优选的为一个内腔，本领域技术人员可以根据具体工况进行内腔数量的选择，这里不再赘述。

本实施例中，真空环为多孔网状支撑体，网状支撑体可以是金属烧结网、多孔陶瓷、金属网等，也可以是具有小孔的金属件或非金属件等，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

当抽真空装置抽真空时在凹槽处产生真空，被测试样紧紧地吸附在测试腔体上面，在真空环处保持一定的真空度；

被测试样暴露在仓体内腔空间中，当腔体结构所在内腔空间气体的组分稳定时(如通入的氧气或者水蒸气)，此气体透过被测试样到测试腔体的内腔中，由载气将透过的气体携带至传感器进行分析得到测试结果。

实施例2：

如图2所示，本实用新型实施例2提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：测试腔体7-3-2；

测试腔体7-3-2的开口一侧开有用于与被测试样7-3-1相对的凹槽，测试腔体7-3-2开有与凹槽连通的抽气端口，连通通道构成真空管7-3-5，即抽气端口与真空管的一端连通，真空管的另一端与抽真空装置连通，抽真空装置优选的可以是真空泵或真空发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有真空管，真空管的一端与凹槽连通，真空管的另一端与抽真空装置连通；当然，也可以是真空管的一端与连通通道的内部靠近凹槽的部分密封连通，真空管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与抽真空装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口，连通通道构成载气进入通道7-3-3，即载气进入通道7-3-3的端口与载气进气管的一端连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通，载气供给装置优选的载气气体发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气进气管，载气进气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通；当然，也可以是载气进气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气进气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与载气供给装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气出气端口，连通通道构成载气流出通道7-3-4，载气流出通道7-3-4的另一端与测试腔体外部连通。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气出气管，载气出气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气出气管的另一端与外界连通；当然，也可以是载气出气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气出气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与外界连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

本实施例中，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的闭环凹槽，可以理解的，在其他一些实施方式中，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的非闭环凹槽，如半圆形凹槽或者圆弧状凹槽或者方形凹槽等等，当然，这里的凹槽也可以是分段间隔设置的多个断续凹槽，本领域技术人员可以根据具体工况进行凹槽形状的选择；这里不再赘述。

每个测试腔体包括至少一个内腔，本实施例优选的为一个内腔，本领域技术人员可以根据具体工况进行内腔数量的选择，这里不再赘述。

在进行薄膜渗透测试时，当真空发生装置抽真空时在凹槽处产生真空，被测试样紧紧地吸附在测试腔体上面，在凹槽处保持一定的真空度；

被测试样暴露在仓体内腔空间中，当腔体结构所在内腔空间气体的组分稳定时(如通入的氧气或者水蒸气)，此气体透过被测试样到测试腔体的内腔中，由载气将透过的气体携带至传感器进行分析得到测试结果。

实施例3：

本实用新型实施例3提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：测试腔体；

测试腔体的开口一侧开有用于与被测试样相对的多个孔，测试腔体开有与孔连通的抽气端口，连通通道构成真空管，即抽气端口与真空管的一端连通，真空管的另一端与抽真空装置连通，抽真空装置优选的可以是真空泵或真空发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有真空管，真空管的一端与孔连通，真空管的另一端与抽真空装置连通；当然，也可以是真空管的一端与连通通道的内部靠近孔的部分密封连通，真空管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与抽真空装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口，连通通道构成载气进入通道，即载气进入通道的端口与载气进气管的一端连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通，载气供给装置优选的载气气体发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气进气管，载气进气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通；当然，也可以是载气进气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气进气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与载气供给装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气出气端口，连通通道构成载气流出通道，载气流出通道的另一端与测试腔体外部连通。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气出气管，载气出气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气出气管的另一端与外界连通；当然，也可以是载气出气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气出气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与外界连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

每个测试腔体包括至少一个内腔，本实施例优选的为一个内腔，本领域技术人员可以根据具体工况进行内腔数量的选择，这里不再赘述。

本实施例中，所述的孔为多个间隔设置的多个孔，可以按照环形的方式布置孔，也可以其他随机布置的方式进行孔的设置，也可以再相邻的孔之间设置与抽气端口连通的至少一个凹槽，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

