CN210977160U - 一种晶圆清洗装置开关门机构 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种晶圆清洗装置开关门机构，门框能够绕门轴转动，从而在需要时，整个门框均能够打开，同时门框内又设置开口，由移动门板的移到来控制开口的打开与关闭，实现了在操作过程中无需频繁打开整个门框，仅控制移到门板移动即可实现从晶圆清洗装置拿取晶圆，本申请的晶圆清洗装置开关门机构能够在需要时提供大打开范围，又能够在需要小范围时仅需打开移动门板即可。
Description
技术领域
本申请属于晶圆制备设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆清洗装置开关门机构。
背景技术
生产晶圆的过程中，当生产出了表面平整的晶圆后，晶圆还要进行最终的抛光步骤--化学机械抛光。化学机械抛光是一个化学腐蚀和机械摩擦的结合。晶圆装在旋转的抛光头上，下降到抛光垫的表面以相反的方向旋转。抛光垫材料通常是有填充物的聚亚安酯铸件切片或聚氨酯涂层的无纺布。二氧化硅抛光液在适度含氢氧化钾或氨水的腐蚀液中，滴到抛光垫上。在晶圆腐蚀领域，部分化学品由于其分子结构特殊，具备很高的粘稠性，晶圆从这些粘稠药液中被拿出后需要迅速进行清洗。
晶圆清洗装置需要开设门来对晶圆的上下料进行操作。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够在需要时提供大打开范围的又能够方便进行操作的晶圆清洗装置开关门机构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种晶圆清洗装置开关门机构，包括：
门轴；
门框，设置在门轴上能够沿门轴的轴向移动并能够相对于门轴转动，所述门框的顶部和底部横梁内侧设置有轨道，门框与门轴连接的部分为门框轴套，门框内设置有固定门板，固定门板上具有开口；
移动门板，顶部和底部设置有与轨道相配合的滚轮；
第一驱动件，用于驱动移动门板沿轨道运动，并能够移动到固定门板上的开口处；
顶起驱动件，设置在顶起驱动件驱动轴上的顶起块，所述顶起驱动件能够驱动顶起块作用于门框底部以将门框进行固定。
优选地，本实用新型的晶圆清洗装置开关门机构，还包括，锁止机构和用于驱动锁止机构旋转的锁止驱动件，锁止驱动件旋转后能够抵靠住门框。
优选地，本实用新型的晶圆清洗装置开关门机构，
还包括缓冲件，所述缓冲件设置于固定门板上位于移动门板的一侧。
优选地，本实用新型的晶圆清洗装置开关门机构，
所述移动门板的两侧均设置有传感器，以感应所述移动门板的位置。
优选地，本实用新型的晶圆清洗装置开关门机构，
所述顶起驱动件设置于所述门框下方，所述门框底部设置有固定条，所述顶起驱动件升起时，通过固定块抵靠所述固定条。
优选地，本实用新型的晶圆清洗装置开关门机构，所述移动门板上开设有玻璃窗。
优选地，本实用新型的晶圆清洗装置开关门机构，所述第一驱动件、锁止驱动件、顶起驱动件为气缸、液压缸或者电缸。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型的晶圆清洗装置开关门机构，门框能够绕门轴转动，从而在需要时，整个门框均能够打开，同时门框内又设置开口，由移动门板的移到来控制开口的打开与关闭，实现了在操作过程中无需频繁打开整个门框，仅控制移到门板移动即可实现从晶圆清洗装置拿取晶圆，本申请的晶圆清洗装置开关门机构能够在需要时提供大打开范围，又能够在需要小范围时仅需打开移动门板即可。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例2的晶圆存放盒清洗装置的后方的结构示意图；
图2是本申请实施例2的晶圆存放盒清洗装置的前方的结构示意图；
图3a是本申请实施例1的晶圆存放盒清洗装置开关门机构的结构示意图；
图3b是本申请实施例1的晶圆存放盒清洗装置开关门机构的底部的结构示意图；
图4是本申请实施例2的清洗机构的结构示意图；
图5是本申请实施例2的旋转架的结构示意图；
图6是本申请实施例2的顶端密封结构的结构示意图；
图7是本申请实施例2的底端密封结构的结构示意图；
图8是本申请实施例2的清洗机构的俯视图；
图9是本申请实施例2的喷管的主视图。
图中的附图标记为：
1 外壳
2 热风机构
3 开关门机构
4 清洗室
5 清洗机构
7 观察窗
31 门轴
32 门框
33 移动门板
34 第一驱动件
35 锁止机构
36 缓冲件
37 第二驱动件
51 转轴
52 旋转架
53 清洗架
54 顶端密封结构
54 旋转连接机构
55 底端密封结构
59 电机
