CN214011430U - 一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置。所述基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，包括：工作台，所述工作台顶部的两侧均固定连接有侧支撑板，所述工作台顶部一侧的侧支撑板的内部开设有放置槽，所述放置槽的内部固定连接有电机，所述放置槽内壁的一侧与另一个侧支撑板相对的一侧之间转动连接有转动轴。本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，通过两个电动伸缩杆带动测试机下降到与晶圆贴合处，对晶圆表面的微粒进行检测，工作人员可通过承压指示表直接清楚的查看到微粒的承压指示数据，同时测试机将晶圆表面的微粒数与承压数传输到显示屏上，人员可以清楚直观的查看到所需的测试数据。

Description

一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅领域，尤其涉及一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置。

背景技术

单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。半导体的导电能力介于导体和绝缘体之间，硅、锗、砷化镓和硫化镉都是半导体材料，半导体材料的电阻率随着温度升高和辐射强度的增大而减小，在半导体中加入微量的杂质，对其导电性有决定性影响，这是半导体材料的重要特性。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。

在进行单晶硅外延片的生产时需要对晶圆表面的微粒进行测试，而目前市场上并没有专门针对晶圆表面微粒测试的仪器，在进行测试时多是通过其他的仪器进行，这就导致测试的过程变得较为困难，且检测的数据不能够很直观的表示出来。

因此，有必要提供一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，解决了市场上并没有专门针对晶圆表面微粒测试的仪器，导致测试的过程较为困难，且检测的数据不能够很直观的表示出来的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，包括：工作台，所述工作台顶部的两侧均固定连接有侧支撑板，所述工作台顶部一侧的侧支撑板的内部开设有放置槽，所述放置槽的内部固定连接有电机，所述放置槽内壁的一侧与另一个侧支撑板相对的一侧之间转动连接有转动轴，所述转动轴的外部与电机输出轴的外部传动连接有传动带，所述转动轴的外部固定连接有两根拉动带，两根所述拉动带的底端固定连接有移动板，所述移动板的两侧均滑动连接于两个限位杆的外部，所述转动轴用于在电机的带动下收卷拉动带。

优选的，所述移动板的底部固定连接有两根电动伸缩杆，两根所述电动伸缩杆的底部均固定连接有连接块，两个所述连接块相对的两侧均固定连接有连接杆，所述连接杆的顶端固定连接有承压指示框，所述承压指示框的正面开设有观察槽，所述观察槽的顶部固定连接有透明板，所述观察槽内壁的两侧均固定连接有指示针，两个连接块的底部固定连接有测试机，所述连接杆为反向的L型，两个所述指示针之间留有一定的空隙用于显示承压指示表的数据，所述测试机为现有装置。

优选的，所述工作台的背面固定连接有延伸板，所述延伸板的正面固定连接有照明灯，所述延伸板且位于照明灯的顶部固定连接有承压指示表，所述延伸板延伸出工作台的顶部一端距离，所述照明灯便于人员更加清楚的观察到承压测试的数据，所述指示表用于指示针指示数据。

优选的，两个所述侧支撑板相对的两侧均固定连接有连接板，两个所述连接板相对的两侧均固定连接有固定板，所述固定板内壁的顶部与底部至今固定连接有限位杆，所述限位杆的外部套设有第一弹性件，所述第一弹性件用于控制移动板的下降，所述限位杆用于限制移动板的位置，放置移动板在移动时产生晃动。

优选的，所述工作台的底部且位于两个支撑腿之间固定连接有操作器，所述操作器正面的底部固定连接有若干控制按钮，所述操作器的正面固定连接有两个显示屏，若干所述控制按钮用于控制电机的开关、电动伸缩杆的开关以及数据的显示，两个所述显示屏一个为圆形用于显示微粒的数量，另一个用于显示承压等数据。

优选的，所述工作台的顶部固定连接有两个固定夹紧块，两个所述固定夹紧块相对的两侧均固定连接有第二弹性件，所述第二弹性件的一端固定连接有夹紧环，所述夹紧环用于固定晶圆的位置，所述两个固定夹紧块的位置水平相对。

优选的，所述工作台的底部固定连接有两个支撑腿，两个所述支撑腿的底部均通过调节螺钉滑动连接有支撑垫脚，所述工作台的两侧高度不平时可通过调节螺钉调节两侧的支撑腿高度来平衡。