在进行薄膜渗透测试时，当真空发生装置抽真空时在孔处产生真空，被测试样紧紧地吸附在测试腔体上面，在孔处保持一定的真空度；

被测试样暴露在仓体内腔空间中，当腔体结构所在内腔空间气体的组分稳定时(如通入的氧气或者水蒸气)，此气体透过被测试样到测试腔体的内腔中，由载气将透过的气体携带至传感器进行分析得到测试结果。

实施例4：

本实用新型实施例4提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：测试腔体；

测试腔体的开口一侧开有用于与被测试样相对的多个孔，孔内设有多孔网状支撑体，测试腔体开有与孔连通的抽气端口，连通通道构成真空管，即抽气端口与真空管的一端连通，真空管的另一端与抽真空装置连通，抽真空装置优选的可以是真空泵或真空发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有真空管，真空管的一端与孔连通，真空管的另一端与抽真空装置连通；当然，也可以是真空管的一端与连通通道的内部靠近孔的部分密封连通，真空管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与抽真空装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口，连通通道构成载气进入通道，即载气进入通道的端口与载气进气管的一端连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通，载气供给装置优选的载气气体发生器。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气进气管，载气进气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气进气管的另一端与载气供给装置连通；当然，也可以是载气进气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气进气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与载气供给装置连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气出气端口，连通通道构成载气流出通道，载气流出通道的另一端与测试腔体外部连通。

可以理解的，在其他一些实施方式中，连通通道内设有载气出气管，载气出气管的一端与测试腔体的内腔连通，载气出气管的另一端与外界连通；当然，也可以是载气出气管的一端与连通通道的内部靠近测试腔体的内腔的部分密封连通，载气出气管的另一端穿过连通通道的剩余部分后与外界连通，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

每个测试腔体包括至少一个内腔，本实施例优选的为一个内腔，本领域技术人员可以根据具体工况进行内腔数量的选择，这里不再赘述。

本实施例中，多孔网状支撑体可以是金属烧结网、多孔陶瓷、金属网等，也可以是具有小孔的金属件或非金属件等，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

本实施例中，所述的孔为多个间隔设置的多个孔，可以按照环形的方式布置孔，也可以其他随机布置的方式进行孔的设置，也可以再相邻的孔之间设置与抽气端口连通的至少一个凹槽，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

在进行薄膜渗透测试时，当真空发生装置抽真空时在孔处产生真空，被测试样紧紧地吸附在测试腔体上面，在孔处保持一定的真空度；

被测试样暴露在仓体内腔空间中，当腔体结构所在内腔空间气体的组分稳定时(如通入的氧气或者水蒸气)，此气体透过被测试样到测试腔体的内腔中，由载气将透过的气体携带至传感器进行分析得到测试结果。

实施例5：

本实用新型实施例5提供了一种薄膜渗透测试设备，包括本实用新型实施例1或者实施例2或者实施例3或者实施例4所述的薄膜渗透测试的腔体结构。

实施例6：

如图3所示，本实用新型实施例6提供了一种薄膜渗透测试设备，所述测试设备包括仓体结构，仓体结构包括均含有内腔的测试腔仓9(即第二仓体)和传感器仓1(即第一仓体)；

传感器仓1设置在测试腔仓9的上部，传感器仓1的内腔内设置有至少一个传感元件14，测试腔仓9的内腔内设置有至少一个可弹出式测试腔体7，所述可弹出式测试腔体7包括本实用新型实施例1或实施例2或实施例3或实施例4所述的测试腔体结构7-3，传感器仓1的内腔和测试腔仓9的内腔通过至少一条管路连通。

本实施例中，传感器仓1上还设有传感器仓排水口3，测试腔仓9上还设有测试腔仓排水口8，传感元件14的出气端口通过管路连通道传感器仓1外侧，且管路上设有控制阀12。

腔体结构7-3所在的内腔侧壁固定有至少一个基板7-1(本实施例优选的采用上下平行的三个基板)，至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接，腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽；

