CN213900742U - 压差控制器及运气装置 - Google Patents

Abstract

公开了一种压差控制器及运气装置，涉及气压控制技术领域，用于目标管道的气压控制，包括连接目标管道内外的密封气管，该密封气管包括通气端和泄放端，泄放端设置有密闭塞，在通气端与该密闭塞之间设置有弹性连接件，该弹性连接件与转盘连接，密封气管内设置压力传感器，压力显示器与压力传感器连接，与转盘一起设置在外，通过转盘控制弹性连接件的弹力，通过压力显示器观测压差控制器的开塞临界气压，进而实现目标管道的气压控制，整体结构简单，控制有效。

Description

压差控制器及运气装置

技术领域

本实用新型涉及气压控制技术领域，特别涉及一种压差控制器及运气装置。

背景技术

运用管道等连通器与气泵连接，根据气泵的导气动作的出气动作和吸气动作可进行对物品的吹气和吸气，其应用例如：在抓取装置中利用吸气动作和吸盘实现对物品的抓取；在吹灰器中利用出气动作及相应的喷头实现对物体的吹灰动作等。

其中，在抓取装置的应用中，如果抓取对象为薄片，例如半导体的晶圆，其吸力过大容易导致晶圆的破片，吸力过小时又会导致抓取不紧，发生掉片，掉落撞击进而破片。在实际的工作操作中，吸气的气压由机台预先设定好，以精确控制吸气的气压，但设备在工作中难免会出现功率的波动，进而出现实际提供的气压的波动，使吸力过大或过小，导致晶圆破片，因此需要一种压差控制器，以有效控制设备提供的气压的稳定性。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种压差控制器及运气装置，从而有效控制目标管道的气压的稳定性，保障相应运气装置的可靠性。

根据本实用新型的一方面，提供一种压差控制器，用于目标管道的气压控制，其特征在于，包括：

密封气管，包括通气端和泄放端，所述密封气管的两端之间连通所述目标管道内外；

密闭塞，设置在所述密封气管的泄放端；

弹性连接件，连接所述密封气管的通气端与所述密闭塞，

其中，所述密封气管的内壁上还设置有压力传感器，所述密封气管的通气端和所述密闭塞中的一个包括与所述弹性连接件连接的转盘以及与所述压力传感器连接的压力显示器。

可选地，所述弹性连接件包括：

第一弹簧，所述第一弹簧的第一端与所述密封气管的通气端连接；

软质丝线，通过丝线链接导轨链接所述第一弹簧和所述转盘。

可选地，还包括：

固定轴，与所述密封气管的通气端固定连接，套设在所述第一弹簧内。

可选地，还包括：

活动嵌扣，包括与所述密封气管固定连接的固定端和与所述密闭塞固定连接的活动端。

可选地，还包括：

蜂鸣器，设置在所述密封气管的泄放端。

可选地，所述压差控制器为正压差控制器，所述转盘和所述压力显示器设置在所述密闭塞上，所述压差控制器的通气端连入所述目标管道。

可选地，所述压差控制器为负压差控制器，所述转盘和所述压力显示器设置在所述密封气管的通气端，所述压差控制器的泄放端连入所述目标管道。

可选地，所述转盘上包括辅助刻度。

可选地，还包括：

气密封橡胶环，设置在所述密闭塞的外围。

根据本实用新型的另一方面，提供一种运气装置，所述运气包括出气和吸气，其特征在于，包括：

气泵，包括导气端；

输气管道，包括连接至所述气泵的导气端的输入端和输出端，所述输气管道的输出端为出气端或吸气端；

至少一个本实用新型提供的压差控制器，连接在所述输气管道上，连接所述输气管道内外。

本实用新型提供的压差控制器，用于目标管道的气压控制，包括连接目标管道内外的密封气管，该密封气管包括通气端和泄放端，泄放端设置有密闭塞，在通气端与该密闭塞之间设置有弹性连接件，该弹性连接件与转盘连接，密封气管内设置压力传感器，压力显示器与压力传感器连接，与转盘一起设置在外，通过转盘控制弹性连接件的弹力，通过压力显示器观测压差控制器的开塞临界气压，进而实现目标管道的气压控制，整体结构简单，控制有效。

本实用新型的运气装置包括连接在气泵的导气端的输气管道，用于吹气动作的出气或吸取动作的吸气，还包括至少一个本实用新型提供的压差控制器，可以保障输气管道内的气压的稳定性，保障吹气的风力或吸气的吸力的稳定性，可防止该运气装置用于脆弱物体的操作时由于提供的风力或吸力不稳定而导致物体损伤。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出了根据本实用新型实施例的一种压差控制器的结构示意图；

图2示出了根据本实用新型实施例的第一种运气装置的部分结构示意图；

图3示出了根据本实用新型实施例的另一种压差控制器的结构示意图；

图4示出了根据本实用新型实施例的第二种运气装置的部分结构示意图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型的各种实施例。在各个附图中，相同的元件采用相同或类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。

