CN214152846U - 卧式抽真空装置 - Google Patents

Abstract

卧式抽真空装置，包括真空泵、底座、水泵、抽风机、光学镀膜台、抽真空管道、安装套筒、液体回流筒、镀膜操作台、蒸气箱、进液管道、支撑块、蒸气管道和光学镀膜箱；真空泵与光学镀膜箱均安装在底座上，真空泵的进气端口与抽真空管道的一端管口连接；抽真空管道的另一端与光学镀膜箱的一侧端口连接；安装套筒的一端与真空泵靠近光学镀膜箱的一侧端面连接，安装套筒的另一端与光学镀膜箱朝向真空泵的一侧端面连接；液体回流筒的上端开口与集液口连接；水泵的进液端与液体回流筒的内部连通，水泵的出液端口与进液管道的一端管口连接。本实用新型水可以充分利用加热工序产生的热能，将抽真空管道内部的结冰融化。

Description

卧式抽真空装置

技术领域

本实用新型涉及抽真空装置技术领域，尤其涉及卧式抽真空装置。

背景技术

光学真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到光学材料表面，形成导电膜，在光学真空镀膜过程中，进管与出管由于经常与大气接触，在反复抽真空放大气的过程中，在抽气管道端部容易出现结冰的现象，甚至堵塞抽气管道影响到抽真空的效率，通常对应措施是在真空镀膜的进管与出管布满电加热丝，在真空镀膜过程中，用电加热丝产生热量传递给与加热丝接触的进管与出管，使进管与出管的温度升高，如此在抽真空放大气过程所排出的气体不会使进管与出管因温度低而结冰，提高了抽真空的效率，但是电加热丝在使用中会造成电能浪费，而真空镀膜会依次经历抽真空、加热及镀膜工序，如果能充分利用加热工序产生的热能作用于提高进管或出管的温度，则既解决了问题又节省了能源。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出卧式抽真空装置，通过水在光学镀膜箱内部汽化，汽化之后的水遇到抽真空管道受冷液化并放出热量将抽真空管道内部的结冰融化，可以充分利用加热工序产生的热能。

(二)技术方案

本实用新型提供了卧式抽真空装置，包括真空泵、底座、水泵、抽风机、光学镀膜台、抽真空管道、安装套筒、液体回流筒、镀膜操作台、蒸气箱、进液管道、支撑块、蒸气管道和光学镀膜箱；

真空泵与光学镀膜箱均安装在底座上，真空泵的进气端口与抽真空管道的一端管口连接；抽真空管道的另一端与光学镀膜箱的一侧端口连接；安装套筒套在抽真空管道的外侧，安装套筒的一端与真空泵靠近光学镀膜箱的一侧端面连接，安装套筒的另一端与光学镀膜箱朝向真空泵的一侧端面连接，安装套筒的外周面上端设有进气开口，安装套筒的下端设有集液口；液体回流筒安装在底座上，液体回流筒位于集液口的正下方，液体回流筒的上端开口与集液口连接；水泵的进液端与液体回流筒的内部连通，水泵的出液端口与进液管道的一端管口连接；进液管道的另一端伸入到光学镀膜箱内部；

光学镀膜台安装在光学镀膜箱的内部，光学镀膜台的上端面与多组支撑块的下端连接；多组支撑块的另一端均与镀膜操作台的下端面连接；镀膜操作台下端面设有多组加热片；蒸气箱安装在光学镀膜台上，蒸气箱位于光学镀膜台与镀膜操作台之间，蒸气箱相互远离的侧端面上端设有两组气体开口，蒸气箱侧端面下端设有进液开口；蒸气管道的一端管口与蒸气箱上一组气体开口连接，蒸气管道的另一端伸出光学镀膜箱，蒸气管道的另一端管口与安装套筒上端的进气开口连接；进液管道的另一端管口与蒸气箱侧端面下端的进液端口连接；抽风机安装在光学镀膜箱的内部，抽风机的进风端与光学镀膜箱外界连通，抽风机的出风口与通风管道的一端管口连接；通风管道的另一端与蒸气箱的另一组气体开口连接。

