CN214032753U - 提拉法生产单晶硅用二次加料器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的提拉法生产单晶硅用二次加料器，包括料筒和提拉装置，提拉装置设置在料筒内，用于带动料筒内的硅料下滑；提拉装置包括石英底锥、拉杆、固定套、固定连板以及重锤；料筒的下端面与石英底锥的锥面重合，石英底锥的锥顶位置与拉杆一端固定连接，拉杆的另一端穿过固定套，穿过固定连板，其端部连接有重锤；固定连板与料筒的上端面靠近端部的位置连接。本实用新型二次加料器中，在料筒的上端设置固定连板，当石英底锥在高温区域出现损坏时，固定连板与料筒的连接以及与拉杆、固定套的固定，可以在重锤的上升过程中，带动整个加料器一并提出，由此不需要破坏长晶需求的真空及高温环境拿出加料筒，因此，节省成本、提高了生产产品的效率以及合格率。

Description

提拉法生产单晶硅用二次加料器

技术领域

本实用新型涉及硅单晶炉配套设备，具体涉及一种提拉法生产单晶硅用二次加料器。

背景技术

提拉法单晶硅长晶工艺的要求，在单晶炉内投入多晶硅料，向炉内充入惰性气体(氩气)，真空泵连续不断从腔室内抽气，保持内部压力稳定在1600Pa左右，将硅料熔化并将温度持续稳定在1420℃，这是单晶硅棒生长的基础环境。单晶硅生长环境的苛刻要求加上开炉准备停炉清理的周期费时费力，如何在保持成品率的情况下，有效的提高单晶炉的产能并降低成本是各厂家必须解决的难题。

目前行业内大量使用的二次加料器，均为石英料筒加石英底锥结构，石英底锥通过连接杆挂接在单晶炉重锤上，石英料筒放置在单晶炉内，通过给定晶升晶降，带动石英底锥下降开合加料，上升闭合并将料筒一并提出。此传统的结构有个弊端，石英底锥距离高温区域较近，容易出现损坏，当在加料过程中底锥损坏，给定晶升时，无法将加料筒一并提出，需破坏长晶需求的真空及高温环境才能拿出加料筒，此炉长晶失败，造成不必要的经济损失。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种提拉法生产单晶硅用二次加料器，其技术方案如下：

提拉法生产单晶硅用二次加料器，包括料筒以及提拉装置，所述提拉装置设置在所述料筒内，用于带动所述料筒内的硅料下滑；所述提拉装置包括石英底锥、拉杆、固定套、固定连板以及重锤；所述料筒的下端面与所述石英底锥的锥面重合，所述石英底锥的锥顶位置与所述拉杆一端固定连接，所述拉杆的另一端穿过固定套及固定连板，其端部连接有重锤；所述固定连板与所述料筒的上端面靠近端部的位置连接。

较佳地，所述提拉装置设置在所述料筒的中心轴位置，用于带动所述料筒内的硅料下滑。

较佳地，所述拉杆穿过所述的固定套及固定连板的中心孔，所述固定套与拉杆固定，所述固定连板与拉杆可相对滑动，所述拉杆上升时，固定套推动固定连板一起上升。

较佳地，所述料筒的上端面靠近端部的位置设置有第一凸台，所述固定连板通过所述第一凸台与所述料筒连接。

较佳地，所述料筒的外壁中部位置还设置有定位板，所述定位板能够放置在单晶炉炉室内止口上。

较佳地，所述定位板的上方设置有第二凸台，所述第二凸台与所述定位板接触。

较佳地，所述石英底锥面设置为圆锥面，便于硅料下滑。

相比现有技术，本实用新型具有以下优点：

本实用新型二次加料器中，在料筒的上端设置固定连板，拉杆上设置有固定套，当石英底锥在高温区域出现损坏时，固定连板与料筒的连接以及拉杆上固定套推动固定连板，可以在重锤的上升过程中，带动整个加料器一并提出，由此不需要破坏长晶需求的真空及高温环境拿出加料筒，因此，节省成本，提高了生产产品的效率以及合格率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型结构示意图。

其中，附图标记的含义为：

1-料筒；1a-第二凸台；1b-第一凸台；2-石英底锥；2a-锥面；3-拉杆；4-定位板；5-固定连板；5a-中心孔；5b-平面；6-固定套；7-重锤。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

