CN216792047U - 一种机台目检显微镜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种机台目检显微镜装置。所述机台目检显微镜装置包括：用于芯片加工流水线的输送设备、设置于所述输送设备一侧的放置台和设置于所述输送设备上方用于目检的显微镜；滑动机构，所述滑动机构固定于所述放置台的顶部，所述滑动机构包括固定板，所述固定板的顶部固定连接有两个侧向挡板，两个所述侧向挡板之间固定连接有梯形滑轨。本实用新型提供的机台目检显微镜装置采用显微镜替换原有的目检放大镜，目镜的倍数是现有的放大镜的倍，过滑动凹架在梯形滑轨上的水平滑动，以及手动向不同的方向转动螺纹杆，方便带动显微镜共同移动，对显微镜的位置进行调整，精度高，操作简单，方便使用。

Description

一种机台目检显微镜装置

技术领域

本实用新型涉及芯片监测技术领域，尤其涉及一种机台目检显微镜装置。

背景技术

在晶圆背面涂覆工艺中采用芯片粘结剂作为浆料，将其涂覆到晶圆背面之后再烘干，其优点是同干膜方法相比成本降低20-30％，可以控制键合层厚度并且得到更高的单位时间产。

在芯片经过涂胶后，为了避免涂胶后出现异常而未拦截到流入下一站，造成大范围的影响，需要对工作人员对涂胶后的芯片进行观察检测，通过上料后作业及自主检查时能快速目检涂胶后状况，减少爬胶、缺胶等异常扩大化。

在现有技术中，对经过涂胶芯片的目检可以通过POT1890机台上所携带的放大镜进行观察和检测，但是通过放大镜检测时，放大镜的放大倍数有限，且不方便对放大位置进行调整，使用时无法精准快速的对芯片进行目检。

因此，有必要提供一种机台目检显微镜装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种机台目检显微镜装置，解决了POT1890机台无法精准快速的对芯片进行目检的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的机台目检显微镜装置包括：用于芯片加工流水线的输送设备、设置于所述输送设备一侧的放置台和设置于所述输送设备上方用于目检的显微镜；

滑动机构，所述滑动机构固定于所述放置台的顶部，所述滑动机构包括固定板，所述固定板的顶部固定连接有两个侧向挡板，两个所述侧向挡板之间固定连接有梯形滑轨，所述梯形滑轨上固定连接有滑动凹架；

调节机构，所述调节机构固定于所述滑动凹架的顶部，所述调节机构包括连接块，所述连接块的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹连接有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆的外表面转动连接有转动环，所述转动环的一侧固定连接有限位杆，所述连接块的一侧开设有和所述限位杆配合使用的限位孔，所述转动环的一侧固定连接有连接架。

优选的，所述固定板固定于所述放置台的顶部，所述梯形滑轨的底部和所述固定板的顶部不接触。

优选的，所述梯形滑轨的一侧开设有滑动槽口，所述滑动凹架的一侧固定连接有限位轴，所述限位轴的一端固定连接有限位环。

优选的，所述连接块固定用于所述滑动凹架的顶部，所述限位杆的一端伸入所述限位孔的内部。

优选的，所述连接块的顶部固定连接有用于带动所述连接块共同移动的把手。

优选的，所述连接架上固定连接有升降机构，所述升降机构和所述显微镜固定连接用于带动所述显微镜共同移动。

优选的，还包括限位滑槽，所述限位滑槽开设于所述固定板的顶部，所述滑动凹架的底部转动连接有可以在所述限位滑槽中滑动的滑轮。

与相关技术相比较，本实用新型提供的机台目检显微镜装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种机台目检显微镜装置，采用显微镜替换原有的目检放大镜，目镜的倍数是现有的放大镜的倍，过滑动凹架在梯形滑轨上的水平滑动，以及手动向不同的方向转动螺纹杆，方便带动显微镜共同移动，对显微镜的位置进行调整，精度高，操作简单，方便使用。

