CN214135515U - 一种双端面研磨机的晶片夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双端面研磨机的晶片夹持装置，包括底箱，底箱顶部外壁上通过螺栓安装有工作台，且工作台顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱，支撑柱顶部外壁上通过螺栓安装有顶板，工作台顶部外壁上转动连接有底部研磨盘，且底部研磨盘靠近中心处开有凹槽，凹槽贯穿至工作台底部内壁，底箱内部焊接有安装板，且安装板顶部外壁上通过螺栓安装有第二伸缩汽缸，第二伸缩汽缸顶部外壁上通过螺栓安装有固定座，且固定座顶部外壁上粘接有软性密封垫。本实用新型通过设置的固定座和吸气孔，通过吸气孔产生吸力从而将晶片吸附在固定座的顶部外壁上，从而能够在使用时对晶片起到固定的作用，能够方便工作人员对晶片的固定和安装。

Description

一种双端面研磨机的晶片夹持装置

技术领域

本实用新型涉及双面研磨机技术领域，尤其涉及一种双端面研磨机的晶片夹持装置。

背景技术

半导体晶片常用于生产集成电路芯片，在这些集成电路芯片上印刷有电路，电路首先以微缩形式印刷在晶片表面上，然后将晶片切割成电路芯片，但是这微型电路要求晶片表面极端平整且平行以确保将电路恰当地印刷在晶片的整个表面上；为此，通常在晶片从晶锭上切割下来以后使用研磨工艺来提高它们的某些特征。

但是现有的晶片在加工的过程中所用到的夹持装置，在使用的过程中不方便工作人员对晶片的固定，这就导致了工作人员在对晶片固定的过程中需要消耗大量的时间，这就导致了工作效率的降低。因此，亟需设计一种双端面研磨机的晶片夹持装置来解决上述问题。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不方便工作人员对晶片的固定，在固定时需要较多的步骤，导致工作效率降低的缺点，而提出的一种双端面研磨机的晶片夹持装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种双端面研磨机的晶片夹持装置，包括底箱，所述底箱顶部外壁上通过螺栓安装有工作台，且工作台顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱，所述支撑柱顶部外壁上通过螺栓安装有顶板，所述工作台顶部外壁上转动连接有底部研磨盘，且底部研磨盘靠近中心处开有凹槽，所述凹槽贯穿至工作台底部内壁，所述底箱内部焊接有安装板，且安装板顶部外壁上通过螺栓安装有第二伸缩汽缸，所述第二伸缩汽缸顶部外壁上通过螺栓安装有固定座，且固定座顶部外壁上粘接有软性密封垫，所述固定座顶部外壁靠近中心处焊接有密封头，且密封头一侧外壁上和固定座底部内壁上均开有吸气孔。

上述技术方案的关键构思在于：通过设置的固定座和吸气孔，通过吸气孔产生吸力从而将晶片吸附在固定座的顶部外壁上，从而能够在使用时对晶片起到固定的作用，能够方便工作人员对晶片的固定和安装。

进一步的，所述顶板顶部外壁靠近中心处通过螺栓安装有第一伸缩汽缸，且第一伸缩汽缸输出端贯穿至顶板底部外壁，所述第一伸缩汽缸输出端通过螺栓安装有连接板，且连接板底部外壁上通过螺栓安装有驱动电机，所述驱动电机输出端通过螺栓安装有顶部研磨头，且顶部研磨头位于底部研磨盘正上方。

进一步的，所述安装板顶部外壁上通过螺栓安装有吸气泵，且吸气泵输出端螺纹连接有弹性软管，所述弹性软管远离吸气泵的一端螺纹连接在固定座内部，且弹性软管与吸气孔相贯通。

进一步的，所述固定座一侧外壁上焊接有限位环,且限位环底部外壁上焊接有两个固定杆，所述固定杆贯穿安装板。

进一步的，所述连接板顶部外壁上焊接有限位杆，且限位杆贯穿顶板。

进一步的，所述顶板底部外壁上焊接有安装杆，且安装杆底端焊接有照明灯。

进一步的，所述底箱底部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑腿，且支撑腿底部外壁上通过螺钉安装有防滑垫。

本实用新型的有益效果为：

1.通过设置的固定座和吸气孔，通过吸气孔产生吸力从而将晶片吸附在固定座的顶部外壁上，从而能够在使用时对晶片起到固定的作用，能够方便工作人员对晶片的固定和安装。

2.通过设置的第二伸缩汽缸，通过第二伸缩汽缸能够在使用时将固定座抬出，进而能够在使用时抬高晶片的高度，一方面能够方便工作人员对晶片的安装另一方面能够在需要的时候对晶片进行单面的研磨。

3.通过设置的照明灯，照明灯能够在使用时对晶片的表面起到照明的效果，进而能够在工作人员对晶片进行检查时，使工作人员能够更加准确的观察晶片表面。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种双端面研磨机的晶片夹持装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种双端面研磨机的晶片夹持装置的工作台的结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种双端面研磨机的晶片夹持装置的顶板的结构剖视图；

