CN213855467U - 一种自动检测薄膜厚度的匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，涉及匀胶机技术领域。包括底座、匀胶机本体、升降机构和测厚仪，所述底座上表面固定安装有匀胶机本体，所述底座的上表面滑动连接有升降机构，所述升降机构的内侧滑动连接有测厚仪，所述测厚仪位于匀胶机本体的上方。通过设置升降机构，利用电机通过两个丝杆带动螺母座进行相向运动，促使两个连接杆带动测厚仪本体逐渐靠近位于匀胶机本体上的胶体薄膜，使得测厚仪可近距离的对胶体薄膜进行检测，相较于现有的人工检测的方式而言，本方案通过采用机械化检测，使得检测的精度以及准度均显著提高，使得该匀胶机具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题。

Description

一种自动检测薄膜厚度的匀胶机

技术领域

本实用新型涉及匀胶机技术领域，具体为一种自动检测薄膜厚度的匀胶机。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，主要应用领域为半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺，现在实验室用匀胶机的工作参数主要是匀胶速率、匀胶时间等，其匀胶速率主要目的是控制薄膜的均匀程度，匀胶时间主要目的是控制薄膜的厚度，但实验表明，薄膜的厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

现有技术中，常规的薄膜厚度检测方式大多采用检测人员将薄膜取下然后手动进行检测，但是这种方式费时费力，并且在转运过程中容易使得薄膜受到一定损坏。

实用新型内容

本实用新型提供了一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题。

为实现自动检测的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，包括底座、匀胶机本体、升降机构和测厚仪，所述底座上表面固定安装有匀胶机本体，所述底座的上表面滑动连接有升降机构，所述升降机构的内侧滑动连接有测厚仪，所述测厚仪位于匀胶机本体的上方；

所述升降机构包括支架，所述支架的内部开设有驱动腔，所述驱动腔的内壁固定安装有电机，所述电机的输出轴固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆的另一端固定连接有第二丝杆，所述第二丝杆的另一端与驱动腔的内壁转动连接，所述第一丝杆和第二丝杆的外侧均螺纹连接有螺母座，所述螺母座的底端铰接有连接杆，两个连接杆的底端均与测厚仪的顶部铰接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一丝杆和第二丝杆的螺纹走向相反，两个所述螺母座的运动方向相反。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架的内侧开设有两个滑槽，所述测厚仪的两侧均固定连接有滑轮，所述滑轮的另一端延伸至滑槽的内部并与滑槽的内壁滑动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述测厚仪的顶部固定安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶端与支架内侧的顶部搭接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座的上表面固定连接有滑杆，所述支架与滑杆滑动连接，所述支架的底端固定连接有定位弹簧杆，所述底座的表面开设有定位槽，所述定位弹簧杆的底端延伸至定位槽的内部。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，具备以下有益效果：

1、该自动检测薄膜厚度的匀胶机，通过设置升降机构，利用电机通过两个丝杆带动螺母座进行相向运动，促使两个连接杆带动测厚仪本体逐渐靠近位于匀胶机本体上的胶体薄膜，使得测厚仪可近距离的对胶体薄膜进行检测，相较于现有的人工检测的方式而言，本方案通过采用机械化检测，使得检测的精度以及准度均显著提高，使得该匀胶机具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题。

2、该自动检测薄膜厚度的匀胶机，通过设置滑杆、定位弹簧杆和定位槽，通过拉动位于滑杆外侧的升降机构，使得升降机构可远离匀胶机本体上方，从而方便了工作人员拿取位于匀胶机本体上的胶体薄膜，从而方便了工作人员对匀胶机本体进行操作，从而提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的结构正剖图；

图3为本实用新型的结构侧剖图。

图中：1、底座；2、匀胶机本体；3、升降机构；4、测厚仪；5、支架；6、驱动腔；7、电机；8、第一丝杆；9、第二丝杆；10、螺母座；11、连接杆；12、滑轮；13、滑槽；14、缓冲弹簧；15、滑杆；16、定位槽；17、定位弹簧杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型公开了一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，包括底座1、匀胶机本体2、升降机构3和测厚仪4，测厚仪4为现有技术下的常规手段，所述底座1上表面固定安装有匀胶机本体2，所述底座1的上表面滑动连接有升降机构3，所述升降机构3的内侧滑动连接有测厚仪4，所述测厚仪4位于匀胶机本体2的上方；

所述升降机构3包括支架5，所述支架5的内部开设有驱动腔6，所述驱动腔6的内壁固定安装有电机7，所述电机7的输出轴固定连接有第一丝杆8，所述第一丝杆8的另一端固定连接有第二丝杆9，所述第一丝杆8和第二丝杆9的螺纹走向相反，两个所述螺母座10的运动方向相反，所述第二丝杆9的另一端与驱动腔6的内壁转动连接，所述第一丝杆8和第二丝杆9的外侧均螺纹连接有螺母座10，所述螺母座10的底端铰接有连接杆11，两个连接杆11的底端均与测厚仪4的顶部铰接。

通过设置升降机构3，利用电机7通过两个丝杆带动螺母座10进行相向运动，促使两个连接杆11带动测厚仪4本体逐渐靠近位于匀胶机本体2上的胶体薄膜，使得测厚仪4可近距离的对胶体薄膜进行检测，相较于现有的人工检测的方式而言，本方案通过采用机械化检测，使得检测的精度以及准度均显著提高，使得该匀胶机具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题