优选的，抽真空管道与光学镀膜箱连接的管口内部设有防尘网。

优选的，真空泵的外周面下端设有安装块，安装块的下端面与底座的上端面连接。

优选的，蒸气箱内部设有隔板，隔板将蒸气箱分为水层和蒸气层。

优选的，各个管道与光学镀膜箱的连接处均设有密封垫圈。

优选的，光学镀膜台的外侧设有用于固定各个管道的限位卡扣。

与现有技术相比，本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

本实用新型中，在抽真空管道由于反复抽真空与大气进行接触在管道内发生发生结冰时，打开抽风机将蒸气箱内部的水蒸气沿蒸气管道向安装套筒内部运动，当水蒸气在安装套筒内部遇到抽真空管道表面时遇冷液化并放出热量，将抽真空管道内部的结冰融化，可以避免抽真空管道内部结冰堵塞管道，影响抽真空的效率；

本实用新型中，在水蒸气液化之后，流入到液体回流筒内部再由水泵由液体回流筒抽取到蒸气箱内部，蒸气箱内部的水在加热片加热镀膜操作台的同时受到加热汽化；

本实用新型中，抽真空管道与光学镀膜箱连接的管口内部设有防尘网可以在真空泵对光学镀膜箱内部抽真空的过程中对光学镀膜箱内部的灰尘进行过滤，可以避免灰尘进入到真空泵内部；

本实用新型中，各个管道与光学镀膜箱的连接处均设有密封垫圈可以保证光学镀膜箱的气密性，避免漏气影响镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的卧式抽真空装置的结构示意图。

图2为本实用新型提出的卧式抽真空装置中A处局部放大的结构示意图。

附图标记：1、真空泵；2、底座；3、水泵；4、抽风机；5、光学镀膜台；6、抽真空管道；7、安装套筒；8、液体回流筒；9、镀膜操作台；10、加热片；11、蒸气箱；12、进液管道；13、支撑块；14、蒸气管道；16、光学镀膜箱；17、安装块；18、防尘网；19、通风管道。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-2所示，本实用新型提出的卧式抽真空装置，包括真空泵1、底座2、水泵3、抽风机4、光学镀膜台5、抽真空管道6、安装套筒7、液体回流筒8、镀膜操作台9、蒸气箱11、进液管道12、支撑块13、蒸气管道14和光学镀膜箱16；

真空泵1与光学镀膜箱16均安装在底座2上，真空泵1的进气端口与抽真空管道6的一端管口连接；抽真空管道6的另一端与光学镀膜箱16的一侧端口连接；安装套筒7套在抽真空管道6的外侧，安装套筒7的一端与真空泵1靠近光学镀膜箱16的一侧端面连接，安装套筒7的另一端与光学镀膜箱16朝向真空泵1的一侧端面连接，安装套筒7的外周面上端设有进气开口，安装套筒7的下端设有集液口；液体回流筒8安装在底座2上，液体回流筒8位于集液口的正下方，液体回流筒8的上端开口与集液口连接；水泵3的进液端与液体回流筒8的内部连通，水泵3的出液端口与进液管道12的一端管口连接；进液管道12的另一端伸入到光学镀膜箱16内部；

光学镀膜台5安装在光学镀膜箱16的内部，光学镀膜台5的上端面与多组支撑块13的下端连接；多组支撑块13的另一端均与镀膜操作台9的下端面连接；镀膜操作台9下端面设有多组加热片10；蒸气箱11安装在光学镀膜台5上，蒸气箱11位于光学镀膜台5与镀膜操作台9之间，蒸气箱11相互远离的侧端面上端设有两组气体开口，蒸气箱11侧端面下端设有进液开口；蒸气管道14的一端管口与蒸气箱11上一组气体开口连接，蒸气管道14的另一端伸出光学镀膜箱16，蒸气管道14的另一端管口与安装套筒7上端的进气开口连接；进液管道12的另一端管口与蒸气箱11侧端面下端的进液端口连接；抽风机4安装在光学镀膜箱16的内部，抽风机4的进风端与光学镀膜箱16外界连通，抽风机4的出风口与通风管道19的一端管口连接；通风管道19的另一端与蒸气箱11的另一组气体开口连接。

本实用新型中，在抽真空管道6由于反复抽真空与大气进行接触在管道内发生发生结冰时，打开抽风机4将蒸气箱11内部的水蒸气沿蒸气管道14向安装套筒7内部运动，当水蒸气在安装套筒7内部遇到抽真空管道表面时遇冷液化并放出热量，将抽真空管道6内部的结冰融化，可以避免抽真空管道6内部结冰堵塞管道，影响抽真空的效率；

需要说明的是，在水蒸气液化之后，流入到液体回流筒8内部再由水泵3由液体回流筒8抽取到蒸气箱11内部，蒸气箱11内部的水在加热片10加热镀膜操作台9的同时受到加热汽化；