图4为本实用新型提出的一种双端面研磨机的晶片夹持装置的底箱的结构剖视图。

图中：1底箱、2工作台、3支撑柱、4顶板、5第一伸缩汽缸、6连接板、7驱动电机、8顶部研磨头、9限位杆、10底部研磨盘、11凹槽、12固定座、13软性密封垫、14密封头、15吸气孔、16安装板、17吸气泵、18弹性软管、19限位环、20第二伸缩汽缸、21固定杆、22安装杆、23照明灯、24支撑腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请同时参见图1至图4，一种双端面研磨机的晶片夹持装置，包括底箱1，底箱1顶部外壁上通过螺栓安装有工作台2，工作台2用于安装所需部件，且工作台2顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱3，支撑柱3顶部外壁上通过螺栓安装有顶板4，工作台2顶部外壁上转动连接有底部研磨盘10，底部研磨盘10用于对晶片的底部外壁进行打磨，底部研磨盘10通过电机带动而转动，且底部研磨盘10靠近中心处开有凹槽11，凹槽11贯穿至工作台2底部内壁，底箱1内部焊接有安装板16，且安装板16顶部外壁上通过螺栓安装有第二伸缩汽缸20，第二伸缩汽缸20顶部外壁上通过螺栓安装有固定座12，且固定座12顶部外壁上粘接有软性密封垫13，软性密封袋13用于使固定座12和晶片之间的连接更加的紧密，固定座12顶部外壁靠近中心处焊接有密封头14，且密封头14一侧外壁上和固定座12底部内壁上均开有吸气孔15。

从上述描述可知，本实用新型具有以下有益效果：通过设置的固定座12和吸气孔15，通过吸气孔15产生吸力从而将晶片吸附在固定座12的顶部外壁上，从而能够在使用时对晶片起到固定的作用，能够方便工作人员对晶片的固定和安装。

进一步的，顶板4顶部外壁靠近中心处通过螺栓安装有第一伸缩汽缸5，且第一伸缩汽缸5输出端贯穿至顶板4底部外壁，第一伸缩汽缸5输出端通过螺栓安装有连接板6，连接板6用于安装驱动电机7，且连接板6底部外壁上通过螺栓安装有驱动电机7，驱动电机7输出端通过螺栓安装有顶部研磨头8，且顶部研磨头8位于底部研磨盘10正上方。

进一步的，安装板16顶部外壁上通过螺栓安装有吸气泵17，吸气泵17用于产生吸力从而对晶片进行固定，且吸气泵17输出端螺纹连接有弹性软管18，弹性软管18远离吸气泵17的一端螺纹连接在固定座12内部，且弹性软管18与吸气孔15相贯通。

进一步的，固定座12一侧外壁上焊接有限位环19,限位环19用于安装固定杆21，且限位环19底部外壁上焊接有两个固定杆21，固定杆21贯穿安装板16，固定杆21用于在固定座12上下移动时防止固定座12发生倾斜。

进一步的，连接板6顶部外壁上焊接有限位杆9，且限位杆9贯穿顶板4，限位杆9用于防止顶板4在上下移动的过程中发生倾斜。

进一步的，顶板4底部外壁上焊接有安装杆22，且安装杆22底端焊接有照明灯23，照明灯23用于在使用时方便工作人员观察晶片的打磨情况。

进一步的，底箱1底部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑腿24，且支撑腿24底部外壁上通过螺钉安装有防滑垫。

采用上述通过设置的第二伸缩汽缸20，通过第二伸缩汽缸20能够在使用时将固定座12抬出，进而能够在使用时抬高晶片的高度，一方面能够方便工作人员对晶片的安装另一方面能够在需要的时候对晶片进行单面的研磨；设置的照明灯23，照明灯23能够在使用时对晶片的表面起到照明的效果，进而能够在工作人员对晶片进行检查时，使工作人员能够更加准确的观察晶片表面。

以下再列举出几个优选实施例或应用实施例，以帮助本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术内容以及本实用新型相对于现有技术所做出的技术贡献：

实施例1

一种双端面研磨机的晶片夹持装置，包括底箱1，底箱1顶部外壁上通过螺栓安装有工作台2，工作台2用于安装所需部件，且工作台2顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱3，支撑柱3顶部外壁上通过螺栓安装有顶板4，工作台2顶部外壁上转动连接有底部研磨盘10，底部研磨盘10用于对晶片的底部外壁进行打磨，底部研磨盘10通过电机带动而转动，且底部研磨盘10靠近中心处开有凹槽11，凹槽11贯穿至工作台2底部内壁，底箱1内部焊接有安装板16，且安装板16顶部外壁上通过螺栓安装有第二伸缩汽缸20，第二伸缩汽缸20顶部外壁上通过螺栓安装有固定座12，且固定座12顶部外壁上粘接有软性密封垫13，软性密封袋13用于使固定座12和晶片之间的连接更加的紧密，固定座12顶部外壁靠近中心处焊接有密封头14，且密封头14一侧外壁上和固定座12底部内壁上均开有吸气孔15。

