CN214135484U - 一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，包括工作台、连接块、伺服电机、转动杆、清理块、抛光块和顶杆，所述工作台的上表面焊接固定有支撑板，且支撑板的内侧开设有滑动槽，并且滑动槽的内部设置有连接块，所述支撑板的上表面螺栓固定有伺服电机，且伺服电机的输出端焊接固定有转动杆，并且转动杆的外表面贴合设置有第一传动带，所述转动杆的外表面焊接固定有连接齿轮，且转动杆的外表面设置有顶杆，并且顶杆的外表面设置有晶圆本体，所述支撑板的内侧表面焊接固定有清理块，且支撑板的内侧上表面设置有抛光块。该便于后续调节晶圆加工用抛光装置，设置有顶杆、连接齿轮、衔接齿轮和打磨块，可以提高整个装置的抛光效率。

Description

一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置。

背景技术

在电子产品中，需要使用放到硅，而硅的主要作用是半导体，可以用来对电子产品中的电路板上的电型号进行传导，而一些硅的半导体需要做成圆形，即晶圆，晶圆的制造步骤较多，其中抛光就是重要的一步，抛光保证了晶圆外表面的平整。

而现有的一些晶圆加工用抛光装置在使用时仍然存在一些不足，比如：

一、不便于调节，现有的一些晶圆加工用抛光装置在对晶圆进行抛光作业时，需要工作人员手动将晶圆固定紧，从而导致整个装置的加工效率相对降低，而且操作步骤较为繁琐，不便于调节；

二、抛光效率欠佳，现有的一些晶圆加工用抛光装置在对晶圆本体的边缘进行抛光作业时，抛光装置单向转动来对晶圆本体进行打磨，从而导致整个装置的抛光效率欠佳。

因此我们便提出了便于后续调节晶圆加工用抛光装置能够很好的解决以上问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的一些晶圆加工用抛光装置在对晶圆进行抛光作业时，需要工作人员手动将晶圆固定紧，从而导致整个装置的加工效率相对降低，而且操作步骤较为繁琐，不便于调节，且现有的一些晶圆加工用抛光装置在对晶圆本体的边缘进行抛光作业时，抛光装置单向转动来对晶圆本体进行打磨，从而导致整个装置的抛光效率欠佳的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，包括工作台、连接块、伺服电机、转动杆、清理块、抛光块和顶杆，所述工作台的上表面焊接固定有支撑板，且支撑板的内侧开设有滑动槽，并且滑动槽的内部设置有连接块，所述支撑板的上表面螺栓固定有伺服电机，且伺服电机的输出端焊接固定有转动杆，并且转动杆的外表面贴合设置有第一传动带，所述转动杆的外表面焊接固定有连接齿轮，且转动杆的外表面设置有顶杆，并且顶杆的外表面设置有晶圆本体，所述支撑板的内侧表面焊接固定有清理块，且支撑板的内侧上表面设置有抛光块，并且抛光块的外表面焊接固定有衔接齿轮，所述工作台的上表面转动连接有连接杆，且连接杆的外表面贴合设置有第二传动带。

优选的，所述连接块通过滑动槽与支撑板组成滑动结构，且连接块关于支撑板的横向中轴线呈中心对称分布，并且连接块与顶杆组成镶嵌转动结构。

优选的，所述连接齿轮与衔接齿轮之间的连接方式为啮合连接，所述转动杆通过第一传动带、第二传动带与连接杆组成传动结构。

优选的，所述转动杆与顶杆之间的连接方式为螺纹连接，且2组转动杆上的螺纹旋向相同。

优选的，所述清理块的内侧表面与晶圆本体的外表面相贴合，且清理块的纵截面外形呈“Y”状。

优选的，所述抛光块的外表面与晶圆本体的外表面相贴合，且抛光块与支撑板、工作台均组成转动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：可以快速的对晶圆本体进行固定，同时也使晶圆本体的打磨效率得到提高，继而提高了晶圆本体的产量；

（1）该便于后续调节晶圆加工用抛光装置设置有连接杆、第一传动带。第二传动带、连接块和转动杆，通过第一传动带、第二传动带以及连接杆的传动，可以使两组转动杆同向转动，同时在连接块的限位作用下，可以使顶杆将晶圆本体固定紧，继而使整个装置的固定步骤简单，降低了工作人员的操作步骤；

（2）该便于后续调节晶圆加工用抛光装置设置有顶杆、连接齿轮、衔接齿轮和打磨块，通过连接齿轮和衔接齿轮的啮合转动，可以使打磨块和晶圆本体之间的转向相反，在顶杆的固定作用下，以及清理块对晶圆本体外表面的清理下，可以使整个打磨块更加快速的对晶圆本体的边缘进行打磨。

