CN213977959U - 一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，涉及半导体太阳能扩散设备领域，本实用新型包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管，石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门，所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口，石英炉管内设置有与排气口配合的尾气管，所述的进气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾的进气管组件，排气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾及尾气管外壁的防腐蚀出气管组件；本实用新型具有结构简单，用以解决偏磷酸沉积，长期腐蚀石英炉管问题，降低了人工劳动强度。

Description

一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉

技术领域

本实用新型涉及半导体太阳能扩散设备技术领域，更具体的是涉及带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉的技术领域。

背景技术

目前，全球的半导体技术和太阳能生产线得到了爆发式的发展，太阳能电池发电是太阳能发电的主流。在半导体太阳能电池产品制造过程当中，会使用到一种高温扩散炉，用于半导体电池片参杂，形成 P-N结，利用光生伏达效应进行光电转换，达到发电目的。一般而言，太阳能领域当中，扩散炉由炉体、石英炉管、进气管、Profile-TC、和排气管组成以及其他电气和机械结构组成，当在高温闭管环境下，通入三氯氧磷和氧气反应后，会产生偏磷酸衍生物，石英炉管内偏磷酸在气路排废系统抽气抽出至外界，在抽出过程当中，伴随着温度下降，当温度将至一定条件下会凝结，凝结下来的偏磷酸会沉积在石英炉管尾部内管壁和尾气管外壁上，由于偏磷酸接触石英器件会造成石英器件腐蚀，导致石英管和尾气管腐蚀断裂和穿孔漏气，一旦石英器件损坏，则会造成产品不良，必须更换石英器件，造成设备宕机，特别是更换石英炉管，会降温12小时，导致大量产能损失和石英器材维修更换费用。

目前，在高温闭管环境下，通入三氯氧磷和氧气反应后，会产生偏磷酸，石英炉管内偏磷酸在气路排废系统抽气抽出至外界一定温度下会凝结，沉积在石英炉管尾部管壁和尾气管壁上，由于偏磷酸会对石英器件有腐蚀效果，高温条件下长时间接触石英器件会造成石英器件腐蚀，导致石英管和尾气管腐蚀断裂和穿孔漏气，一旦石英器件损坏，则会造成产品不良，必须更换石英器件，造成设备宕机，导致产能损失和石英器材维修更换费用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有半导体和太阳能领域参杂设备中，反应物或者反应产生的二次以及多次衍生化学物质对石英器件的腐蚀的技术问题，本实用新型提供一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管，石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门，所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口，石英炉管内设置有与排气口配合的尾气管，所述的进气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾的进气管组件，排气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾及尾气管外壁的防腐蚀出气管组件。

进一步地，所述进气管组件包括套设在进气口末端的三通接头，在进气口外壁与三通接头内壁通过密封环A密封，进气管组件还包括依次穿过三通接头和进气口进入石英炉管内的进气管，位于三通接头内的进气管上设置有一圈凸环，凸环与三通接头内壁之间设置有密封环B，所述三通接头的第三个接头与密封环A和密封环B之间的三通接头内部空间连通，进气口的开口处与密封环A和密封环B之间空间连通，位于进气口内且靠近石英炉管的进气管上设置有一圈环状凸台，环状凸台与进气口之间存在间隙，环状凸台与进气口之间的间隙构成溢流口。

进一步地，所述密封环A和密封环B之间的三通接头内部空间与进气口的开口处到环状凸台之间的进气口内部空间构成不闭合腔室。

进一步地，所述进气管组件与防腐蚀出气管组件结构相同。

本实用新型的有益效果如下：

1、本方案结构简单，用以解决偏磷酸沉积，长期腐蚀石英炉管问题，减少设备故障，降低因石英管腐蚀问题导致的产品品质问题和良率问题，提高设备利用率和减少技术人员的工作量本实用新型结构简单，减少石英管腐蚀问题带来的产品品质问题，降低隔离率,本专利进/出气口可以互换，以匹配前通源和后通源两种不同的通源方式。

2、进气管组件和防腐蚀出气管组件，均含有一个三通接头，利用原有的石英炉管、密封圈配合安装，安装完成之后，进气管与石英炉管圆形尾管部位形成一个环形不闭合腔室；同时不闭合腔室与炉管内部相通，从三通接头处对该腔室通入一定量的氮气，利用氮气对该腔室部位进行填充保护，并通过溢流口往石英炉管内溢流，溢流气体不参与参杂化学反应，避免了偏磷酸气体进入该不闭合腔室部位沉积造成腐蚀石英管。

3、减少石英器件腐蚀带来的石英管维修成本，减少更换石英炉管带来的停机时间，提高车间单线产出率和产量；减少石英器件腐蚀，降低备件成本；降低设备技术人员的工作量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1无加热炉的结构示意图；