其中，顶板4顶部外壁靠近中心处通过螺栓安装有第一伸缩汽缸5，且第一伸缩汽缸5输出端贯穿至顶板4底部外壁，第一伸缩汽缸5输出端通过螺栓安装有连接板6，连接板6用于安装驱动电机7，且连接板6底部外壁上通过螺栓安装有驱动电机7，驱动电机7输出端通过螺栓安装有顶部研磨头8，且顶部研磨头8位于底部研磨盘10正上方；安装板16顶部外壁上通过螺栓安装有吸气泵17，吸气泵17用于产生吸力从而对晶片进行固定，且吸气泵17输出端螺纹连接有弹性软管18，弹性软管18远离吸气泵17的一端螺纹连接在固定座12内部，且弹性软管18与吸气孔15相贯通；固定座12一侧外壁上焊接有限位环19,限位环19用于安装固定杆21，且限位环19底部外壁上焊接有两个固定杆21，固定杆21贯穿安装板16，固定杆21用于在固定座12上下移动时防止固定座12发生倾斜；连接板6顶部外壁上焊接有限位杆9，且限位杆9贯穿顶板4，限位杆9用于防止顶板4在上下移动的过程中发生倾斜；顶板4底部外壁上焊接有安装杆22，且安装杆22底端焊接有照明灯23，照明灯23用于在使用时方便工作人员观察晶片的打磨情况；底箱1底部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑腿24，且支撑腿24底部外壁上通过螺钉安装有防滑垫。

工作原理：使用时，工作人员先将晶片放置到固定座12的顶部外壁上，然后通过吸气泵17产生吸力，吸力通过弹性软管18传递至固定座12的内部，由于固定座12上的吸气孔15与弹性软管18相贯通，从而能够对位于固定座12上的晶片起到吸附的效果，而固定座12顶部外壁上的软性密封垫13能够在使用时对固定座12和晶片的连接部位起到密封的效果，从而能够使晶片固定在固定座12的顶部外壁上，在使用时通过第一伸缩汽缸5输出端伸出，第一伸缩汽缸5输出端伸出从而带动连接板6向下移动，连接板6向下移动从而带动驱动电机7向下移动，当驱动电机7向下移动时从而使晶片的顶部进行打磨，在连接板6向下移动时，通过连接板6顶部外壁上的限位杆9能够防止连接板6在移动的过程中发生倾斜。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种双端面研磨机的晶片夹持装置，包括底箱（1），其特征在于，所述底箱（1）顶部外壁上通过螺栓安装有工作台（2），且工作台（2）顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱（3），所述支撑柱（3）顶部外壁上通过螺栓安装有顶板（4），所述工作台（2）顶部外壁上转动连接有底部研磨盘（10），且底部研磨盘（10）靠近中心处开有凹槽（11），所述凹槽（11）贯穿至工作台（2）底部内壁，所述底箱（1）内部焊接有安装板（16），且安装板（16）顶部外壁上通过螺栓安装有第二伸缩汽缸（20），所述第二伸缩汽缸（20）顶部外壁上通过螺栓安装有固定座（12），且固定座（12）顶部外壁上粘接有软性密封垫（13），所述固定座（12）顶部外壁靠近中心处焊接有密封头（14），且密封头（14）一侧外壁上和固定座（12）底部内壁上均开有吸气孔（15）。

2.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机的晶片夹持装置，其特征在于，所述顶板（4）顶部外壁靠近中心处通过螺栓安装有第一伸缩汽缸（5），且第一伸缩汽缸（5）输出端贯穿至顶板（4）底部外壁，所述第一伸缩汽缸（5）输出端通过螺栓安装有连接板（6），且连接板（6）底部外壁上通过螺栓安装有驱动电机（7），所述驱动电机（7）输出端通过螺栓安装有顶部研磨头（8），且顶部研磨头（8）位于底部研磨盘（10）正上方。

3.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机的晶片夹持装置，其特征在于，所述安装板（16）顶部外壁上通过螺栓安装有吸气泵（17），且吸气泵（17）输出端螺纹连接有弹性软管（18），所述弹性软管（18）远离吸气泵（17）的一端螺纹连接在固定座（12）内部，且弹性软管（18）与吸气孔（15）相贯通。

4.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机的晶片夹持装置，其特征在于，所述固定座（12）一侧外壁上焊接有限位环（19）,且限位环（19）底部外壁上焊接有两个固定杆（21），所述固定杆（21）贯穿安装板（16）。

5.根据权利要求2所述的一种双端面研磨机的晶片夹持装置，其特征在于，所述连接板（6）顶部外壁上焊接有限位杆（9），且限位杆（9）贯穿顶板（4）。

6.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机的晶片夹持装置，其特征在于，所述顶板（4）底部外壁上焊接有安装杆（22），且安装杆（22）底端焊接有照明灯（23）。

7.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机的晶片夹持装置，其特征在于，所述底箱（1）底部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑腿（24），且支撑腿（24）底部外壁上通过螺钉安装有防滑垫。

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