CN214082002U - 石英坩埚用双层石墨模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了石英坩埚用双层石墨模具，沿模具内层外壁上方的外部固定套有模具外层，在模具外层下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽；沿不锈钢外套的内壁设有呈向外凸出状的外套连接盘，模具外层通过将外套连接环槽固定架设在外套连接盘上来将不锈钢外套固定设置在不锈钢外套的内部；不锈钢外套与模具内层之间隔离的空间形成空腔且向空腔的内部输入气流；不锈钢外套的外壁内部为空心状即形成冷却水腔且向冷却水腔的内部注入冷却水；在不锈钢外套的底面的中心部位开设有导流口。本实用新型可以对不锈钢外套进行防护，可以有效防止不锈钢外套损坏；其次可以有效的延长整体装置的使用寿命，降低成本并提高坩埚的稳定性。

Description

石英坩埚用双层石墨模具

技术领域

本实用新型涉及坩埚模具，具体涉及石英坩埚用双层石墨模具。

背景技术

现在生产石英坩埚使用的均是不锈钢磨具或单层石墨模具加不锈钢外套，高温时不锈钢模具或不锈钢外套易变型，特别是不锈钢外套与单层石墨磨具连接处易变型，造成不锈钢磨具报废或单层石墨模具碎裂而报废，使生产成本增加且石英坩埚质量不稳定。针对上述问题,本方案提出了石英坩埚用双层石墨模具。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供石英坩埚用双层石墨模具。

根据本实用新型实施例提供的技术方案，石英坩埚用双层石墨模具，包括石墨模具；所述石墨模具包括模具外层、模具内层、不锈钢外套、外套连接盘、空腔、冷却水腔和外套连接环槽；沿所述模具内层外壁上方的外部固定套有所述模具外层，在所述模具外层下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽；沿所述不锈钢外套的内壁设有呈向外凸出状的所述外套连接盘，所述模具外层通过将所述外套连接环槽固定架设在外套连接盘上来将所述不锈钢外套固定设置在所述不锈钢外套的内部；所述不锈钢外套与模具内层之间隔离的空间形成所述空腔且向所述空腔的内部输入气流；所述不锈钢外套的外壁内部为空心状即形成所述冷却水腔且向所述冷却水腔的内部注入冷却水；在所述不锈钢外套的底面的中心部位开设有导流口。

本实用新型中，所述外套连接环槽的槽体宽度及高度与外套连接盘的盘体宽度及高度相匹配。

本实用新型中，在所述不锈钢外套的顶部圈口的两侧开设进水口及进气口。

本实用新型中，所述导流口包括外导流口和内导流口，所述外导流口位于所述内导流口的外围且在所述外导流口和内导流口之间隔有分隔板。

本实用新型中，所述外导流口的上端及下端均为开口状；所述内导流口的下端为开口状，上端与所述不锈钢外套的内壁空腔连通。

本实用新型中，所述模具外层的内壁与模具内层的外壁之间隔有间隙。

本实用新型中，所述不锈钢外套的内部为空腔，且腔体的直径大小与模具外层的直径大小相匹配。

综上所述，本实用新型的有益效果：对不锈钢外套进行防护，可以有效防止不锈钢外套损坏；其次可以有效的延长整体装置的使用寿命，降低成本并提高坩埚的稳定性。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的剖面结构示意图；

图2为本实用新型中模具外层和模具内层的剖面结构示意图。

图中标号：1.模具外层、2.模具内层、3.不锈钢外套、4.外套连接盘、5.空腔、6.冷却水腔、7.外套连接环槽、8.导流口、8.1.外导流口、8.2.内导流口、8.3.分隔板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1和图2所示,石英坩埚用双层石墨模具，包括石墨模具；所述石墨模具包括模具外层1、模具内层2、不锈钢外套3、外套连接盘4、空腔5、冷却水腔6和外套连接环槽7；沿所述模具内层2外壁上方的外部固定套有所述模具外层1，所述模具外层1的内壁与模具内层2的外壁之间隔有间隙。在所述模具外层1下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽7；沿所述不锈钢外套3的内壁设有呈向外凸出状的所述外套连接盘4，所述外套连接环槽7的槽体宽度及高度与外套连接盘4 的盘体宽度及高度相匹配。所述模具外层1通过将所述外套连接环槽7 固定架设在外套连接盘4上来将所述不锈钢外套3固定设置在所述不锈钢外套3的内部；所述不锈钢外套3与模具内层2之间隔离的空间形成所述空腔5且向所述空腔5的内部输入气流；所述不锈钢外套3的外壁内部为空心状即形成所述冷却水腔6且向所述冷却水腔6的内部注入冷却水；

