CN213763240U - 一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及激光清洗设备技术领域，且公开了一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，包括承载板，所述承载板底部的左右两侧均与一组支撑板的顶部固定连接，位于所述承载板右侧的支撑板的右侧与伺服电机的左侧固定连接，所述伺服电机的输出端穿过支撑板并与螺纹杆的右端固定连接。该多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，通过设置主转板、滑动柱、推动转板和连动杆相配合，使得驱动电机带动连接板和升降板进行往复升降，使得两组升降板上的激光清洗头对炉盘外壁的不同高度进行清洗，提高了装置的清洗效果，通过设置气泵与真空吸盘相配合，使得真空吸盘将炉盘吸附在转动盘顶部，避免炉盘发生滑动。

Description

一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机

技术领域

本实用新型涉及激光清洗设备技术领域，具体为一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机。

背景技术

激光清洗传统清洗工业有各种各样的清洗方式，多是利用化学药剂和机械方法进行清洗。在我国环境保护法规要求越来越严格、人们环保和安全意识日益增强的今天，工业生产清洗中可以使用的化学药品种类将变得越来越少。如何寻找更清洁，且不具损伤性的清洗方式是我们不得不考虑的问题。而激光清洗具有无研磨、非接触、无热效应和适用于各种材质的物体等清洗特点，被认为是最可靠、最有效的解决办法。同时，激光清洗可以解决采用传统清洗方式无法解决的问题。由于现有的激光清洗机内部空间有限，其只能对一定大小的部件进行清洗，清洗面积幅度较小，不能对大型炉盘进行清洗，而且清洗过程不能使炉盘进行转动，清洗部件不能精确移动，清洗的效果不够理想，效率较低，而且现有的激光清洗机成本较高。

中国专利公告号CN209829763U提出了一种激光清洗机，包括基座以及两对结构相同的支撑杆，两对所述支撑杆安置于基座下壁面上，所述基座上安装有移动结构，所述基座上且位移动固定结构之间安装有吸附固定结构；所述移动结构，其包括：第一伺服电机、支撑板、螺纹杆、一对结构相同的滑动杆、两对结构相同的滑动块、一对结构相同的滚珠螺母、两对结构相同的连接杆、一对结构相同的移动架以及四对结构相同的激光清洗机，该实用新型通过移动结构使激光清洗机自动从两侧向中间移动，对大型炉盘进行激光清洗，通过吸附固定结构对炉盘进行固定和转动，提高清洗效率。但是该装置中激光清洗机的高度固定，导致不能对炉盘的外表面进行全面的清洗，影响清洗效果。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，解决了该装置中激光清洗机的高度固定，导致不能对炉盘的外表面进行全面的清洗，影响清洗效果的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，包括承载板，所述承载板底部的左右两侧均与一组支撑板的顶部固定连接，位于所述承载板右侧的支撑板的右侧与伺服电机的左侧固定连接，所述伺服电机的输出端穿过支撑板并与螺纹杆的右端固定连接，所述螺纹杆的左端与其左侧的支撑板的右侧转动连接，所述螺纹杆的外壁螺纹连接有两组移动块，所述螺纹杆的上方设置有电机壳，所述电机壳的顶部与承载板的底部固定连接，所述电机壳的底部内壁与减速电机的底部固定连接，所述减速电机的输出端穿过承载板并与转动盘的底部固定连接，所述转动盘的顶部均匀焊接有四组真空吸盘，所述转动盘的内部设置有空腔，所述转动盘的前侧设置有气泵，所述气泵的底部与承载板的顶部固定连接，所述气泵的输入端与转动盘内部的空腔连通，所述移动块的顶部与移动柱的底部固定连接，所述承载板的左右两侧均开设有一组滑动孔，滑动孔的内壁与移动柱的外壁滑动连接，两组所述移动柱的相对侧均固定连接有一组升降板，所述升降板远离移动柱的一侧焊接有多组激光清洗头，两组所述升降板的后侧分别与连接板前侧的左右两端固定连接，所述连接板的后侧与连动杆的底端转动连接，所述连动杆的顶端与推动转板的右端转动连接，所述推动转板的左端与固定板的顶端转动连接，所述固定板的底部与承载板的顶部固定连接，所述推动转板上开设有定位孔，定位孔的内壁与滑动柱的外壁滑动连接，所述滑动柱的后端与主转板前侧的右端固定连接，所述主转板后侧的左端与驱动电机的输出端固定连接，所述驱动电机的底部与电机座的顶部固定连接，所述电机座的前侧与承载板的后侧固定连接。

优选的，两组所述移动块的前后两侧分别与两组导向杆的外壁滑动连接，导向杆的左右两端分别与两组支撑板靠近其的一侧固定连接。

优选的，所述螺纹杆外壁的中部转动连接有定位块，螺纹杆位于定位块左右两侧的外壁上螺纹的方向相反。

优选的，所述推动转板上定位孔的长度大于主转板长度的两倍，主转板底部至承载板顶部的距离大于主转板的长度。

优选的，两组所述移动柱的相对侧均开设有滑动槽，两组升降板的背对侧均固定连接有一组高度与其相同的升降块，滑动槽的内壁与升降块的外壁滑动连接。

优选的，所述升降板下降的最大距离小于升降板底部至滑动槽底部内壁的距离，滑动槽的底部内壁与转动盘的顶部位于同一水平面上。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，具备以下有益效果：