具体的，所述支架5的内侧开设有两个滑槽13，所述测厚仪4的两侧均固定连接有滑轮12，所述滑轮12的另一端延伸至滑槽13的内部并与滑槽13的内壁滑动连接。

本实施方案中，利用滑轮12跟随测厚仪4一同进行滑动，从而提高了测厚仪4的移动稳定性。

具体的，所述测厚仪4的顶部固定安装有缓冲弹簧14，所述缓冲弹簧14的顶端与支架5内侧的顶部搭接。

本实施方案中，利用缓冲弹簧14可对测厚仪4和支架5之间得到了缓冲，从而避免了测厚仪4与支架5的硬性接触，达到了对测厚仪4进行保护的效果。

具体的，所述底座1的上表面固定连接有滑杆15，所述支架5与滑杆15滑动连接，所述支架5的底端固定连接有定位弹簧杆17，所述底座1的表面开设有定位槽16，所述定位弹簧杆17的底端延伸至定位槽16的内部。

本实施方案中，通过设置滑杆15、定位弹簧杆17和定位槽16，通过拉动位于滑杆15外侧的升降机构3，使得升降机构3可远离匀胶机本体2上方，从而方便了工作人员拿取位于匀胶机本体2上的胶体薄膜，从而方便了工作人员对匀胶机本体2进行操作，从而提高了工作效率。

本实用新型的工作原理及使用流程：在使用时，先将交替放置在匀胶机本体2上，而后先前拉动升降机构3，使得升降机构3带动测厚仪4逐渐位移至匀胶机本体2的上方，而后启动匀胶机，使得匀胶机对胶体进行加工，在完成加工后，启动升降机构3，使得电机7带动第一丝杆8和第二丝杆9进行转动，因第一丝杆8和第二丝杆9的螺纹走向相同，使得两个螺母座10的运动方向方向相同，促使两个连接杆11的转动方向相对，使得两个连接杆11带动测厚仪4逐渐下降并靠近位于匀胶机本体2上的胶体薄膜，使得测厚仪4可近距离的对胶体薄膜进行检测；在完成检测后，向后拉动升降机构3，使得升降机构3可远离匀胶机本体2上方，从而方便了工作人员拿取位于匀胶机本体2上的胶体薄膜。

综上所述，该自动检测薄膜厚度的匀胶机，通过设置升降机构3，利用电机7通过两个丝杆带动螺母座10进行相向运动，促使两个连接杆11带动测厚仪4本体逐渐靠近位于匀胶机本体2上的胶体薄膜，使得测厚仪4可近距离的对胶体薄膜进行检测，相较于现有的人工检测的方式而言，本方案通过采用机械化检测，使得检测的精度以及准度均显著提高，使得该匀胶机具备自动检测的优点，以解决手动检测的问题；通过设置滑杆15、定位弹簧杆17和定位槽16，通过拉动位于滑杆15外侧的升降机构3，使得升降机构3可远离匀胶机本体2上方，从而方便了工作人员拿取位于匀胶机本体2上的胶体薄膜，从而方便了工作人员对匀胶机本体2进行操作，从而提高了工作效率。

需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，包括底座(1)、匀胶机本体(2)、升降机构(3)和测厚仪(4)，其特征在于：所述底座(1)上表面固定安装有匀胶机本体(2)，所述底座(1)的上表面滑动连接有升降机构(3)，所述升降机构(3)的内侧滑动连接有测厚仪(4)，所述测厚仪(4)位于匀胶机本体(2)的上方；

所述升降机构(3)包括支架(5)，所述支架(5)的内部开设有驱动腔(6)，所述驱动腔(6)的内壁固定安装有电机(7)，所述电机(7)的输出轴固定连接有第一丝杆(8)，所述第一丝杆(8)的另一端固定连接有第二丝杆(9)，所述第二丝杆(9)的另一端与驱动腔(6)的内壁转动连接，所述第一丝杆(8)和第二丝杆(9)的外侧均螺纹连接有螺母座(10)，所述螺母座(10)的底端铰接有连接杆(11)，两个连接杆(11)的底端均与测厚仪(4)的顶部铰接。

2.根据权利要求1所述的一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，其特征在于：所述第一丝杆(8)和第二丝杆(9)的螺纹走向相反，两个所述螺母座(10)的运动方向相反。

3.根据权利要求1所述的一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，其特征在于：所述支架(5)的内侧开设有两个滑槽(13)，所述测厚仪(4)的两侧均固定连接有滑轮(12)，所述滑轮(12)的另一端延伸至滑槽(13)的内部并与滑槽(13)的内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，其特征在于：所述测厚仪(4)的顶部固定安装有缓冲弹簧(14)，所述缓冲弹簧(14)的顶端与支架(5)内侧的顶部搭接。

5.根据权利要求1所述的一种自动检测薄膜厚度的匀胶机，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有滑杆(15)，所述支架(5)与滑杆(15)滑动连接，所述支架(5)的底端固定连接有定位弹簧杆(17)，所述底座(1)的表面开设有定位槽(16)，所述定位弹簧杆(17)的底端延伸至定位槽(16)的内部。

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