推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构7-3固定连接，推拉件的第二端设有挡风盖6且位于仓体外侧，挡风盖6与通槽相对的一侧设有密封垫5。

本实施例中，驱动机构优选的为气缸，可以理解的，在其他一些实施方式中，驱动机构也可以是电缸机构或者电磁驱动机构或者液压驱动机构，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

可以理解的，在其他一些实施方式中，包括至少两个平行的基板，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽，腔体结构所在的内腔顶壁上设有用于管路通过的槽。

可以理解的，在其他一些实施方式中，包括至少两个平行的基板，每个基板的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽。

本实施例中，腔体结构的载气出气端口和载气进气端口分别通过不同的金属软管7-5与对应的金属管4的一端连通，优选的金属软管7-5通过接头7-2与金属管4连通，一条金属管4的另一端通过阀组件2与传感元件14连通，另一条金属管4的另一端与载气供给装置连通，且金属软管7-5位于腔体结构所在的内腔中。

具体的，腔体结构的载气出气端口通过第一金属软管与第一金属管的一端连通，第一金属管的另一端与传感元件连通，腔体结构的载气进气端口通过第二金属软管与第二金属管的一端连通，第二金属管的另一端与载气供给装置连通，且金属软管位于腔体结构所在的内腔中；其中，第一金属软管穿过开口相对的两个槽，第二金属软管穿过开口相对的另外两个槽。

本实施例中，每个槽包括两个平行相对的槽板，槽板与板件固定连接；可以理解的，在其他一些实施方式中，也可以是在板件上直接开槽，槽可以是U型槽，也可以是矩形槽或者梯形槽等等，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

本实施例中，每个独立的内腔的侧壁上设有温控组件；优选的，测试腔仓的内腔内设有测试腔仓温控组件10，传感器仓1的内腔内设有传感器仓温控组件11；

温控组件包括用于进行空间气流循环的至少一台循环风扇；本实施例中，优选的传感器仓内设有一台循环风扇，测试腔仓内设有三台循环风扇(每台循环风扇对应一个腔体结构)，循环风扇的数量可以根据具体的气流流向和仓体内腔的大小或者腔体结构的数量进行设计，这里不再赘述。

可以理解的，在其他一些实施方式中，也可以只在测试腔仓9或传感器仓1内设置温控组件，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

传感器仓1的内腔内设置至少一个与传感元件14连接的电气元件13。

本实施例中，测试腔仓9和传感器仓1由隔热板围成，可以理解的，在其他一些实施方式中，也可以只有测试腔仓9或传感器仓1由隔热板围成，或者只有两个仓体相互接触的板件由隔热板制成，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

本实施例中，测试腔仓9和传感器仓1的形状和尺寸均相同，传感器仓1固定在测试腔仓9的正上方，可以理解的，在其他一些实施方式中，测试腔仓9和传感器仓1的形状和尺寸也可以不相同；传感器仓1也可以设置在测试腔仓9的侧部，即两者横向并列设置，只要不设置在测试腔仓9的下方即可，本领域技术人员可以根据具体工况进行设计，这里不再赘述。

本实施例中，测试腔仓内还开有试验气体排出口15和试验气体进气口18，测试腔仓内还设有温度传感器16、湿度传感器17和湿度发生装置19；

测试开始前，驱动机构将腔体结构通过通槽推出，换完被测试样后，驱动机构将腔体结构通过通槽拉回，并通过挡板和密封垫将通槽密封；

当抽真空装置工作时，被测试样被吸附在测试腔体的开口侧，并保持槽内或孔内预设的真空度；

被测试样暴露在仓体内腔空间中，通过试验气体进气口注入测试气体，当腔体结构所在内腔空间气体的组分稳定时，此气体透过被测试样到测试腔体的内腔中，由载气将透过的气体携带至传感器进行分析得到测试结果。

当用于水蒸气测试时，结合试验气体排出口15、试验气体进气口18、温度传感器16、湿度传感器17和湿度发生装置19，实现预设湿度的水蒸气的渗透测试。

实施例7：

本实用新型实施例7提供了一种薄膜渗透测试设备，包括含有内腔的仓体，仓体的内腔中设有板件，板件将内腔分成独立的第一内腔和第二内腔，第一内腔设置在第二内腔的上部或者侧部；