附图说明

图1为本实用新型正剖视结构示意图；

图2为本实用新型左剖视结构示意图；

图3为本实用新型滑动槽俯剖视结构示意图；

图4为本实用新型连接块俯剖视结构示意图；

图5为本实用新型清理块俯视结构示意图；

图6为本实用新型连接齿轮俯剖视结构示意图。

图中：1、工作台；2、支撑板；3、滑动槽；4、连接块；5、伺服电机；6、第一传动带；7、连接齿轮；8、转动杆；9、晶圆本体；10、清理块；11、抛光块；12、衔接齿轮；13、连接杆；14、第二传动带；15、顶杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，包括工作台1、支撑板2、滑动槽3、连接块4、伺服电机5、第一传动带6、连接齿轮7、转动杆8、晶圆本体9、清理块10、抛光块11、衔接齿轮12、连接杆13、第二传动带14和顶杆15，工作台1的上表面焊接固定有支撑板2，且支撑板2的内侧开设有滑动槽3，并且滑动槽3的内部设置有连接块4，支撑板2的上表面螺栓固定有伺服电机5，且伺服电机5的输出端焊接固定有转动杆8，并且转动杆8的外表面贴合设置有第一传动带6，转动杆8的外表面焊接固定有连接齿轮7，且转动杆8的外表面设置有顶杆15，并且顶杆15的外表面设置有晶圆本体9，支撑板2的内侧表面焊接固定有清理块10，且支撑板2的内侧上表面设置有抛光块11，并且抛光块11的外表面焊接固定有衔接齿轮12，工作台1的上表面转动连接有连接杆13，且连接杆13的外表面贴合设置有第二传动带14。

连接块4通过滑动槽3与支撑板2组成滑动结构，且连接块4关于支撑板2的横向中轴线呈中心对称分布，并且连接块4与顶杆15组成镶嵌转动结构，可以对顶杆15进行限位，从而使顶杆15更好的对晶圆本体9进行固定。

连接齿轮7与衔接齿轮12之间的连接方式为啮合连接，转动杆8通过第一传动带6、第二传动带14与连接杆13组成传动结构，可以使抛光块11与晶圆本体9的转向相反。

转动杆8与顶杆15之间的连接方式为螺纹连接，且2组转动杆8上的螺纹旋向相同，可以使顶杆15快速的将晶圆本体9固定。

清理块10的内侧表面与晶圆本体9的外表面相贴合，且清理块10的纵截面外形呈“Y”状，可以对晶圆本体9进行清理，继而使整个装置的抛光工作更加顺利的进行。

抛光块11的外表面与晶圆本体9的外表面相贴合，且抛光块11与支撑板2、工作台1均组成转动结构，可以确保整个装置的抛光可以顺利的完成。

工作原理：在使用该便于后续调节晶圆加工用抛光装置时，首先根据图1-5所示，当需要对晶圆本体9进行抛光作业时，将晶圆本体9放置到清理块10中，使晶圆本体9被初步固定，然后打开伺服电机5，伺服电机5带动转动杆8转动，因为连接块4通过滑动槽3与支撑板2组成滑动结构，且连接块4关于支撑板2的横向中轴线呈中心对称分布，并且连接块4与顶杆15组成镶嵌转动结构，同时转动杆8通过第一传动带6、第二传动带14与连接杆13组成传动结构，所以可以使2组顶杆15件晶圆本体9固定紧；

根据图1和图6所示，当顶杆15件晶圆本体9固定紧后，顶杆15在转动杆8的带动下，开始在连接块4中转动，同时在连接齿轮7和衔接齿轮12的传动下，使顶杆15与抛光块11之间的转向相反，继而使整个装置的打磨效率得到提高，因为清理块10的内侧表面与晶圆本体9的外表面相贴合，且清理块10的纵截面外形呈“Y”状，所以清理块10可以对晶圆本体9进行清理，继而使整个装置的抛光工作更加顺利的进行，这就是该便于后续调节晶圆加工用抛光装置的工作原理，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，包括工作台（1）、连接块（4）、伺服电机（5）、转动杆（8）、清理块（10）、抛光块（11）和顶杆（15），其特征在于：所述工作台（1）的上表面焊接固定有支撑板（2），且支撑板（2）的内侧开设有滑动槽（3），并且滑动槽（3）的内部设置有连接块（4），所述支撑板（2）的上表面螺栓固定有伺服电机（5），且伺服电机（5）的输出端焊接固定有转动杆（8），并且转动杆（8）的外表面贴合设置有第一传动带（6），所述转动杆（8）的外表面焊接固定有连接齿轮（7），且转动杆（8）的外表面设置有顶杆（15），并且顶杆（15）的外表面设置有晶圆本体（9），所述支撑板（2）的内侧表面焊接固定有清理块（10），且支撑板（2）的内侧上表面设置有抛光块（11），并且抛光块（11）的外表面焊接固定有衔接齿轮（12），所述工作台（1）的上表面转动连接有连接杆（13），且连接杆（13）的外表面贴合设置有第二传动带（14）。

2.根据权利要求1所述的一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，其特征在于：所述连接块（4）通过滑动槽（3）与支撑板（2）组成滑动结构，且连接块（4）关于支撑板（2）的横向中轴线呈中心对称分布，并且连接块（4）与顶杆（15）组成镶嵌转动结构。

3.根据权利要求1所述的一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，其特征在于：所述连接齿轮（7）与衔接齿轮（12）之间的连接方式为啮合连接，所述转动杆（8）通过第一传动带（6）、第二传动带（14）与连接杆（13）组成传动结构。

4.根据权利要求1所述的一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，其特征在于：所述转动杆（8）与顶杆（15）之间的连接方式为螺纹连接，且2组转动杆（8）上的螺纹旋向相同。

5.根据权利要求1所述的一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，其特征在于：所述清理块（10）的内侧表面与晶圆本体（9）的外表面相贴合，且清理块（10）的纵截面外形呈“Y”状。

6.根据权利要求1所述的一种便于后续调节晶圆加工用抛光装置，其特征在于：所述抛光块（11）的外表面与晶圆本体（9）的外表面相贴合，且抛光块（11）与支撑板（2）、工作台（1）均组成转动结构。

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