在所述不锈钢外套3的底面的中心部位开设有导流口8，所述导流口8包括外导流口8.1和内导流口8.2，所述外导流口8.1位于所述内导流口8.2的外围且在所述外导流口8.1和内导流口8.2之间隔有分隔板8.3。所述外导流口8.1的上端及下端均为开口状；所述内导流口8.2 的下端为开口状，上端与所述不锈钢外套3的内壁空腔连通。冷却水腔 6中的水和空腔5中的气流分别通过外导流口8.1和内导流口8.2中流出，避免共用一个流通口时导流出的水影响气流的输出速度。

本石墨模具中，所述不锈钢外套3的内部为空腔，且腔体的直径大小与模具外层1的直径大小相匹配。在所述不锈钢外套3的顶部圈口的两侧开设进水口及进气口。

实施例：请参考图1和图2，图1中箭头方向为冷却用水和气流的流经方向。石墨模具分为模具外层1和模具内层2，在模具的外部固定有不锈钢外套3，模具内层2与不锈钢外套3之间形成空腔7，并可以通过进气口向空腔7内输送气流，通过进水口向冷却水腔6内输送冷却用水，可以很好的隔断石墨模具内层2的热量并传导给连接盘4，并可通过气流和冷却水将热量带走。这样不会损坏不锈钢外套3，可以有效的延长整体装置的使用寿命，降低成本并提高坩埚的稳定性。

本模具中，不锈钢外套3采用焊接车削加工，石墨模具采用数控车床车削而成。

以上描述仅为本实用新型的较佳实施例以及对所运用技术原理等方案的说明。同时，本实用新型中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本实用新型中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (7)

1.石英坩埚用双层石墨模具，包括石墨模具；其特征是：所述石墨模具包括模具外层(1)、模具内层(2)、不锈钢外套(3)、外套连接盘(4)、空腔(5)、冷却水腔(6)和外套连接环槽(7)；沿所述模具内层(2)外壁上方的外部固定套有所述模具外层(1)，在所述模具外层(1)下圈口的外壁上设有呈向内凹陷状的外套连接环槽(7)；沿所述不锈钢外套(3)的内壁设有呈向外凸出状的所述外套连接盘(4)，所述模具外层(1)通过将所述外套连接环槽(7)固定架设在外套连接盘(4)上来将所述不锈钢外套(3)固定设置在所述不锈钢外套(3)的内部；所述不锈钢外套(3)与模具内层(2)之间隔离的空间形成所述空腔(5)且向所述空腔(5)的内部输入气流；所述不锈钢外套(3)的外壁内部为空心状即形成所述冷却水腔(6)且向所述冷却水腔(6)的内部注入冷却水；在所述不锈钢外套(3)的底面的中心部位开设有导流口(8)。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述外套连接环槽(7)的槽体宽度及高度与外套连接盘(4)的盘体宽度及高度相匹配。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：在所述不锈钢外套(3)的顶部圈口的两侧开设进水口及进气口。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述导流口(8)包括外导流口(8.1)和内导流口(8.2)，所述外导流口(8.1)位于所述内导流口(8.2)的外围且在所述外导流口(8.1)和内导流口(8.2)之间隔有分隔板(8.3)。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述外导流口(8.1)的上端及下端均为开口状；所述内导流口(8.2)的下端为开口状，上端与所述不锈钢外套(3)的内壁空腔连通。

6.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述模具外层(1)的内壁与模具内层(2)的外壁之间隔有间隙。

7.根据权利要求1所述的石英坩埚用双层石墨模具，其特征是：所述不锈钢外套(3)的内部为空腔，且腔体的直径大小与模具外层(1)的直径大小相匹配。

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