附图说明

图1为本实用新型提供的机台目检显微镜装置第一实施例的结构示意图；

图2为图1所示的滑动组件侧视部分的结构示意图；

图3为图2所示梯形滑轨侧视部分的截面图；

图4为1所示连接块内部部分的结构示意图；

图5为本实用新型提供的机台目检显微镜装置第二实施例的结构示意图；

图6为图5所示固定板侧视部分的结构示意图。

图中标号：

1、输送设备，2、放置台，3、显微镜；

4、滑动机构，41、固定板，42、侧向挡板，43、梯形滑轨，44、滑动凹架；

5、调节机构，51、连接块，52、螺纹孔，53、调节螺杆，54、连接架， 55、转动环，56、限位杆，57、限位孔；

6、滑动槽口，7、限位轴，8、限位环；

9、把手，10、升降机构，11、限位滑槽，12、滑轮。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

第一实施例

请结合参阅图1、图2、图3、图4，其中，图1为本实用新型提供的机台目检显微镜装置第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的滑动组件侧视部分的结构示意图；图3为图2所示梯形滑轨侧视部分的截面图；图4为1所示连接块内部部分的结构示意图。机台目检显微镜装置包括：用于芯片加工流水线的输送设备1、设置于所述输送设备1一侧的放置台2和设置于所述输送设备1上方用于目检的显微镜3；

滑动机构4，所述滑动机构4固定于所述放置台2的顶部，所述滑动机构 4包括固定板41，所述固定板41的顶部固定连接有两个侧向挡板42，两个所述侧向挡板42之间固定连接有梯形滑轨43，所述梯形滑轨43上固定连接有滑动凹架44；

调节机构5，所述调节机构5固定于所述滑动凹架44的顶部，所述调节机构5包括连接块51，所述连接块51的一侧开设有螺纹孔52，所述螺纹孔 52上螺纹连接有调节螺纹杆53，所述调节螺纹杆53的外表面转动连接有转动环55，所述转动环55的一侧固定连接有限位杆56，所述连接块51的一侧开设有和所述限位杆56配合使用的限位孔57，所述转动环55的一侧固定连接有连接架54。

输送设备1用于芯片涂胶后的输送，工作人员再通过显微镜3活动进行观测，以确定芯片涂胶后的状态，减少爬胶、缺胶等异常扩大化。

所述固定板41固定于所述放置台2的顶部，所述梯形滑轨43的底部和所述固定板41的顶部不接触。

固定板41焊接固定在放置台2的顶部，梯形滑轨43和固定板41之间有缝隙方便滑动凹架44的活动。

所述梯形滑轨43的一侧开设有滑动槽口6，所述滑动凹架44的一侧固定连接有限位轴7，所述限位轴7的一端固定连接有限位环8。

当滑动凹架44在梯形滑轨43上滑动时，可以带动限位轴7在滑动槽口6 中滑动，保证滑动凹架44的水平滑动，且通过限位环8可以避免限位轴7脱离滑动槽口6，使得滑动凹架44不会脱离梯形滑轨43。

所述连接块51固定用于所述滑动凹架44的顶部，所述限位杆56的一端伸入所述限位孔57的内部。

通过限位杆56和限位孔57的配合使用，可以使得当螺纹杆53转动时不会带动转动环55转动，使得和转动环55连接的连接架54也不会发生转动。

所述连接块51的顶部固定连接有用于带动所述连接块51共同移动的把手 9。

通过把手9方便推动或者拉动连接块51。

所述连接架54上固定连接有升降机构10，所述升降机构10和所述显微镜3固定连接用于带动所述显微镜3共同移动。

升降机构10可以带动显微镜3上移，方便对显微镜3上下方向的距离进行调整。

升降机构10采用电动升降的设备，也可以采用手动控制的升降设备，只需要能满足带动显微镜3在上下方向移动即可。

本实用新型提供的机台目检显微镜装置的工作原理如下：

通过手动推动或者拉动把手9，把手9带动连接块51共同移动，连接块 51带动滑动凹架44共同移动，使得滑动凹架44在梯形滑轨43上水平滑动，并且滑动凹架44移动过程中会通过调节机构5和升降机构10带动显微镜3 共同移动；