与相关技术相比较，本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，通过电机带动传动带转动，传动带的传动使得转动轴进行转动，转动轴的转动使得两个拉动带收卷，两个拉动带的收卷带动移动板移动，当移动板移动到合适的位置后，两个电动伸缩杆带动测试机下降到与晶圆贴合处，对晶圆表面的微粒进行检测，工作人员可通过承压指示表直接清楚的查看到微粒的承压指示数据，同时测试机将晶圆表面的微粒数与承压数传输到显示屏上，人员可以清楚直观的查看到所需的测试数据。

附图说明

图1为本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为图1所示固定装置的结构示意图；

图3为图1中A处局部放大图；

图4为图1所示承压指示框的三维立体图。

图中标号：1、放置槽；2、延伸板；3、电机；4、工作台；5、支撑腿；6、调节螺钉；7、支撑垫脚；8、操作器；9、控制按钮；10、显示屏；11、测试机；12、连接板；13、侧支撑板；14、照明灯；15、拉动带；16、转动轴；17、固定板；18、限位杆；19、第一弹性件；20、移动板；21、传动带；22、连接杆；23、承压指示框；24、承压指示表；25、电动伸缩杆；26、连接块；27、透明板；28、指示针；29、观察槽；30、固定夹紧块；31、第二弹性件；32、夹紧板。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1、图2、图3、图4，其中，图1为本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示固定装置的结构示意图；图3为图1中A处局部放大图；图4为图1所示承压指示框的三维立体图。基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置包括：工作台4，所述工作台4顶部的两侧均固定连接有侧支撑板13，所述工作台4顶部一侧的侧支撑板13的内部开设有放置槽1，所述放置槽1的内部固定连接有电机3，所述放置槽1内壁的一侧与另一个侧支撑板13相对的一侧之间转动连接有转动轴16，所述转动轴16的外部与电机3输出轴的外部传动连接有传动带21，所述转动轴16的外部固定连接有两根拉动带15，两根所述拉动带15的底端固定连接有移动板20，所述移动板20的两侧均滑动连接于两个限位杆18的外部，所述转动轴16用于在电机3的带动下收卷拉动带15，两个所述拉动带15用于带动移动板20上下移动。

所述移动板20的底部固定连接有两根电动伸缩杆25，两根所述电动伸缩杆25的底部均固定连接有连接块26，两个所述连接块26相对的两侧均固定连接有连接杆22，所述连接杆22的顶端固定连接有承压指示框23，所述承压指示框23的正面开设有观察槽29，所述观察槽29的顶部固定连接有透明板27，所述观察槽29内壁的两侧均固定连接有指示针28，两个连接块26的底部固定连接有测试机11，所述连接杆22为反向的L型，两个所述指示针28之间留有一定的空隙用于显示承压指示表24的数据，所述测试机11为现有装置能够将压力的数据以及微粒的数量传输到操作器8由显示屏10显示出来。

所述工作台4的背面固定连接有延伸板2，所述延伸板2的正面固定连接有照明灯14，所述延伸板2且位于照明灯14的顶部固定连接有承压指示表24，所述延伸板2延伸出工作台4的顶部一端距离，所述照明灯14便于人员更加清楚的观察到承压测试的数据，所述指示表24用于指示针28指示数据。

两个所述侧支撑板13相对的两侧均固定连接有连接板12，两个所述连接板12相对的两侧均固定连接有固定板17，所述固定板17内壁的顶部与底部至今固定连接有限位杆18，所述限位杆18的外部套设有第一弹性件19，所述第一弹性件19用于控制移动板20的下降，所述限位杆18用于限制移动板20的位置，放置移动板20在移动时产生晃动。

所述工作台4的底部且位于两个支撑腿5之间固定连接有操作器8，所述操作器8正面的底部固定连接有若干控制按钮9，所述操作器8的正面固定连接有两个显示屏10，若干所述控制按钮9用于控制电机3的开关、电动伸缩杆25的开关以及数据的显示，两个所述显示屏10一个为圆形用于显示微粒的数量，另一个用于显示承压等数据。