仓体结构包括均含有内腔的测试腔仓(即第二仓体)和传感器仓(即第一仓体)，测试腔仓(即第二仓体)和传感器仓通过仓体结构内的一个内腔通过板件划分而成；

传感器仓设置在测试腔仓的上部，传感器仓1的内腔内设置有至少一个传感元件，测试腔仓的内腔内设置有至少一个本实用新型实施例1或实施例2或实施例3或实施例4所述的腔体结构，所述腔体结构为可弹出式测试腔体，传感器仓的内腔和测试腔仓的内腔通过至少一条管路连通。

本实施例中，传感器仓上还设有传感器仓排水口，测试腔仓上还设有测试腔仓排水口，传感元件的出气端口通过管路连通道传感器仓外侧，且管路上设有控制阀。

腔体结构所在的内腔侧壁固定有至少一个基板，至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接，腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽；

推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构固定连接，推拉件的第二端设有挡板且位于仓体外侧，挡板与通槽相对的一侧设有密封垫。

本实施例中，驱动机构优选的为气缸，可以理解的，在其他一些实施方式中，驱动机构也可以是电缸机构或者电磁驱动机构或者液压驱动机构，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

可以理解的，在其他一些实施方式中，包括至少两个平行的基板，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽，腔体结构所在的内腔顶壁上设有用于管路通过的槽。

可以理解的，在其他一些实施方式中，包括至少两个平行的基板，每个基板的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽。

本实施例中，腔体结构的载气出气端口和载气进气端口分别通过不同的金属软管7-5与对应的金属管4的一端连通，优选的金属软管7-5通过接头7-2与金属管4连通，一条金属管4的另一端通过阀组件2与传感元件14连通，另一条金属管4的另一端与载气供给装置连通，且金属软管7-5位于腔体结构所在的内腔中。

具体的，腔体结构的载气出气端口通过第一金属软管与第一金属管的一端连通，第一金属管的另一端与传感元件连通，腔体结构的载气进气端口通过第二金属软管与第二金属管的一端连通，第二金属管的另一端与载气供给装置连通，且金属软管位于腔体结构所在的内腔中；其中，第一金属软管穿过开口相对的两个槽，第二金属软管穿过开口相对的另外两个槽。

本实施例中，每个槽包括两个平行相对的槽板，槽板与板件固定连接；可以理解的，在其他一些实施方式中，也可以是在板件上直接开槽，槽可以是U型槽，也可以是矩形槽或者梯形槽等等，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

本实施例中，每个独立的内腔的侧壁上设有温控组件，测试腔仓的内腔内设有测试腔仓温控组件，传感器仓的内腔内设有传感器仓温控组件；温控组件包括用于进行空间气流循环的至少一台循环风扇；本实施例中，优选的传感器仓内设有一台循环风扇，测试腔仓内设有三台循环风扇(每台循环风扇对应一个腔体结构)，循环风扇的数量可以根据具体的气流流向和仓体内腔的大小或者腔体结构的数量进行设计，这里不再赘述。

可以理解的，在其他一些实施方式中，也可以只在测试腔仓或传感器仓内设置温控组件，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

传感器仓的内腔内设置至少一个与传感元件连接的电气元件。

本实施例中，测试腔仓和传感器仓由隔热板围成，可以理解的，在其他一些实施方式中，也可以只有测试腔仓或传感器仓由隔热板围成，或者只有两个仓体相互接触的板件由隔热板制成，本领域技术人员可以根据具体工况进行选择，这里不再赘述。

本实施例中，测试腔仓和传感器仓的形状和尺寸均相同，传感器仓固定在测试腔仓的正上方，可以理解的，在其他一些实施方式中，测试腔仓和传感器仓的形状和尺寸也可以不相同；传感器仓也可以设置在测试腔仓的侧部，即两者横向并列设置，只要不设置在测试腔仓的下方即可，本领域技术人员可以根据具体工况进行设计，这里不再赘述。

