CN214203627U - 一种晶圆去胶机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆去胶机，包括底部移动装置、主体和工作机构，所述底部移动装置上方与主体连接，所述主体上方连接有工作机构，所述工作机构包括工作台、U型放置件和第一支撑框，其中：所述工作台上方连接有第一支撑框，所述第一支撑框内部位于工作台上方连接有U型放置件，所述U型放置件的底部设有加热件，所述U型放置件的U型槽底部两边连接有支撑杆，所述支撑杆上方连接有导热块，所述U型放置件的U型槽底部设有第一通孔，所述第一通孔上连接有软垫。本实用新型结构简单、操作方便、降低劳动强度、提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型属于情节设备技术领域，具体涉及一种晶圆去胶机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；
在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC 产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。
现有技术存在的问题是：现有的双晶圆反应腔去胶机在使用时去胶效率比较低，大大影响了对双晶圆的去胶效率；现有的双晶圆反应腔去胶机在使用过程中，除胶剂喷涂量过多，将会对双晶圆表面造成伤害。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种晶圆去胶机，结构简单，操作方便。
本实用新型提供了如下的技术方案：一种晶圆去胶机，包括底部移动装置、主体和工作机构，所述底部移动装置上方与主体连接，所述主体上方连接有工作机构，所述工作机构包括工作台、U型放置件和第一支撑框，其中：所述工作台上方连接有第一支撑框，所述第一支撑框内部位于工作台上方连接有U型放置件，所述U型放置件的底部设有加热件，所述U型放置件的U型槽底部两边连接有支撑杆，所述支撑杆上方连接有导热块，所述U型放置件的U型槽底部设有第一通孔，所述第一通孔上连接有软垫，所述第一支撑框内顶壁连接有第一伸缩杆和第二伸缩杆，所述第一伸缩杆下方连接有第二支撑框，所述第二支撑框内顶壁连接有第三气缸和第四气缸，所述第三气缸下方连接有第一电机，所述第一电机下方连接有清洁刷，所述第四气缸下方连接有第二电机，所述第二电机下方连接有棉刷，所述第二伸缩杆下方连接有储存箱，所述储存箱下方连接有第三支撑框，所述第三支撑框的内顶部连接有加热管和蒸汽片，所述主体上端远离储存箱一侧连接有支撑板，所述支撑板上方连接有第二气缸，所述第二气缸端部连接有缓冲件。
所述底部移动装置包括底板、万向轮、弹簧杆和底座，其中：所述底板下方连接有万向轮，所述底板上方连接有弹簧杆，所述弹簧杆上方连接有底座，所述底座的四个侧面均设有第二通孔，所述通孔内固定套接有第一气缸，所述第一气缸的伸出杆指向底座中部，所述第一气缸的伸出杆端部连接有夹板，所述主体由夹板进行夹紧。
优选的，所述第二伸缩杆位于第一伸缩杆远离支撑板一侧。
优选的，所述第四气缸位于第三气缸靠近储存箱一侧。
优选的，所述工作台上设有与第二通孔相配合的第三通孔。
本实用新型的有益效果为：能够提高装置的去胶效率，同时能够防止胶剂喷涂量过多，对双晶圆表面造成伤害。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型结构示意图。
图2是本实用新型装置中第一气缸的安装结构示意图；
图中：1底板、2万向轮、3弹簧杆、4夹板、5底座、6主体、7第一气缸、 8支撑板、9第二气缸、10缓冲件、11工作台、12U型放置件、13导热块、14 软垫、15支撑杆、16加热件、17第一支撑框、18第二支撑框、19第一伸缩杆、 20第二伸缩杆、21储存箱、22第三支撑框、23第三气缸、24第四气缸、25 第一电机、26清洁刷、27第二电机、28棉刷、29加热管、30蒸汽片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有创造性成果的前提下获得的其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图所示，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆去胶机，包括底部移动装置、主体6和工作机构，所述底部移动装置包括底板1、万向轮2、弹簧杆 3和底座5，其中：所述底板1下方连接有万向轮2，所述底板1上方连接有弹簧杆3，所述弹簧杆3上方连接有底座5，所述底座5的四个侧面均设有第二通孔，所述第二通孔内固定套接有第一气缸7，所述第一气缸7的伸出杆指向底座5中部，所述第一气缸7的伸出杆端部连接有夹板4，所述主体6由夹板4 进行夹紧，通过第一气缸7的伸缩能够实现主体6的放松和夹紧，弹簧杆3能够起到缓冲减震的作用。
