CN214322943U - 一种用于硅片的修整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种用于硅片的修整装置，包括机箱、工作台和支撑盘，所述工作台的底部与机箱的顶部固定连接，所述支撑盘的底部与工作台的顶部固定连接，所述支撑盘的顶部开设有放置腔，所述工作台的一侧固定连接有支撑柱。该用于硅片的修整装置，通过液压缸推动抛光电机和抛光片下降，通过抛光片对硅片的表面进行修整，当硅片修整完成后，通过电动推杆可以推动偏心轮转动，偏心轮在转动的过程中，其顶部会推动活动板向上移动，带动顶出杆向上移动，顶出杆的顶端推动硅片向上移动，使得硅片从放置腔的内部分离，从而使得该装置达到了便于将抛光之后的硅片从装置的内部取出的效果。

Description

一种用于硅片的修整装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种用于硅片的修整装置。

背景技术

地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，广泛运用于高科技产业。

在硅片加工完成后，需要对硅片进行抛光修整，将硅片放置到修整装置的内部，然后通过抛光装置来对硅片的表面进行抛光，使得抛光表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性，这类装置在抛光完成之后，需要将硅片从装置的内部取出，在取出的过程中，由于硅片的底部紧贴在装置的表面，使得硅片不方便拿取，为此我们提出了一种用于硅片的修整装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅片的修整装置，具备便于将抛光之后的硅片从装置的内部取出的优点，解决了上述背景技术中所提出的问题。

(二)技术方案

本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片的修整装置，包括机箱、工作台和支撑盘，所述工作台的底部与机箱的顶部固定连接，所述支撑盘的底部与工作台的顶部固定连接，所述支撑盘的顶部开设有放置腔，所述工作台的一侧固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶部固定连接有安装有旋转电机，所述旋转电机的一侧固定连接有伸缩臂，所述伸缩臂远离旋转电机的一侧固定连接有顶板，所述顶板的内部固定连接有液压缸，所述液压缸的底部固定安装有抛光电机，所述抛光电机的底部固定连接有抛光片。

所述工作台的内部开设有空槽，所述空槽的内部开设有偏心轮，所述空槽的内侧壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆远离空槽内侧壁的一端通过连杆与偏心轮的一侧活动连接，所述偏心轮的顶部搭接有活动板，所述活动板的顶部固定连接有顶出杆，所述工作台的顶部固定连接有导向柱，所述活动板与导向柱活动连接。

优选的，所述顶板底部的两侧均固定连接有导向套管，所述导向套管的底端与抛光电机的两侧固定连接。

优选的，所述连杆的一端与电动推杆的一端铰接，所述连杆的另一端与偏心轮的一侧铰接。

优选的，所述活动板的内部开设有导向槽，所述导向柱与导向槽的内部活动连接。

优选的，所述放置腔的底部为空心设置，所述顶出杆与放置腔的内部活动连接。

优选的，所述导向柱的顶端固定连接有挡块，所述挡块的底部与活动板的底部搭接。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于硅片的修整装置，具备以下有益效果：

1、该用于硅片的修整装置，将需要加工的硅片放置到支撑盘顶部的放置腔内，再通过液压缸推动抛光电机和抛光片下降，通过抛光片对硅片的表面进行修整，当硅片修整完成后，通过电动推杆可以推动偏心轮转动，偏心轮在转动的过程中，其顶部会推动活动板向上移动，带动顶出杆向上移动，顶出杆的顶端推动硅片向上移动，使得硅片从放置腔的内部分离，从而使得该装置达到了便于将抛光之后的硅片从装置的内部取出的效果。

2、该用于硅片的修整装置，通过设置有旋转电机，旋转电机可以带动伸缩臂在支撑柱的顶部转动，当硅片加工完成后，在旋转电机的作用下，使得伸缩臂转动一定的角度，带动顶板、抛光电机和抛光片从支撑板的顶部偏移一段距离，使得支撑盘的顶部留有足够的空间，进一步便于将加工之后的硅片从装置的内部取出。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处结构放大图；