当手动向不同的方向转动螺纹杆53时，螺纹杆53会水平滑动，并且螺纹杆53的一端带动连接架54共同移动，使得连接架54向不同的方向移动，连接架54移动时通过升降机构10带动显微镜3共同移动。

与相关技术相比较，本实用新型提供的机台目检显微镜装置具有如下有益效果：

采用显微镜3替换原有的目检放大镜，目镜的倍数是现有的放大镜的5 倍，过滑动凹架44在梯形滑轨43上的水平滑动，以及手动向不同的方向转动螺纹杆53，方便带动显微镜3共同移动，对显微镜3的位置进行调整，精度高，操作简单，方便使用。

第二实施例

请结合参阅图5和图6，基于本申请的第一实施例提供的一种基于机台目检显微镜装置，本申请的第二实施例提出另一种基于机台目检显微镜装置。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

具体的，本申请的第二实施例提供的基于机台目检显微镜装置的不同之处在于，基于机台目检显微镜装置还包括：

限位滑槽11，所述限位滑槽11开设于所述固定板41的顶部，所述滑动凹架44的底部转动连接有可以在所述限位滑槽11中滑动的滑轮12。

滑轮12共有两个，保证滑动凹架44的稳定性。

与相关技术相比较，本实用新型提供的机台目检显微镜装置具有如下有益效果：

当滑动凹架44在梯形滑轨43上滑动时，可以使得滑轮12带动限位滑槽 11中转动，避免滑动凹架44直接和固定板41接触，降低对滑动凹架44的磨损，使得滑动凹架44的滑动更加流畅。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种机台目检显微镜装置，其特征在于，包括：

用于芯片加工流水线的输送设备、设置于所述输送设备一侧的放置台和设置于所述输送设备上方用于目检的显微镜；

滑动机构，所述滑动机构固定于所述放置台的顶部，所述滑动机构包括固定板，所述固定板的顶部固定连接有两个侧向挡板，两个所述侧向挡板之间固定连接有梯形滑轨，所述梯形滑轨上固定连接有滑动凹架；

调节机构，所述调节机构固定于所述滑动凹架的顶部，所述调节机构包括连接块，所述连接块的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹连接有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆的外表面转动连接有转动环，所述转动环的一侧固定连接有限位杆，所述连接块的一侧开设有和所述限位杆配合使用的限位孔，所述转动环的一侧固定连接有连接架。

2.根据权利要求1所述的机台目检显微镜装置，其特征在于，所述固定板固定于所述放置台的顶部，所述梯形滑轨的底部和所述固定板的顶部不接触。

3.根据权利要求2所述的机台目检显微镜装置，其特征在于，所述梯形滑轨的一侧开设有滑动槽口，所述滑动凹架的一侧固定连接有限位轴，所述限位轴的一端固定连接有限位环。

4.根据权利要求1所述的机台目检显微镜装置，其特征在于，所述连接块固定用于所述滑动凹架的顶部，所述限位杆的一端伸入所述限位孔的内部。

5.根据权利要求4所述的机台目检显微镜装置，其特征在于，所述连接块的顶部固定连接有用于带动所述连接块共同移动的把手。

6.根据权利要求5所述的机台目检显微镜装置，其特征在于，所述连接架上固定连接有升降机构，所述升降机构和所述显微镜固定连接用于带动所述显微镜共同移动。

7.根据权利要求6所述的机台目检显微镜装置，其特征在于，还包括限位滑槽，所述限位滑槽开设于所述固定板的顶部，所述滑动凹架的底部转动连接有可以在所述限位滑槽中滑动的滑轮。

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