61 喷管
611 管体
612 喷嘴
321 轨道
322 门框轴套
323 固定门板
331 滚轮
351 锁止驱动件
371 顶起块
372 顶起驱动件
541 密封片
5411 凸起环
542 密封法兰
543 上密封环
544 下密封环
551 第一密封套
552 第二密封套
553 轴承端盖。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例1
本实施例提供一种晶圆存放盒清洗装置开关门机构，如图1所示，包括：
门轴31，
门框32，设置在门轴31上能够相对于门轴31转动，即门框32通过轴承设置在门轴31上，所述门框32的顶部和底部横梁内侧设置有轨道321，门框32与门轴31连接的部分为门框轴套322，门框32内设置有固定门板323，固定门板323上具有开口；
移动门板33，顶部和底部设置有与轨道321相配合的滚轮331，所述移动门板33上开设有玻璃窗；
第一驱动件34，用于驱动移动门板33沿轨道321运动，并能够移动到固定门板323上的开口处，所述第一驱动件34一端与门框轴套322铰接，所述第一驱动件34另一端与移动门板33铰接；
缓冲件36设置于固定门板323上位于移动门板33的一侧；
还包括，锁止机构35和用于驱动锁止机构35旋转的锁止驱动件351，锁止驱动件351旋转后能够抵靠住门框32，以防止门框32绕门轴31转动；
还包括，顶起驱动件372，设置在顶起驱动件372驱动轴上的顶起块371，所述顶起驱动件372能够驱动顶起块371作用于门框32底部以将门框32进行固定。
所述第二驱动件37设置于所述门框32底部，
所述移动门板33的两侧均设置有传感器，以感应所述移动门板33是否处于打开位置或者关闭。
所述第一驱动件34、锁止驱动件351、顶起驱动件372为气缸、液压缸或者电缸。
实施例2
本实施例提供一种晶圆存放盒清洗装置，包括：
外壳1；
清洗室4，设置在外壳1内；
开关门机构3，设置在清洗室4一侧的开口处，为实施例1的晶圆存放盒清洗装置开关门机构；
热风机构2，设置在外壳1顶部，用于为所述清洗室4内供给热风；
清洗机构5，设置于清洗室4内；
储液槽，设置于清洗室底部4，一般分为两个槽，一个用于供水，一个用于收集清洗废水，用于供水的槽内还可设置加热装置，以加热储液槽内的清洗液。
所述清洗机构5包括转轴51，设置在所述转轴51上的能够跟随转轴51转动的旋转架52，设置在旋转架52上的若干垂直布置的清洗架53(如图所示有8个)以及竖直方向设置的喷管61，转轴51由轴承来固定；
所述清洗架53用于放置安放晶圆片的容器，所述清洗架53的两端通过旋转连接机构54(旋转轴)与所述旋转架52连接，以使所述清洗架53能够旋转；
所述转轴51的顶端与电机59连接，转轴51的顶端和底端均设置有轴承以固定转轴51使转轴51能够自由转动，转轴51的顶端具有顶端密封结构54，底端具有底端密封结构55，电机59位于顶端可以避免清洗液流到电机59上；
所述喷管61设置在旋转架52的内部和外部，以使清洗液或者水能够从两侧向清洗架53喷洒。所述喷管61共8对，每对2根，其中4对位于旋转架52的内部，4对位于旋转架52的外部，在横截面上，位于旋转架52内部的每对喷管61位于旋转架52外部的两对喷管61之间。
所述旋转架52上设置定位结构从而使所述清洗架53面向内侧或者面向外侧，图5即为面向内侧的情况，所述清洗架53面向外侧时，即可以方便人员向位于门框32处的所述清洗架53上装载或者卸载晶圆(晶圆由一固定容器进行固定)。
顶端密封结构54，从上到下包括，密封片541，密封法兰542，上密封环543和下密封环544，密封片541封堵住密封法兰542与转轴51之间的间隙，密封法兰542与转轴51之间设置有轴承，也即密封片541、密封法兰542与转轴51之间设置形成容纳轴承的空间；上密封环543套设在密封法兰542底端外部，所述上密封环543和下密封环544通过螺钉固定在一起，且上密封环543与下密封环544形成密闭腔，所述上密封环543的下表面和下密封环544的上表面均设置有位于密闭腔内的环形翅片，从而形成迷宫结构，以防止清洗液进入顶端密封结构54与转轴51之间的间隙内，所述上密封环543的上表面还设置有凸起环5411，下密封环544与转轴51之间设置有密封圈；
底端密封结构55，从上到下包括，第一密封套551、第二密封套552和轴承端盖553，轴承端盖553与转轴51之间具有轴承，第二密封套552与转轴51之间设置有密封圈，第二密封套552包裹着轴承端盖553，第一密封套551密封住第二密封套552的顶部。
每根喷管61均包括管体611和均匀排布在管体611上的喷嘴612。