图3为本实用新型偏心轮结构示意图。

其中：1、机箱；2、工作台；3、支撑盘；4、放置腔；5、支撑柱；6、旋转电机；7、伸缩臂；8、顶板；9、液压缸；10、抛光电机；11、抛光片；12、导向套管；13、空槽；14、偏心轮；15、电动推杆；16、连杆；17、活动板；18、顶出杆；19、导向柱；20、导向槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种用于硅片的修整装置，包括机箱1、工作台2和支撑盘3，工作台2的底部与机箱1的顶部固定连接，支撑盘3的底部与工作台2的顶部固定连接，支撑盘3的顶部开设有放置腔4，工作台2的一侧固定连接有支撑柱5，支撑柱5的顶部固定连接有安装有旋转电机6，旋转电机6的一侧固定连接有伸缩臂7，伸缩臂7远离旋转电机6的一侧固定连接有顶板8，顶板8的内部固定连接有液压缸9，液压缸9的底部固定安装有抛光电机10，抛光电机10的底部固定连接有抛光片11，顶板8底部的两侧均固定连接有导向套管12，导向套管12的底端与抛光电机10的两侧固定连接，通过导向套管12的作用，对抛光电机10和抛光片11进行导向并限位，防止抛光片11在进行上下移动的过程中发生偏移。

工作台2的内部开设有空槽13，空槽13的内部开设有偏心轮14，空槽13的内侧壁固定连接有电动推杆15，电动推杆15远离空槽13内侧壁的一端通过连杆16与偏心轮14的一侧活动连接，连杆16的一端与电动推杆15的一端铰接，连杆16的另一端与偏心轮14的一侧铰接，偏心轮14的顶部搭接有活动板17，活动板17的顶部固定连接有顶出杆18，工作台2的顶部固定连接有导向柱19，活动板17与导向柱19活动连接，放置腔4的底部为空心设置，顶出杆18与放置腔4的内部活动连接，活动板17的内部开设有导向槽20，通过导向柱19和导向槽20的作用，便于对活动板17进行导向，使得活动板17只能在竖直方向进行上下移动，导向柱19与导向槽20的内部活动连接，导向柱19的顶端固定连接有挡块，挡块的底部与活动板17的底部搭接，通过挡块的作用，对活动板17的位置进行限位，防止活动板17向上移动的过程中从导向柱19的顶部分离。

在使用时，将需要加工的硅片放置到支撑盘3顶部的放置腔4内，再通过液压缸9推动抛光电机10和抛光片11下降，通过抛光片11对硅片的表面进行修整，当硅片修整完成后，通过电动推杆15可以推动偏心轮14转动，偏心轮14在转动的过程中，其顶部会推动活动板17向上移动，带动顶出杆18向上移动，顶出杆18的顶端推动硅片向上移动，使得硅片从放置腔4的内部分离，从而便于将加工之后的硅片从装置的内部取出。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于硅片的修整装置，包括机箱(1)、工作台(2)和支撑盘(3)，其特征在于：所述工作台(2)的底部与机箱(1)的顶部固定连接，所述支撑盘(3)的底部与工作台(2)的顶部固定连接，所述支撑盘(3)的顶部开设有放置腔(4)，所述工作台(2)的一侧固定连接有支撑柱(5)，所述支撑柱(5)的顶部固定连接有安装有旋转电机(6)，所述旋转电机(6)的一侧固定连接有伸缩臂(7)，所述伸缩臂(7)远离旋转电机(6)的一侧固定连接有顶板(8)，所述顶板(8)的内部固定连接有液压缸(9)，所述液压缸(9)的底部固定安装有抛光电机(10)，所述抛光电机(10)的底部固定连接有抛光片(11)；

所述工作台(2)的内部开设有空槽(13)，所述空槽(13)的内部开设有偏心轮(14)，所述空槽(13)的内侧壁固定连接有电动推杆(15)，所述电动推杆(15)远离空槽(13)内侧壁的一端通过连杆(16)与偏心轮(14)的一侧活动连接，所述偏心轮(14)的顶部搭接有活动板(17)，所述活动板(17)的顶部固定连接有顶出杆(18)，所述工作台(2)的顶部固定连接有导向柱(19)，所述活动板(17)与导向柱(19)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的修整装置，其特征在于：所述顶板(8)底部的两侧均固定连接有导向套管(12)，所述导向套管(12)的底端与抛光电机(10)的两侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片的修整装置，其特征在于：所述连杆(16)的一端与电动推杆(15)的一端铰接，所述连杆(16)的另一端与偏心轮(14)的一侧铰接。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片的修整装置，其特征在于：所述活动板(17)的内部开设有导向槽(20)，所述导向柱(19)与导向槽(20)的内部活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片的修整装置，其特征在于：所述放置腔(4)的底部为空心设置，所述顶出杆(18)与放置腔(4)的内部活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片的修整装置，其特征在于：所述导向柱(19)的顶端固定连接有挡块，所述挡块的底部与活动板(17)的底部搭接。

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