CN215680651U - 一种晶圆测试机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种晶圆测试机，属于晶圆测试技术领域，它解决了现有的测试装置不能够自动对晶圆进行固定的问题。本晶圆测试机，包括箱体，箱体内壁的底部固定有底座，底座的顶部固定有压力传感器，压力传感器的顶部固定有放置台，放置台顶部的左右两侧均设置有固定板，且固定板与放置台之间滑动连接，放置台内壁的底部固定有电动伸缩杆。本实用新型通过电动伸缩杆、伸缩杆和固定板的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了检测数据的准确性，给工作人员提供了便利。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆测试技术领域，涉及一种测试机，特别是一种晶圆测试机。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
经检索，如中国专利文献公开了一种芯片测试震动控制装置【申请号：CN201820828033.9；公开号：CN208688762U】。这种芯片测试震动控制装置，包括箱体，所述箱体的侧壁上安装有控制面板，箱体顶端侧壁的两侧对称设置有第一通孔，第一通孔内活动安装有活动杆，两根活动杆的一端共同固定有水平设置的震动台，震动台上表面两侧对称设置有安装板，两块安装板相靠近的侧壁上均固定有安装筒，安装筒的底端内壁上安装有点动开关，安装筒内活动安装有安装杆，安装杆的一端固定有固定板，两块固定板相靠近的侧壁上安装有芯片夹子，安装杆上套接有第一弹簧，且第一弹簧的一端连接有安装筒。
该专利中公开的装置还存在有一定的问题，其不能够对检测物进行自动夹持固定，检测过程中需要工作人员多次进行上料下料操作，不仅增加了工作人员的劳动量，还降低了检测效率，给工作人员的后续检测工作带来不便。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种晶圆测试机，该晶圆测试机能够对待检测的晶圆进行自动固定，提高了检测效率。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：
一种晶圆测试机，包括箱体，所述箱体内壁的底部固定有底座，所述底座的顶部固定有压力传感器，所述压力传感器的顶部固定有放置台，所述放置台顶部的左右两侧均设置有固定板，且固定板与放置台之间滑动连接，所述放置台内壁的底部固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆输出轴的顶端固定有升降板，所述升降板的左右两侧均铰接有活动杆，所述活动杆的另一端铰接有伸缩杆，所述伸缩杆的一端贯穿至放置台的外部并与放置台之间滑动连接，所述固定板的一侧固定有推板，且推板呈L型设置，所述推板的一侧与伸缩杆固定，所述箱体的上方设置有驱动结构，所述箱体内部的上方设置有升降台，所述升降台的底部固定有推杆，所述推杆的底端固定有压板。
本实用新型的工作原理是：当需要对晶圆的强度进行检测时，工作人员将待检测的晶圆放置在放置台的顶部，并开启电动伸缩杆，使得两侧的固定板相向移动，对放置台上的晶圆进行夹持固定，工作人员将电机打开，使得压板对下方的晶圆进行挤压，放置台下方的压力传感器随之对压力值进行检测，当晶圆出现断裂时，压力传感器将产生断裂时的数据在控制面板上显示，工作人员即可对数据进行记录，随后电动伸缩杆的输出轴回到原位，固定板向两侧移动，工作人员将断裂的晶圆取出，即可对另一批次的晶圆进行检测工作。
所述驱动结构包括电机、螺纹杆和套管，所述电机固定在箱体的顶部，且电机输出轴的底端贯穿至箱体的内部，所述螺纹杆固定安装在电机输出轴的底端，所述套管套设在螺纹杆的下方，且套管与螺纹杆之间螺纹连接，所述套管的底端与升降台之间固定连接。
采用以上结构，使得升降板能够进行上下方向移动。
所述箱体内壁的左右两侧均开设有限位槽，所述升降台的左右两侧均固定有限位杆，所述限位槽的内部固定有固定杆，所述限位杆的一端延伸至限位槽的内部并固定有滑套，所述固定杆贯穿滑套并与滑套滑动连接。
采用以上结构，能够对升降台的运动轨迹进行限位，使其只能进行上下方向移动。
所述固定板呈半圆弧型设置，所述固定板相向一侧的表面均粘接有保护垫，且保护垫的材质为橡胶。
采用以上结构，防止固定板与晶圆直接接触。
所述放置台内壁的左右两侧均固定有导向环，所述伸缩杆贯穿导向环并与导向环的内壁滑动连接。
采用以上结构，能够对伸缩杆进行限位，使其只能进行左右方向水平移动。
所述箱体右侧的上方固定有控制面板，且控制面板与压力传感器之间配合使用。
采用以上结构，能够将压力传感器检测的数据进行显示。
与现有技术相比，本晶圆测试机具有以下优点：
1、本实用新型通过电动伸缩杆、伸缩杆和固定板的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了检测数据的准确性，给工作人员提供了便利，解决了现有的测试装置不能够对检测物进行自动夹持固定的问题，减轻了工作人员的劳动负担。
