CN213795934U - 一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，所述自动停止装置包括支架、激光位移传感器和探测模块，所述支架包括呈倒置的L形，包括竖直段和水平段，所述水平段为伸缩杆结构并与竖直段转动连接，使得水平段能够在水平平面内转动且长度能够调整；所述激光位移传感器安装在支架水平段末端，激光竖直向下发射；所述探测模块与激光位移传感器电连接；所述支架安装在机台上，并使激光位移传感器位于抛光盘的上方，激光位移传感器监测抛光盘位移量，探测模块根据位移量控制抛光机的停止。本实用新型能够自动监测是否出现跑片，当出现跑片时及时停止机台的运行，避免了机台设备的进一步损伤。

Description

一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石双面抛光加工技术领域，特别是涉及一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机。

背景技术

随着蓝宝石的应用越来越广泛，针对蓝宝石的各种加工方法的研究成为了热点，尤其是在蓝宝石的研磨和高精密的抛光方面开展了大量的研究，化学机械抛光(CMP)是目前唯一能够实现蓝宝石晶片全局平面化的实用核心技术。然而，CMP抛光仍然存在很多问题，例如双面抛光机台抛光过程中，由于运转不当会导致晶片碎裂，如不及时急停会导致抛光盘产生深划痕，甚至机台受损。目前，大多数机台均是人工急停装置，由于双面抛光，普遍存在抛光时间长，每个人需要运行多台抛光机，有时机台出现状况，不能及时去按急停，导致跑片后，抛光布被划坏，游星轮变形，甚至严重会导致机台大盘被划伤。

由此可见，现有的抛光机在结构与使用上存在不足，而亟待进一步改进。如何能创设一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，实属当前重要研发课题之一。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，使其能够自动监测是否出现跑片，并在发生跑片后及时停止机台的运行，避免设备发生更严重的损坏，从而克服现有技术中蓝宝石抛光机的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，所述自动停止装置包括支架、激光位移传感器和探测模块，其中：

所述支架包括呈倒置的L形，包括竖直段和水平段，所述水平段为伸缩杆结构并与竖直段转动连接，使得水平段能够在水平平面内转动且长度能够调整；

所述激光位移传感器安装在支架水平段末端，激光竖直向下发射；

所述探测模块与激光位移传感器电连接；

所述支架安装在机台上，并使激光位移传感器位于抛光盘的上方，激光位移传感器监测抛光盘位移量，探测模块根据位移量控制抛光机的停止。

作为本实用新型的一种改进，所述支架的竖直段底部设置有底座，所述底座用于通过螺钉与抛光机的机台连接。

进一步地，所述支架的材质为316不锈钢或耐酸碱氟材料。

进一步地，所述支架的水平段与竖直段之间设置有旋转伸缩固定钮，用于锁紧水平段的长度和转动角度。

进一步地，所述激光位移传感器的量程为0mm～200mm，精度为偏差＜1mm。

进一步地，所述激光位移传感器的出射激光光线与支架的水平段之间呈90°。

进一步地，所述激光位移传感器在抛光盘上盘与抛光盘下盘压合状态下，距离抛光盘上盘的间距为150mm，间距偏差＜1mm。

进一步地，所述探测模块设定自动停止的条件为蓝宝石晶片高度与预设值之间的偏差大于5mm。

进一步地，所述机台上固定两台所述自动停止装置，固定点距离抛光盘圆心10cm，两个固定点对称设置于抛光盘的左前和右后。

采用这样的设计后，本实用新型至少具有以下优点：

自动监测是否出现跑片，当出现跑片时及时停止机台的运行，避免了机台设备的进一步损伤。

附图说明

上述仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

图1是本实用新型提供的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机的结构示意图。

附图标记说明：1-电箱；2-显示器；3-气缸；4-夹具；5-激光位移传感器；6-旋转伸缩固定钮；7-伸缩杆；8-储液槽；9-排液管；10-底座；11-抛光盘上盘；12-抛光盘下盘。