在一个可选的实施例中，抽真空管道6与光学镀膜箱16连接的管口内部设有防尘网18。

需要说明的是，抽真空管道6与光学镀膜箱16连接的管口内部设有防尘网18可以在真空泵1对光学镀膜箱16内部抽真空的过程中对光学镀膜箱16内部的灰尘进行过滤，可以避免灰尘进入到真空泵1内部；

在一个可选的实施例中，真空泵1的外周面下端设有安装块17，安装块17的下端面与底座2的上端面连接。

在一个可选的实施例中，蒸气箱11内部设有隔板，隔板将蒸气箱11分为水层和蒸气层。

在一个可选的实施例中，各个管道与光学镀膜箱16的连接处均设有密封垫圈。

需要说明的是，各个管道与光学镀膜箱16的连接处均设有密封垫圈可以保证光学镀膜箱16的气密性，避免漏气影响镀膜质量；

在一个可选的实施例中，光学镀膜台5的外侧设有用于固定各个管道的限位卡扣。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (6)

1.卧式抽真空装置，其特征在于，包括真空泵(1)、底座(2)、水泵(3)、抽风机(4)、光学镀膜台(5)、抽真空管道(6)、安装套筒(7)、液体回流筒(8)、镀膜操作台(9)、蒸气箱(11)、进液管道(12)、支撑块(13)、蒸气管道(14)和光学镀膜箱(16)；

真空泵(1)与光学镀膜箱(16)均安装在底座(2)上，真空泵(1)的进气端口与抽真空管道(6)的一端管口连接；抽真空管道(6)的另一端与光学镀膜箱(16)的一侧端口连接；安装套筒(7)套在抽真空管道(6)的外侧，安装套筒(7)的一端与真空泵(1)靠近光学镀膜箱(16)的一侧端面连接，安装套筒(7)的另一端与光学镀膜箱(16)朝向真空泵(1)的一侧端面连接，安装套筒(7)的外周面上端设有进气开口，安装套筒(7)的下端设有集液口；液体回流筒(8)安装在底座(2)上，液体回流筒(8)位于集液口的正下方，液体回流筒(8)的上端开口与集液口连接；水泵(3)的进液端与液体回流筒(8)的内部连通，水泵(3)的出液端口与进液管道(12)的一端管口连接；进液管道(12)的另一端伸入到光学镀膜箱(16)内部；

光学镀膜台(5)安装在光学镀膜箱(16)的内部，光学镀膜台(5)的上端面与多组支撑块(13)的下端连接；多组支撑块(13)的另一端均与镀膜操作台(9)的下端面连接；镀膜操作台(9)下端面设有多组加热片(10)；蒸气箱(11)安装在光学镀膜台(5)上，蒸气箱(11)位于光学镀膜台(5)与镀膜操作台(9)之间，蒸气箱(11)相互远离的侧端面上端设有两组气体开口，蒸气箱(11)侧端面下端设有进液开口；蒸气管道(14)的一端管口与蒸气箱(11)上一组气体开口连接，蒸气管道(14)的另一端伸出光学镀膜箱(16)，蒸气管道(14)的另一端管口与安装套筒(7)上端的进气开口连接；进液管道(12)的另一端管口与蒸气箱(11)侧端面下端的进液端口连接；抽风机(4)安装在光学镀膜箱(16)的内部，抽风机(4)的进风端与光学镀膜箱(16)外界连通，抽风机(4)的出风口与通风管道(19)的一端管口连接；通风管道(19)的另一端与蒸气箱(11)的另一组气体开口连接。

2.根据权利要求1所述的卧式抽真空装置，其特征在于，抽真空管道(6)与光学镀膜箱(16)连接的管口内部设有防尘网(18)。

3.根据权利要求1所述的卧式抽真空装置，其特征在于，真空泵(1)的外周面下端设有安装块(17)，安装块(17)的下端面与底座(2)的上端面连接。

4.根据权利要求1所述的卧式抽真空装置，其特征在于，蒸气箱(11)内部设有隔板，隔板将蒸气箱(11)分为水层和蒸气层。

5.根据权利要求1所述的卧式抽真空装置，其特征在于，各个管道与光学镀膜箱(16)的连接处均设有密封垫圈。

6.根据权利要求1所述的卧式抽真空装置，其特征在于，光学镀膜台(5)的外侧设有用于固定各个管道的限位卡扣。

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