图1示出了根据本实用新型实施例的一种压差控制器的结构示意图。

如图1所示，本实用新型实施例的压差控制器100是正压差控制器，包括密封气管110，该密封气管110的第一端111为通气端，第二端112 为泄放端，通过控制泄放端的开合控制该密封气管110第一端111和第二端112连通的两个空间的导通和隔离，进而控制气压的平衡。

正压差控制器100的第一端111固定设置有固定轴120，固定轴120 套设在第一弹簧131内，以维持第一弹簧131延伸方向与密封气管110 的延伸方向平行。

弹性连接件130主要包括第一弹簧131和软质丝线132，第一弹簧 131的第一端固定连接至密封气管110的第一端111，第二端连接软质丝线132，软质丝线132通过丝线链接导轨133连接至密闭塞170，通过丝线链接导轨133调节软质丝线132链接至第一弹簧131的有效长度，进而可调节第一弹簧131对密闭塞170的弹性拉力，调节密闭塞170开塞所要求的临界压差，以控制由正压差控制器100连接的目标管道内的气压。

密封气管110内还设置有压力传感器140，该压力传感器140设置在密封气管110的内壁，且靠近第二端112，以主要感应第二端112对应的泄放端的气压，该处的气压变化快，对通过第一端111对应的通气端连通的目标管道内的气压变化感应效果更好。

密闭塞170上设置有气压显示器173，与压力传感器140连接，显示当前的目标管道内的气压，可在调节密闭塞170开塞的临界气压值的时候可直观地了解到临界值。其中，该密闭塞170上还设置有转盘，该转盘链接弹性连接件130的软质丝线132，可调节弹性连接件130的弹性力，进而调节开塞临界值。

其中，该转盘上还设置有辅助刻度，以便对应不同设备的不同吸力要求，可快速调节至目标范围后再进行精确调节，提高调节速度。其中，由于室温变化不大，如此调节的变量变化不大，以辅助刻度作为调节参考具有可行性。

密闭塞170为气密性密闭塞，其外围还设置有气密封用的橡胶环172，保障密闭塞170闭塞时的气密封性，保障目标管道的气密性，保障目标管道内的气压。

蜂鸣器150设置在密封气管110的第二端112对应的泄放端，在泄放端的密闭塞170开塞放气时发出响声，提示当前的处于气压适应性调节状态。或者在密闭塞170在闭塞状态发生漏气时发出响声，指示密封性不合格，以便工作人员对该正压差控制器100进行调整。

活动嵌扣160包括固定端和活动端，固定端与密封气管110固定连接，活动端与密闭塞170固定连接，以控制密闭塞170与密封气管110 的截面平行，保障密闭塞170的边缘与密封气管110的内壁充分接触，保障两者接触出的气密封性。

图2示出了根据本实用新型实施例的第一种运气装置的部分结构示意图。

如图2所示，本实用新型实施例的第一种运气装置200为正压的出气装置，其输气管道201内的气压压强大于管道外的压强，正压差控制器100的第一端111连入输气管道201内，第二端112设置在输气管道 201外，在管内气压大于临界值时，密闭塞170被输气管道201内的气压推出，处于开塞状态，输气管道201内的气体通过开塞的正压控制器 100的第二端112释放，使输气管道201内的气压降低，直至降低至预设的临界值，密闭塞170受正压差控制器100内部的弹性连接件拉回成闭塞状态，使输气管道201内的气压稳定在预设的临界值。

图3示出了根据本实用新型实施例的另一种压差控制器的结构示意图。

如图3所示，本实用新型实施例的压差控制器300是负压差控制器，包括密封气管310，该密封气管310的第一端311为通气端，第二端312 为泄放端，通过控制泄放端的开合控制该密封气管310第一端311和第二端312连通的两个空间的导通和隔离，进而控制气压的平衡。

负压差控制器300的第一端311固定设置有固定轴320，固定轴320 套设在第一弹簧331内，以维持第一弹簧331延伸方向与密封气管310 的延伸方向平行。

弹性连接件330主要包括第一弹簧331和软质丝线332，第一弹簧 331的第一端固定连接至密封气管310的第一端311，第二端连接软质丝线332，软质丝线332通过丝线链接导轨333连接至密闭塞370，通过丝线链接导轨333调节软质丝线332链接至第一弹簧331的有效长度，进而可调节第一弹簧331对密闭塞370的弹性拉力，调节密闭塞370开塞所要求的临界压差，以控制由负压差控制器300连接的目标管道内的气压。

密封气管310内还设置有压力传感器340，该压力传感器340设置在密封气管310的内壁，且靠近第二端312，以主要感应第二端312对应的泄放端的气压，该处的气压变化快，对通过第一端311对应的通气端连通的目标管道内的气压变化感应效果更好。