图3是图2中标识出不闭合腔室的结构示意图；

图4是图1的局部结构示意图；

图5是图4标识出不闭合腔室的结构示意图；

附图标记：1-石英炉管，2-炉门，3-加热炉，4-排气口，5-防腐蚀出气管组件，6-进气管组件，6-1- 第三个接头，6-2-三通接头，6-3-进气管，6-4-凸环，6-5-密封环B，6-6-密封环A，6-7-环状凸台，7- 进气口，8-尾气管。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施方式的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

如图1到5所示，本实施例提供一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，包括加热炉3和设置在加热炉3内的石英炉管1，石英炉管1一侧延伸出加热炉3设置有炉门2，所述石英炉管1另一侧设置有延伸出加热炉3进气口7和排气口4，石英炉管1内设置有与排气口4配合的尾气管8，其特征在于，所述的进气口7处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管1管尾的进气管组件6，排气口4处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管1管尾及尾气管8外壁的防腐蚀出气管组件5。

所述进气管组件6包括套设在进气口7末端的三通接头6-2，在进气口7外壁与三通接头6-2内壁通过密封环A6-6密封，进气管组件6还包括依次穿过三通接头6-2和进气口7进入石英炉管1内的进气管 6-3，位于三通接头6-2内的进气管6-3上设置有一圈凸环6-4，凸环6-4与三通接头6-2内壁之间设置有密封环B6-5，所述三通接头6-2的第三个接头6-1与密封环A6-6和密封环B6-5之间的三通接头6-2 内部空间连通，进气口7的开口处与密封环A6-6和密封环B6-5之间空间连通，位于进气口7内且靠近石英炉管1的进气管6-3上设置有一圈环状凸台6-7，环状凸台6-7与进气口7之间存在间隙，环状凸台 6-7与进气口7之间的间隙构成溢流口。

排气管和进气管以及尾气管都由特定的结构，该结构可以是方形，也可以是锥形，石英炉管尾管可以修改为喇叭口状，配合锥形进气管或者排气管形成同类或者达到相似效果结构都在本专利保护范围内。

石英炉管和三通接头以及密封圈组成不闭合腔室，并从三通接头处通入一定量的气体，该气体不一定是氮气，可以是不参与反应的其他气体同样在上述方案的保护范围内。

所述密封环A6-6和密封环B6-5之间的三通接头6-2内部空间与进气口7的开口处到环状凸台6-7 之间的进气口7内部空间构成不闭合腔室。

所述进气管组件6与防腐蚀出气管组件5结构相同。

本实施例中，进气管组件和防腐蚀出气管组件，均含有一个三通接头，利用原有的石英炉管、密封圈配合安装，安装完成之后，进气管与石英炉管圆形尾管部位形成一个环形不闭合腔室；同时不闭合腔室与炉管内部相通，从三通接头处对该腔室通入一定量的氮气，利用氮气对该腔室部位进行填充保护，并通过溢流口往石英炉管内溢流，溢流气体不参与参杂化学反应，避免了偏磷酸气体进入该不闭合腔室部位沉积造成腐蚀石英管；排气管采用相同的方法进行安装以解决偏磷酸沉积腐蚀问题。

Claims (4)

1.一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，包括加热炉(3)和设置在加热炉(3)内的石英炉管(1)，石英炉管(1)一侧延伸出加热炉(3)设置有炉门(2)，所述石英炉管(1)另一侧设置有延伸出加热炉(3)进气口(7)和排气口(4)，石英炉管(1)内设置有与排气口(4)配合的尾气管(8)，其特征在于，所述的进气口(7)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾的进气管组件(6)，排气口(4)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾及尾气管(8)外壁的防腐蚀出气管组件(5)。

2.根据权利要求1所述的一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，其特征在于，所述进气管组件(6)包括套设在进气口(7)末端的三通接头(6-2)，在进气口(7)外壁与三通接头(6-2)内壁通过密封环A(6-6)密封，进气管组件(6)还包括依次穿过三通接头(6-2)和进气口(7)进入石英炉管(1)内的进气管(6-3)，位于三通接头(6-2)内的进气管(6-3)上设置有一圈凸环(6-4)，凸环(6-4)与三通接头(6-2)内壁之间设置有密封环B(6-5)，所述三通接头(6-2)的第三个接头(6-1)与密封环A(6-6)和密封环B(6-5)之间的三通接头(6-2)内部空间连通，进气口(7)的开口处与密封环A(6-6)和密封环B(6-5)之间空间连通，位于进气口(7)内且靠近石英炉管(1)的进气管(6-3)上设置有一圈环状凸台(6-7)，环状凸台(6-7)与进气口(7)之间存在间隙，环状凸台(6-7)与进气口(7)之间的间隙构成溢流口。

3.根据权利要求2所述的一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，其特征在于，所述密封环A(6-6)和密封环B(6-5)之间的三通接头(6-2)内部空间与进气口(7)的开口处到环状凸台(6-7)之间的进气口(7)内部空间构成不闭合腔室。

4.根据权利要求1所述的一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，其特征在于，所述进气管组件(6)与防腐蚀出气管组件(5)结构相同。

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