2、通过电机、螺纹杆和套管的设置，使得升降板能够进行上下方向移动，以便对晶圆的强度进行检测。
3、通过限位槽、限位杆、固定杆和滑套的设置，能够对升降台的运动轨迹进行限位，使其只能进行上下方向移动，增加压板下压时的稳定性。
附图说明
图1是本实用新型的平面剖视结构示意图。
图2是本实用新型中放置台的平面剖视结构示意图。
图3是本实用新型局部立体结构示意图。
图4是本实用新型图1中A处的局部放大图。
图中，1、箱体；2、底座；3、压力传感器；4、放置台；5、固定板；6、电动伸缩杆；7、升降板；8、活动杆；9、伸缩杆；10、推板；11、驱动结构；111、电机；112、螺纹杆；113、套管；12、升降台；13、推杆；14、压板；15、导向环；16、保护垫；17、控制面板；18、限位槽；19、限位杆；20、固定杆；21、滑套。
具体实施方式
以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
如图1-图4所示，本晶圆测试机，包括箱体1，箱体1内壁的底部固定有底座2，底座2的顶部固定有压力传感器3，压力传感器3的顶部固定有放置台4，放置台4顶部的左右两侧均设置有固定板5，且固定板5与放置台4之间滑动连接，放置台4内壁的底部固定有电动伸缩杆6，电动伸缩杆6输出轴的顶端固定有升降板7，升降板7的左右两侧均铰接有活动杆8，活动杆8的另一端铰接有伸缩杆9，伸缩杆9的一端贯穿至放置台4的外部并与放置台4之间滑动连接，固定板5的一侧固定有推板10，且推板10呈L型设置，推板10的一侧与伸缩杆9固定，箱体1的上方设置有驱动结构11，箱体1内部的上方设置有升降台12，升降台12的底部固定有推杆13，推杆13的底端固定有压板14；本实用新型通过电动伸缩杆6、伸缩杆9和固定板5的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了检测数据的准确性，给工作人员提供了便利，解决了现有的测试装置不能够对检测物进行自动夹持固定的问题，减轻了工作人员的劳动负担。
驱动结构11包括电机111、螺纹杆112和套管113，电机111固定在箱体1的顶部，且电机111输出轴的底端贯穿至箱体1的内部，螺纹杆112固定安装在电机111输出轴的底端，套管113套设在螺纹杆112的下方，且套管113与螺纹杆112之间螺纹连接，套管113的底端与升降台12之间固定连接，在本实施例中，通过电机111、螺纹杆112和套管113的设置，使得升降板7能够进行上下方向移动，以便对晶圆的强度进行检测。
箱体1内壁的左右两侧均开设有限位槽18，升降台12的左右两侧均固定有限位杆19，限位槽18的内部固定有固定杆20，限位杆19的一端延伸至限位槽18的内部并固定有滑套21，固定杆20贯穿滑套21并与滑套21滑动连接，在本实施例中，通过限位槽18、限位杆19、固定杆20和滑套21的设置，能够对升降台12的运动轨迹进行限位，使其只能进行上下方向移动，增加压板14下压时的稳定性。
固定板5呈半圆弧型设置，固定板5相向一侧的表面均粘接有保护垫16，且保护垫16的材质为橡胶，在本实施例中，通过保护垫16的设置，防止固定板5与晶圆直接接触，对晶圆进行保护。
放置台4内壁的左右两侧均固定有导向环15，伸缩杆9贯穿导向环15并与导向环15的内壁滑动连接，在本实施例中，通过导向环15的设置，能够对伸缩杆9进行限位，使其只能进行左右方向水平移动，以达到固定板5对晶圆夹持固定的目的。
箱体1右侧的上方固定有控制面板17，且控制面板17与压力传感器3之间配合使用，在本实施例中，通过控制面板17的设置，能够将压力传感器3检测的数据进行显示，以便工作人员进行记录工作。
本实用新型的工作原理：当需要对晶圆的强度进行检测时，工作人员将待检测的晶圆放置在放置台4的顶部，并开启电动伸缩杆6，使得电动伸缩杆6的输出轴推动升降板7缓慢上升，使得活动杆8发生倾斜，两侧的伸缩杆9随之向放置台4的内部收缩，使得两侧的固定板5相向移动，对放置台4上的晶圆进行夹持固定，固定完成后工作人员将电机111打开，使得电机111的输出轴带动螺纹杆112旋转，下方的套管113随之进行上下方向移动，控制电机111输出轴的旋转方向，使得升降台12向下方移动，使得压板14对下方的晶圆进行挤压，放置台4下方的压力传感器3随之对压力值进行检测，当晶圆出现断裂时，压力传感器3将产生断裂时的数据在控制面板17上显示，工作人员即可对数据进行记录，随后电动伸缩杆6的输出轴回到原位，固定板5向两侧移动，工作人员将断裂的晶圆取出，即可对另一批次的晶圆进行检测工作。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (6)