所述工作台4的顶部固定连接有两个固定夹紧块30，两个所述固定夹紧块30相对的两侧均固定连接有第二弹性件31，所述第二弹性件31的一端固定连接有夹紧环32，所述夹紧环32用于固定晶圆的位置，所述两个固定夹紧块30的位置水平相对。

所述工作台4的底部固定连接有两个支撑腿5，两个所述支撑腿5的底部均通过调节螺钉6滑动连接有支撑垫脚7，所述工作台4的两侧高度不平时可通过调节螺钉6调节两侧的支撑腿5高度来平衡。

本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置的工作原理如下：

使用时，将待检测的晶圆放置于两个夹紧环32之间，通过操作器8控制电机3启动，电机3带动传动带21转动，传动带21的传动使得转动轴16进行转动，转动轴16的转动使得两个拉动带15收卷，两个拉动带15的收卷带动移动板20移动，当移动板20移动到合适的位置后，两个电动伸缩杆25带动测试机11下降到与晶圆贴合处，对晶圆表面的微粒进行检测，人员在进行查看数据时，可通过承压指示表24直接清楚的查看到微粒的承压指示数据，同时测试机11将晶圆表面的微粒数与承压数传输到显示屏10上。

与相关技术相比较，本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置具有如下有益效果：

通过电机3带动传动带21转动，传动带21的传动使得转动轴16进行转动，转动轴16的转动使得两个拉动带15收卷，两个拉动带15的收卷带动移动板20移动，当移动板20移动到合适的位置后，两个电动伸缩杆25带动测试机11下降到与晶圆贴合处，对晶圆表面的微粒进行检测，工作人员可通过承压指示表24直接清楚的查看到微粒的承压指示数据，同时测试机11将晶圆表面的微粒数与承压数传输到显示屏10上，人员可以清楚直观的查看到所需的测试数据。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，包括工作台(4)，其特征在于：所述工作台(4)顶部的两侧均固定连接有侧支撑板(13)，所述工作台(4)顶部一侧的侧支撑板(13)的内部开设有放置槽(1)，所述放置槽(1)的内部固定连接有电机(3)，所述放置槽(1)内壁的一侧与另一个侧支撑板(13)相对的一侧之间转动连接有转动轴(16)，所述转动轴(16)的外部与电机(3)输出轴的外部传动连接有传动带(21)，所述转动轴(16)的外部固定连接有两根拉动带(15)，两根所述拉动带(15)的底端固定连接有移动板(20)。

2.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，其特征在于，所述移动板(20)的底部固定连接有两根电动伸缩杆(25)，两根所述电动伸缩杆(25)的底部均固定连接有连接块(26)，两个所述连接块(26)相对的两侧均固定连接有连接杆(22)，所述连接杆(22)的顶端固定连接有承压指示框(23)，所述承压指示框(23)的正面开设有观察槽(29)，所述观察槽(29)的顶部固定连接有透明板(27)，所述观察槽(29)内壁的两侧均固定连接有指示针(28)，两个连接块(26)的底部固定连接有测试机(11)。

3.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，其特征在于，所述工作台(4)的背面固定连接有延伸板(2)，所述延伸板(2)的正面固定连接有照明灯(14)，所述延伸板(2)且位于照明灯(14)的顶部固定连接有承压指示表(24)。

4.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，其特征在于，两个所述侧支撑板(13)相对的两侧均固定连接有连接板(12)，两个所述连接板(12)相对的两侧均固定连接有固定板(17)，所述固定板(17)内壁的顶部与底部至今固定连接有限位杆(18)，所述限位杆(18)的外部套设有第一弹性件(19)。

5.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，其特征在于，所述工作台(4)的底部且位于两个支撑腿(5)之间固定连接有操作器(8)，所述操作器(8)正面的底部固定连接有若干控制按钮(9)，所述操作器(8)的正面固定连接有两个显示屏(10)。

6.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，其特征在于，所述工作台(4)的顶部固定连接有两个固定夹紧块(30)，两个所述固定夹紧块(30)相对的两侧均固定连接有第二弹性件(31)，所述第二弹性件(31)的一端固定连接有夹紧环(32)。

7.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，其特征在于，所述工作台(4)的底部固定连接有两个支撑腿(5)，两个所述支撑腿(5)的底部均通过调节螺钉(6)滑动连接有支撑垫脚(7)。

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