本实施例中，测试腔仓内还开有试验气体排出口和试验气体进气口，测试腔仓内还设有温度传感器、湿度传感器和湿度发生装置；

测试开始前，驱动机构将腔体结构通过通槽推出，换完被测试样后，驱动机构将腔体结构通过通槽拉回，并通过挡板和密封垫将通槽密封；

当抽真空装置工作时，被测试样被吸附在测试腔体的开口侧，并保持槽内或孔内预设的真空度；

被测试样暴露在仓体内腔空间中，通过试验气体进气口注入测试气体，当腔体结构所在内腔空间气体的组分稳定时，此气体透过被测试样到测试腔体的内腔中，由载气将透过的气体携带至传感器进行分析得到测试结果。

当用于水蒸气测试时，结合试验气体排出口、试验气体进气口、温度传感器、湿度传感器和湿度发生装置，实现预设湿度的水蒸气的渗透测试。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：包括：

测试腔体；

测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。

2.如权利要求1所述的薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：

凹槽内设有真空环，且真空环为多孔网状支撑体；

或者，

凹槽为绕测试腔体的内腔开口的闭环凹槽；

或者，

凹槽为绕测试腔体的内腔开口的非闭环凹槽；

或者，

凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个间隔设置的凹槽；

或者，

凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个凹槽，且相邻的两个凹槽之间开有与抽气端口连通的至少一个孔；

或者，

每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。

3.一种薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：包括：

测试腔体；

测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的多个孔，测试腔体开有与各个孔连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。

4.如权利要求3所述的薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：

孔内设有多孔网状支撑体；

或者，

各个相邻孔之间的距离相同；

或者，

各个孔绕测试腔体的内腔开口依次设置；

或者，

相邻的两个孔之间设有与抽气端口连通的至少一个凹槽；

或者，

每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。

5.一种薄膜渗透测试设备，其特征在于：包括权利要求1-4任一项所述的薄膜渗透测试的腔体结构。

6.一种薄膜渗透测试设备，其特征在于：包括均含有内腔的第一仓体和第二仓体，第一仓体设置在第二仓体的上部或者侧部，第一仓体的内腔内设置有至少一个传感元件，第二仓体的内腔内设置有至少一个权利要求1-4任一项所述的腔体结构，第一仓体的内腔和第二仓体的内腔通过至少一条管路连通；

或者，

包括含有内腔的仓体，仓体的内腔中设有板件，板件将内腔分成独立的第一内腔和第二内腔，第一内腔设置在第二内腔的上部或者侧部，第一内腔内设置至少一个传感元件，第二内腔内设置有至少一个权利要求1-4任一项所述的腔体结构，板件上设有至少一个用于管路通过的通孔。

7.如权利要求6所述的薄膜渗透测试设备，其特征在于：

腔体结构所在的内腔侧壁固定有至少一个板件，至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接，腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽；

推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构固定连接，推拉件的第二端设有挡板且位于仓体外侧，挡板与通槽相对的一侧设有密封垫。

8.如权利要求7所述的薄膜渗透测试设备，其特征在于：

包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽。

9.如权利要求7所述的薄膜渗透测试设备，其特征在于：包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽，腔体结构所在的内腔顶壁上设有用于管路通过的槽。

10.如权利要求6所述的薄膜渗透测试设备，其特征在于：

腔体结构的载气出气端口通过第一金属软管与第一金属管的一端连通，第一金属管的另一端与传感元件连通，腔体结构的载气进气端口通过第二金属软管与第二金属管的一端连通，第二金属管的另一端与载气供给装置连通，且金属软管位于腔体结构所在的内腔中；

或者，

每个独立的内腔均由隔热板围成；

或者，

每个独立的内腔的侧壁上设有温控模块，温控模块包括用于进行空间气流循环的至少一台循环风扇；

或者，

腔体结构所在内腔侧壁上开有试验气体排出口和试验气体进气口，腔体结构所在内腔设有温度传感器、湿度传感器和湿度发生装置，且湿度发生装置与试验气体进气口连通。

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