喷管61两两为一组，其中一根喷吹纯水，另一根喷吹氮气。图9中位于旋转架52内部和外部各有4根喷吹纯水和4跟喷吹氮气的喷管61。
外壳1上与开关门机构3相对的一侧设置有观察窗7。
实施例3
本实施例提供一种晶圆清洗方法，可使用实施例2的晶圆存放盒清洗装置，包括以下步骤：
S1：将晶圆设置于固定容器中，并将固定容器固定到清洗架53上；
S2：位于旋转架52内部的喷管61中的4根喷吹纯水，同时驱动清洗架53旋转，旋转速度为2-5转每分钟；
S3：而后将清洗架53转向，位于旋转架52外部的喷管61中的4根喷吹纯水，同时驱动清洗架53旋转，旋转速度为6-8转每分钟；
S4：而后再控制旋转架52外部的喷管61中的4根喷吹氮气，清洗架53旋转速度降低为2-3转每分钟；
S5：将清洗架53转向，控制旋转架52内部的喷管61中的4根喷吹氮气，同时驱动清洗架53旋转，清洗架53旋转速度设置为1-2转每分钟。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (7)
1.一种晶圆清洗装置开关门机构，其特征在于，包括：
门轴(31)；
门框(32)，设置在门轴(31)上能够相对于门轴(31)转动，所述门框(32)的顶部和底部横梁内侧设置有轨道(321)，门框(32)与门轴(31)连接的部分为门框轴套(322)，门框(32)内设置有固定门板(323)，固定门板(323)上具有开口；
移动门板(33)，顶部和底部设置有与轨道(321)相配合的滚轮(331)；
第一驱动件(34)，用于驱动移动门板(33)沿轨道(321)运动，并能够移动到固定门板(323)上的开口处；
顶起驱动件(372)，设置在顶起驱动件(372)驱动轴上的顶起块(371)，所述顶起驱动件(372)能够驱动顶起块(371)作用于门框(32)底部以将门框(32)进行固定。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置开关门机构，其特征在于，还包括，锁止机构(35)和用于驱动锁止机构(35)旋转的锁止驱动件(351)，锁止驱动件(351)旋转后能够抵靠住门框(32)。
3.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置开关门机构，其特征在于，
还包括缓冲件(36)，所述缓冲件(36)设置于固定门板(323)上位于移动门板(33)的一侧。
4.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置开关门机构，其特征在于，
所述移动门板(33)的两侧均设置有传感器，以感应所述移动门板(33)的位置。
5.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置开关门机构，其特征在于，
所述顶起驱动件(372)设置于所述门框(32)下方，所述门框(32)底部设置有固定条(373)，所述顶起驱动件(372)升起时，通过顶起块(371)抵靠所述固定条(373)。
6.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置开关门机构，其特征在于，所述移动门板(33)上开设有玻璃窗。
7.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置开关门机构，其特征在于，所述第一驱动件(34)、锁止驱动件(351)、顶起驱动件(372)为气缸、液压缸或者电缸。
Priority Applications (1)
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| CN201921871584.4U CN210977160U (zh) | 2019-11-01 | 2019-11-01 | 一种晶圆清洗装置开关门机构 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117894721A (zh) * | 2024-01-24 | 2024-04-16 | 上海普达特半导体设备有限公司 | 半导体设备 |
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2019
- 2019-11-01 CN CN201921871584.4U patent/CN210977160U/zh active Active
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