所述主体6上方连接有工作机构，所述工作机构包括工作台11、U型放置件12和第一支撑框17，其中：所述工作台11上方连接有第一支撑框17，所述第一支撑框17内部位于工作台11上方连接有U型放置件12，所述U型放置件12的底部设有加热件16，所述U型放置件12的U型槽底部两边连接有支撑杆15，所述支撑杆15上方连接有导热块13，所述U型放置件12的U型槽底部设有第一通孔，所述第一通孔上连接有软垫14，所述第一支撑框17内顶壁连接有第一伸缩杆19和第二伸缩杆20，所述第二伸缩杆20位于第一伸缩杆 19远离支撑板8一侧，所述第一伸缩杆19下方连接有第二支撑框18，所述第二支撑框18内顶壁连接有第三气缸23和第四气缸24，所述第四气缸24位于第三气缸23靠近储存箱21一侧，所述第三气缸23下方连接有第一电机25，所述第一电机25下方连接有清洁刷26，所述第四气缸24下方连接有第二电机 27，所述第二电机27下方连接有棉刷28，所述第二伸缩杆20下方连接有储存箱21，所述储存箱21下方连接有第三支撑框22，所述第三支撑框22的内顶部连接有加热管29和蒸汽片30，所述主体6上端远离储存箱21一侧连接有支撑板8，所述支撑板8上方连接有第二气缸9，所述第二气缸9端部连接有缓冲件 10，所述工作台11上设有与第二通孔相配合的第三通孔，通过第二气缸9的伸长能够带动缓冲件10从而带动软垫14，将去胶完成后的晶圆从U型放置件12 内顶出，方便取出。
本实用新型工作时：将晶圆放置在U型放置件12上，第二伸缩杆20带动储存箱21和第三支撑框22向下移动，打开加热管29和蒸汽片30，同时打开加热块16，同时进行加热使得受热均匀，然后移动U型放置件12，同时第一伸缩杆19带动第二支撑框18向下移动，同时第四气缸24伸出，同时第二电机 27驱动刷28转动，使得胶体能给均匀，再次移动U型放置件12，第三气缸23 伸出带动并打开第一电机25驱动清洁刷26转动，对晶圆进行清洁。最终，通过第二气缸9的伸长能够带动缓冲件10从而带动软垫14，将去胶完成后的晶圆从U型放置件12内顶出，方便取出。
虽然本实用新型已按照上述具体实施方式做了描述，但是本实用新型的发明思想并不限于此实用新型，任何运用本实用新型思想的改进，都将纳入本专利专利权利的保护范围内。
Claims (5)
1.一种晶圆去胶机，包括底部移动装置、主体(6)和工作机构，其特征在于：所述底部移动装置上方与主体(6)连接，所述主体(6)上方连接有工作机构，所述工作机构包括工作台(11)、U型放置件(12)和第一支撑框(17)，其中：所述工作台(11)上方连接有第一支撑框(17)，所述第一支撑框(17)内部位于工作台(11)上方连接有U型放置件(12)，所述U型放置件(12)的底部设有加热件(16)，所述U型放置件(12)的U型槽底部两边连接有支撑杆(15)，所述支撑杆(15)上方连接有导热块(13)，所述U型放置件(12)的U型槽底部设有第一通孔，所述第一通孔上连接有软垫(14)，所述第一支撑框(17)内顶壁连接有第一伸缩杆(19)和第二伸缩杆(20)，所述第一伸缩杆(19)下方连接有第二支撑框(18)，所述第二支撑框(18)内顶壁连接有第三气缸(23)和第四气缸(24)，所述第三气缸(23)下方连接有第一电机(25)，所述第一电机(25)下方连接有清洁刷(26)，所述第四气缸(24)下方连接有第二电机(27)，所述第二电机(27)下方连接有棉刷(28)，所述第二伸缩杆(20)下方连接有储存箱(21)，所述储存箱(21)下方连接有第三支撑框(22)，所述第三支撑框(22)的内顶部连接有加热管(29)和蒸汽片(30)，所述主体(6)上端远离储存箱(21)一侧连接有支撑板(8)，所述支撑板(8)上方连接有第二气缸(9)，所述第二气缸(9)端部连接有缓冲件(10)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述底部移动装置包括底板(1)、万向轮(2)、弹簧杆(3)和底座(5)，其中：所述底板(1)下方连接有万向轮(2)，所述底板(1)上方连接有弹簧杆(3)，所述弹簧杆(3)上方连接有底座(5)，所述底座(5)的四个侧面均设有第二通孔，所述第二通孔内固定套接有第一气缸(7)，所述第一气缸(7)的伸出杆指向底座(5)中部，所述第一气缸(7)的伸出杆端部连接有夹板(4)，所述主体(6)由夹板(4)进行夹紧。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述第二伸缩杆(20)位于第一伸缩杆(19)远离支撑板(8)一侧。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述第四气缸(24)位于第三气缸(23)靠近储存箱(21)一侧。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述工作台(11)上设有与第二通孔相配合的第三通孔。
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| CN202120167822.4U CN214203627U (zh) | 2021-01-21 | 2021-01-21 | 一种晶圆去胶机 |
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Family Applications (1)
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2021
- 2021-01-21 CN CN202120167822.4U patent/CN214203627U/zh active Active
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