密封气管310的第一端311上设置有气压显示器380，与压力传感器340连接，显示当前的目标管道内的气压，可在调节密闭塞370开塞的临界气压值的时候可直观地了解到临界值。其中，该气压显示器380 设置在该一端311设置的转盘上，通过转动该转盘可调节弹性连接件330 的弹性拉力，调节开塞临界值。

其中，该转盘上还设置有辅助刻度，以便对应不同设备的不同吸力要求，可快速调节至目标范围后再进行精确调节，提高调节速度。其中，由于室温变化不大，如此调节的变量变化不大，以辅助刻度作为调节参考具有可行性。

密闭塞370为气密性密闭塞，其外围还设置有气密封用的橡胶环372，保障密闭塞370闭塞时的气密封性，保障目标管道的气密性，保障目标管道内的气压。

蜂鸣器350设置在密封气管310的第二端312对应的泄放端，在泄放端的密闭塞370开塞放气时发出响声，提示当前的处于气压适应性调节状态。或者在密闭塞370在闭塞状态发生漏气时发出响声，指示密封性不合格，以便工作人员对该负压差控制器300进行调整。

活动嵌扣360包括固定端和活动端，固定端与密封气管310固定连接，活动端与密闭塞370固定连接，以控制密闭塞370与密封气管310 的截面平行，保障密闭塞370的边缘与密封气管310的内壁充分接触，保障两者接触出的气密封性。

图4示出了根据本实用新型实施例的第二种运气装置的部分结构示意图。

如图4所示，本实用新型实施例的第二种运气装置400为负压的吸气装置，其输气管道401内的气压压强小于管道外的压强，负压差控制器300的第二端312连入输气管道401内，第一端311设置在输气管道 401外，在管内气压小于临界值时，密闭塞370被输气管道401内的气压推出，处于开塞状态，输气管道401内的气体通过开塞的负压控制器 300的第二端312与外界连通，使输气管道401内的气压提升，直至提升至预设的临界值，密闭塞370受负压差控制器300内部的弹性连接件拉回成闭塞状态，使输气管道401内的气压稳定在预设的临界值。

其中，还可以在一个运气装置的一个输气管道中同时设置正压差控制器100和负压差控制器300，例如将第一种运气装置200和第二种运气装置400的输气管道201和输气管道401串联，且输气管道201和输气管道401的尺寸不同，以构造出同一输气路径上的管道的不同部分的不同的管内气压，以与同一个管外气压标准形成相反的管内外气压差，以便正压差控制器100和负压差控制器300均能正常工作。

依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种压差控制器，用于目标管道的气压控制，其特征在于，包括：

密封气管，包括通气端和泄放端，所述密封气管的两端之间连通所述目标管道内外；

密闭塞，设置在所述密封气管的泄放端；

弹性连接件，连接所述密封气管的通气端与所述密闭塞，

其中，所述密封气管的内壁上还设置有压力传感器，所述密封气管的通气端和所述密闭塞中的一个包括与所述弹性连接件连接的转盘以及与所述压力传感器连接的压力显示器。

2.根据权利要求1所述的压差控制器，其特征在于，所述弹性连接件包括：

第一弹簧，所述第一弹簧的第一端与所述密封气管的通气端连接；

软质丝线，通过丝线链接导轨链接所述第一弹簧和所述转盘。

3.根据权利要求2所述的压差控制器，其特征在于，还包括：

固定轴，与所述密封气管的通气端固定连接，套设在所述第一弹簧内。

4.根据权利要求1所述的压差控制器，其特征在于，还包括：

活动嵌扣，包括与所述密封气管固定连接的固定端和与所述密闭塞固定连接的活动端。

5.根据权利要求1所述的压差控制器，其特征在于，还包括：

蜂鸣器，设置在所述密封气管的泄放端。

6.根据权利要求1所述的压差控制器，其特征在于，

所述压差控制器为正压差控制器，所述转盘和所述压力显示器设置在所述密闭塞上，所述压差控制器的通气端连入所述目标管道。

7.根据权利要求1所述的压差控制器，其特征在于，

所述压差控制器为负压差控制器，所述转盘和所述压力显示器设置在所述密封气管的通气端，所述压差控制器的泄放端连入所述目标管道。

8.根据权利要求1所述的压差控制器，其特征在于，

所述转盘上包括辅助刻度。

9.根据权利要求1所述的压差控制器，其特征在于，还包括：

气密封橡胶环，设置在所述密闭塞的外围。

10.一种运气装置，所述运气包括出气和吸气，其特征在于，包括：

气泵，包括导气端；

输气管道，包括连接至所述气泵的导气端的输入端和输出端，所述输气管道的输出端为出气端或吸气端；

至少一个根据权利要求1至9任一项所述的压差控制器，连接在所述输气管道上，连接所述输气管道内外。

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