1.一种晶圆测试机，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内壁的底部固定有底座(2)，所述底座(2)的顶部固定有压力传感器(3)，所述压力传感器(3)的顶部固定有放置台(4)，所述放置台(4)顶部的左右两侧均设置有固定板(5)，且固定板(5)与放置台(4)之间滑动连接，所述放置台(4)内壁的底部固定有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)输出轴的顶端固定有升降板(7)，所述升降板(7)的左右两侧均铰接有活动杆(8)，所述活动杆(8)的另一端铰接有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的一端贯穿至放置台(4)的外部并与放置台(4)之间滑动连接，所述固定板(5)的一侧固定有推板(10)，且推板(10)呈L型设置，所述推板(10)的一侧与伸缩杆(9)固定，所述箱体(1)的上方设置有驱动结构(11)，所述箱体(1)内部的上方设置有升降台(12)，所述升降台(12)的底部固定有推杆(13)，所述推杆(13)的底端固定有压板(14)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机，其特征在于，所述驱动结构(11)包括电机(111)、螺纹杆(112)和套管(113)，所述电机(111)固定在箱体(1)的顶部，且电机(111)输出轴的底端贯穿至箱体(1)的内部，所述螺纹杆(112)固定安装在电机(111)输出轴的底端，所述套管(113)套设在螺纹杆(112)的下方，且套管(113)与螺纹杆(112)之间螺纹连接，所述套管(113)的底端与升降台(12)之间固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机，其特征在于，所述箱体(1)内壁的左右两侧均开设有限位槽(18)，所述升降台(12)的左右两侧均固定有限位杆(19)，所述限位槽(18)的内部固定有固定杆(20)，所述限位杆(19)的一端延伸至限位槽(18)的内部并固定有滑套(21)，所述固定杆(20)贯穿滑套(21)并与滑套(21)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机，其特征在于，所述固定板(5)呈半圆弧型设置，所述固定板(5)相向一侧的表面均粘接有保护垫(16)，且保护垫(16)的材质为橡胶。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机，其特征在于，所述放置台(4)内壁的左右两侧均固定有导向环(15)，所述伸缩杆(9)贯穿导向环(15)并与导向环(15)的内壁滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机，其特征在于，所述箱体(1)右侧的上方固定有控制面板(17)，且控制面板(17)与压力传感器(3)之间配合使用。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN115472516A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-12-13 | 江苏卓玉智能科技有限公司 | 一种晶圆检查机 |
| CN116148235A (zh) * | 2023-04-18 | 2023-05-23 | 中国科学技术大学 | 一种固态电池转移和原位同步辐射吸收谱测试装置 |
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2021
- 2021-09-22 CN CN202122300767.4U patent/CN215680651U/zh active Active
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| CN115472516B (zh) * | 2022-08-09 | 2024-04-05 | 江苏卓玉智能科技有限公司 | 一种晶圆检查机 |
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| CN116148235B (zh) * | 2023-04-18 | 2023-08-29 | 中国科学技术大学 | 一种固态电池转移和原位同步辐射吸收谱测试装置 |
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Denomination of utility model: A wafer testing machine Effective date of registration: 20231022 Granted publication date: 20220128 Pledgee: China Merchants Bank Co.,Ltd. Jiaxing Branch Pledgor: Zhejiang Xinhui Equipment Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2023330002404 |
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