CN214235484U - 一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。
Description
技术领域
本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。
背景技术
晶圆清洗设备通常具有多道工序，比如先进行清洗液清洗再进行清水清洗，如图1 所示，这就必然需要将晶圆在不同的工位上移动，以便进入不同的清洗槽内。运输机构在运输仓室 93 内运动已将晶圆从第一清洗工位 91 运输到第二清洗工位92。由于需要移动晶圆，因此各工位之间不能完全封闭，当清洗槽内进行清洗工作时，就有可能将清洗液水雾或者气体带入临近的工位上，因此需要一种针对晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，包括：
固定框，位于晶圆清洗设备的背板后部，为立方体形，4面由板材构成，也即具有长度方向的2个长度竖直板面，宽度方向的1个宽度竖直板面，高度不同的两个平行的水平板面，前端为晶圆清洗设备的背板，且背板上开设有开口；
导轨，设置在固定框的长度竖直板面的内壁上，与水平面平行；
滑动块，设置在导轨上，能够在电机驱动下沿所述导轨运动；
挡板，设置在所述滑动块，能够在滑动块运动时，从背板上开设的开口伸出或者缩回。
优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板的板面，以密封所述挡板与背板开口处的间隙。
优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述宽度竖直板面上设置有通气口，以向固定框内通入气体，通入气体后可以使固定框内的水汽排出。
优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述挡板底部设置有滚轮，所述滚轮的周向具有槽，所述晶圆清洗设备的底板上设置有轨道，所述轨道嵌入滚轮的周向的槽内，起到支撑固定的作用，同时减小摩擦。
优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述滑动块设置在两根螺杆上，电机驱动两根螺杆旋转，从而使所述滑动块运动。
优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述挡板完全伸出出口时的行程的末端还设置有竖直固定挡块，所述挡板伸出出口行程路径的顶端也设置有水平固定挡块。
优选地，本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，所述竖直固定挡块和水平固定挡块均由两块平行的挡块构成，所述挡板能够伸入两块平行的挡块之间的间隙内。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是晶圆清洗设备的结构示意图；
图2是本申请实施例的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构的结构示意图；
图3是本申请实施例的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构的主视图；
图4是图3固定框处的放大图。
图中的附图标记为：
1：固定框；
2：挡板；
4：导轨；
5：滑动块；
6：滚轮；
7：轨道；
8：通气口；
11：长度竖直板面；
12：宽度竖直板面；
13：水平板面；
31：背板；
32：底板；
51：螺杆；
61：竖直固定挡块；
62：水平固定挡块；
91：第一清洗工位；
92：第二清洗工位；
93：运输仓室。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例
本实施例提供一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，如图1所示，
包括：
固定框1，位于晶圆清洗设备的背板31后部，为立方体形，4面由板材构成，也即具有长度方向的2个长度竖直板面11，宽度方向的1个宽度竖直板面12，高度不同的两个平行的水平板面13，前端为晶圆清洗设备的背板31，且背板31上开设有开口；
导轨4，设置在固定框1的长度竖直板面11的内壁上，与水平面平行；
滑动块5，设置在导轨4上，能够在电机驱动下沿所述导轨4运动；
挡板2，设置在所述滑动块5，能够在滑动块5运动时，从背板31上开设的开口伸出或者缩回。
本申请的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框1对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块5驱动挡板2从背板31上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室93，从而将第一清洗工位91和第二清洗工位92的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。
所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板2的板面，以密封所述挡板与背板31开口处的间隙。
所述宽度竖直板面12上设置有通气口8，以向固定框1内通入气体，通入气体后可以使固定框1内的水汽排出。
所述挡板2底部设置有滚轮6，所述滚轮6的周向具有槽，所述晶圆清洗设备的底板32上设置有轨道7，所述轨道7嵌入滚轮6的周向的槽内，起到支撑固定的作用，同时减小摩擦。
所述滑动块5设置在两根螺杆51上，电机驱动两根螺杆51旋转，从而使所述滑动块5运动（也即滑珠丝杆传动副）。
所述挡板2完全伸出出口时的行程的末端还设置有竖直固定挡块61，所述挡板2伸出出口行程路径的顶端也设置有水平固定挡块62，所述挡板2完全伸出时，水平固定挡块62密封住所述挡板2的顶部，竖直固定挡块61密封住所述挡板2的前端，最终与挡板2一起起密封作用。
所述竖直固定挡块61和水平固定挡块62均由两块平行的挡块构成，所述挡板2能够伸入两块平行的挡块之间的间隙内。所述挡板2由不锈钢材料制成。
需要指出的是，晶圆清洗设备清洗工位挡板机构不需要完全密闭，仅需要能够起到一定的阻挡喷溅的水滴的作用。以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (7)
1.一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，包括：
固定框（1），位于晶圆清洗设备的背板（31）后部，为立方体形，4 面由板材构成，也即具有长度方向的 2 个长度竖直板面（11），宽度方向的 1 个宽度竖直板面（12），高度不同的两个平行的水平板面（13），前端为晶圆清洗设备的背板（31），且背板（31）上开设有开口；
导轨（4），设置在固定框（1）的长度竖直板面（11）的内壁上，与水平面平行；
滑动块（5），设置在导轨（4）上，能够在电机驱动下沿所述导轨（4）运动；
挡板（2），设置在所述滑动块（5），能够在滑动块（5）运动时，从背板（31）上开设的开口伸出或者缩回。
2.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述开口处设置有密封圈，所述密封圈抵靠所述挡板（2）的板面，以密封所述挡板与背板（31）开口处的间隙。
3.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述宽度竖直板面（12）上设置有通气口（8），以向固定框（1）内通入气体，通入气体后可以使固定框（1）内的水汽排出。
4.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述挡板（2）底部设置有滚轮（6），所述滚轮（6）的周向具有槽，所述晶圆清洗设备的底板（32）上设置有轨道（7），所述轨道（7）嵌入滚轮（6）的周向的槽内，起到支撑固定的作用，同时减小摩擦。
5.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述滑动块（5）设置在两根螺杆（51）上，电机驱动两根螺杆（51）旋转，从而使所述滑动块（5）运动。
6.根据权利要求 1 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述挡板（2）完全伸出出口时的行程的末端还设置有竖直固定挡块（61），所述挡板（2）伸出出口行程路径的顶端也设置有水平固定挡块（62）。
7.根据权利要求 6 所述的晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，其特征在于，所述竖直固定挡块（61）和水平固定挡块（62）均由两块平行的挡块构成，所述挡板（2）能够伸入两块平行的挡块之间的间隙内。
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