本实用新型通过固定连板挂接在重锤上，在石英底锥损坏的情况下，通过重锤上升可将石英料筒一并提出，可避免意外事故中的经济损失。

以下结合附图和实施例进一步详述本实用新型，图1是本实用新型结构示意图，如图1所示：提拉法生产单晶硅用二次加料器，包括料筒1以及提拉装置，提拉装置设置在料筒1内，用于带动料筒1内的硅料下滑；提拉装置包括石英底锥2、拉杆3、固定套6、固定连板5以及重锤7；料筒1的下端面与石英底锥2锥面重合，石英底锥2的锥顶位置与拉杆3一端固定连接，拉杆3的另一端穿过固定套6及固定连板5，其端部连接有重锤7；固定连板5与料筒1的上端面靠近端部的位置连接。拉杆3穿过固定套6及固定连板5的中心孔5a，所述固定套6与拉杆3固定，所述固定连板5与拉杆3可相对滑动。料筒1的上端面靠近端部的位置设置有第一凸台1b，固定连板5通过第一凸台1b与料筒1连接。料筒1的外壁中部位置还设置有定位板4，定位板4能够放置在单晶炉炉室内止口上。

定位板4的上方设置有第二凸台1a，第二凸台1a与定位板4接触。石英底锥2面设置为圆锥面2a，便于硅料下滑。另外，固定连板5上设设置有平面5b。

需要说明的是，固定连板与所述料筒通过凸台可采用卡扣的连接方式，当需要加料时，打开卡扣，加入硅料至料箱，加完硅料后，则扣住料箱。

需要说明的是，固定套在安装部位为拉杆增加一个台阶，石英锥损坏后，提升拉杆时，固定套推动固定连扳，带动石英料筒一起上升。

使用时，在石英料筒内投入硅料，将本实用新型放置在真空炉室内，石英料筒搁置在炉室内，给定晶降，重锤下降，石英底锥及硅料自重下降，逐渐远离石英料筒的下端，硅料顺着锥面2a下滑落下，加料完成后，给定晶升，重锤上升，带动拉杆上升，固定套带动固定连板上升，固定连板带动石英料筒上升，可将整个加料器一并提出，无需破坏长晶需求的真空及高温环境，更不会造成不必要的经济损失。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (7)

1.提拉法生产单晶硅用二次加料器，其特征在于，包括：料筒以及提拉装置，所述提拉装置设置在所述料筒内，用于带动所述料筒内的硅料下滑；所述提拉装置包括石英底锥、拉杆、固定套、固定连板以及重锤；所述料筒的下端面与所述石英底锥的锥面重合，所述石英底锥的锥顶位置与所述拉杆一端固定连接，所述拉杆的另一端穿过所述的固定套及固定连板，其端部连接有重锤；所述固定连板与所述料筒的上端面靠近端部的位置连接。

2.根据权利要求1所述的提拉法生产单晶硅用二次加料器，其特征在于：所述提拉装置设置在所述料筒的中心轴位置，用于带动所述料筒内的硅料下滑。

3.根据权利要求2所述的提拉法生产单晶硅用二次加料器，其特征在于：所述拉杆穿过所述固定套及固定连板的中心孔，所述固定套与拉杆固定，所述固定连板与拉杆可相对滑动，所述拉杆上升时，固定套推动固定连板一起上升。

4.根据权利要求3所述的提拉法生产单晶硅用二次加料器，其特征在于：所述料筒的上端面靠近端部的位置设置有第一凸台，所述固定连板通过所述第一凸台与所述料筒连接。

5.根据权利要求4所述的提拉法生产单晶硅用二次加料器，其特征在于：所述料筒的外壁中部位置还设置有定位板，所述定位板能够放置在单晶炉炉室内止口上。

6.根据权利要求5所述的提拉法生产单晶硅用二次加料器，其特征在于：所述定位板的上方设置有第二凸台，所述第二凸台与所述定位板接触。

7.根据权利要求6所述的提拉法生产单晶硅用二次加料器，其特征在于：所述石英底锥面设置为圆锥面，便于硅料下滑。

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