具体实施方式

请参阅图1，本实用新型提供一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，包括两台自动停止装置，两台自动停止装置安装在机台上，安装的位置分别位于抛光盘的左前方和右后方，安装点距离抛光盘的圆心10cm。

所述自动停止装置包括支架、激光位移传感器5和探测模块，所述支架呈倒置的L形，包括水平段和竖直段，所述竖直段的下端设置有底座10，底座10通过螺钉与抛光机的机台连接。所述水平段为伸缩杆7，能够伸缩调整长度。水平段与竖直段之间转动连接，使得水平段能够在水平平面内转动，并设置在水平段与竖直段连接处设置旋转伸缩固定钮6，旋紧所述旋转伸缩固定钮6能够锁定伸缩杆7长度和旋转角度；旋松所述旋转伸缩固定钮6，使伸缩杆7自由调整长度和旋转角度。

所述激光位移传感器5通过夹具4安装在支架的水平段末端，并且使激光位移传感器5的激光与支架水平段之间呈90°垂直向下发射，所述激光位移传感器5的量程为0mm～200mm，精度为偏差＜1mm。所述激光位移传感器5在抛光盘上盘11与抛光盘下盘12压合状态下，距离抛光盘上盘11的间距为150mm，间距偏差＜1mm。

所述探测模块与激光位移传感器5电连接，探测模块通过将激光位移传感器5的距离信号与预设值之间的偏差来判断是否出现跑片，一旦探测到晶片跑片，立刻发出停止运动指令。探测模块设定自动停止的条件为蓝宝石晶片高度与预设值之间的偏差大于5mm。

本实用新型在使用过程中，操作流程如下：

1、操作人员将游星轮放入抛光盘下盘12上，并将2寸蓝宝石晶片放入游星轮内，使用显示器2通过电箱1中的电气元件对升降装置进行操作，升降装置通过气缸3将抛光盘上盘11下压与抛光盘下盘12压合；

2、手动调整伸缩杆7的长度并移至抛光盘上盘11正上方，调整与抛光盘上盘11的间距150mm固定，调整探测数值为0；

3、开启液泵使抛光液流入储液槽8，并通过排液管9流入双盘中间，抛光盘下盘12转速设定55转/分，抛光盘上盘11通过太阳轮从动；

4、启动后在抛光过程中，探测到的偏差数值一直平稳保持在2毫米以内，说明此时并未发生跑片，一旦探测到偏差竖直大于5mm，探测模块立刻发出停止机台运行指令。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，本领域技术人员利用上述揭示的技术内容做出些许简单修改、等同变化或修饰，均落在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述自动停止装置包括支架、激光位移传感器和探测模块，其中：

所述支架包括呈倒置的L形，包括竖直段和水平段，所述水平段为伸缩杆结构并与竖直段转动连接，使得水平段能够在水平平面内转动且长度能够调整；

所述激光位移传感器安装在支架水平段末端，激光竖直向下发射；

所述探测模块与激光位移传感器电连接；

所述支架安装在机台上，并使激光位移传感器位于抛光盘的上方，激光位移传感器监测抛光盘位移量，探测模块根据位移量控制抛光机的停止。

2.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述支架的竖直段底部设置有底座，所述底座用于通过螺钉与抛光机的机台连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述支架的材质为316不锈钢或耐酸碱氟材料。

4.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述支架的水平段与竖直段之间设置有旋转伸缩固定钮，用于锁紧水平段的长度和转动角度。

5.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述激光位移传感器的量程为0mm～200mm，精度为偏差＜1mm。

6.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述激光位移传感器的出射激光光线与支架的水平段之间呈90°。

7.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述激光位移传感器在抛光盘上盘与抛光盘下盘压合状态下，距离抛光盘上盘的间距为150mm，间距偏差＜1mm。

8.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述探测模块设定自动停止的条件为蓝宝石晶片高度与预设值之间的偏差大于5mm。

9.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述机台上固定两台所述自动停止装置，固定点距离抛光盘圆心10cm，两个固定点对称设置于抛光盘的左前和右后。

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