1、该多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，通过设置主转板、滑动柱、推动转板和连动杆相配合，使得驱动电机带动连接板和升降板进行往复升降，使得两组升降板上的激光清洗头对炉盘外壁的不同高度进行清洗，提高了装置的清洗效果，通过设置气泵与真空吸盘相配合，使得真空吸盘将炉盘吸附在转动盘顶部，避免炉盘发生滑动；

2、该多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，通过设置螺纹杆外壁的中部转动连接有定位块，并设置螺纹杆位于定位块左右两侧的外壁上螺纹的方向相反，使得螺纹杆带动两组移动块相向或背向移动，使得两组升降板与炉盘之间的距离相等，以确保同一时间两侧激光清洗头对炉盘的清洗效果相同，提高了装置的清洗效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型螺纹杆处结构示意图；

图3为本实用新型连动杆处结构示意图。

图中：1、承载板；2、支撑板；3、伺服电机；4、螺纹杆；5、移动块；6、导向杆；7、电机壳；8、减速电机；9、转动盘；10、真空吸盘；11、气泵；12、移动柱；13、升降板；14、连接板；15、连动杆；16、推动转板；17、滑动柱；18、主转板；19、驱动电机；20、电机座；21、固定板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，包括承载板1，承载板1底部的左右两侧均与一组支撑板2的顶部固定连接，位于承载板1右侧的支撑板2的右侧与伺服电机3的左侧固定连接，伺服电机3的输出端穿过支撑板2并与螺纹杆4的右端固定连接，所述螺纹杆的左端与其左侧的支撑板的右侧转动连接，螺纹杆4的外壁螺纹连接有两组移动块5，螺纹杆4的上方设置有电机壳7，电机壳7的顶部与承载板1的底部固定连接，电机壳7的底部内壁与减速电机8的底部固定连接，减速电机8的输出端穿过承载板1并与转动盘9的底部固定连接，转动盘9的顶部均匀焊接有四组真空吸盘10，转动盘9的内部设置有空腔，转动盘9的前侧设置有气泵11，气泵11的底部与承载板1的顶部固定连接，气泵11的输入端与转动盘9内部的空腔连通，移动块5的顶部与移动柱12的底部固定连接，承载板1的左右两侧均开设有一组滑动孔，滑动孔的内壁与移动柱12的外壁滑动连接，两组移动柱12的相对侧均固定连接有一组升降板13，升降板13远离移动柱12的一侧焊接有多组激光清洗头，两组升降板13的后侧分别与连接板14前侧的左右两端固定连接，连接板14的后侧与连动杆15的底端转动连接，连动杆15的顶端与推动转板16的右端转动连接，推动转板16的左端与固定板21的顶端转动连接，固定板21的底部与承载板1的顶部固定连接，推动转板16上开设有定位孔，定位孔的内壁与滑动柱17的外壁滑动连接，滑动柱17的后端与主转板18前侧的右端固定连接，主转板18后侧的左端与驱动电机19的输出端固定连接，驱动电机19的底部与电机座20的顶部固定连接，电机座20的前侧与承载板1的后侧固定连接。

具体的，为了避免移动块5偏离运动轨迹，两组移动块5的前后两侧分别与两组导向杆6的外壁滑动连接，导向杆6的左右两端分别与两组支撑板2靠近其的一侧固定连接，使得移动块5在螺纹杆4的带动下沿导向杆6外壁滑动。

具体的，为了提高装置的清洗效率，螺纹杆4外壁的中部转动连接有定位块，螺纹杆4位于定位块左右两侧的外壁上螺纹的方向相反，螺纹杆4带动两组移动块5相向或背向移动，以确保两组升降板13与炉盘之间的距离相等。

具体的，为了提高装置的使用寿命，推动转板16上定位孔的长度大于主转板18长度的两倍，使得滑动柱17不会与定位孔内壁的左右两侧接触，主转板18底部至承载板1顶部的距离大于主转板18的长度，使得主转板18不会与承载板1发生碰撞，以降低装置的磨损。

具体的，为了避免升降板13运动时发生偏离，两组移动柱12的相对侧均开设有滑动槽，两组升降板13的背对侧均固定连接有一组高度与其相同的升降块，滑动槽的内壁与升降块的外壁滑动连接，使得升降板13带动升降块沿滑动槽内壁滑动，升降块限制升降板13的运动轨迹。

具体的，为了提高装置的实用性，升降板13下降的最大距离小于升降板13底部至滑动槽底部内壁的距离，滑动槽的底部内壁与转动盘9的顶部位于同一水平面上，升降板13下降至最低点时其底部与转动盘9的底部位于同一水平面上，确保激光清洗头始终对炉盘进行清洗。

工作原理：将炉盘放置在转动盘9上，气泵将转动盘9内部的空气抽出，使得真空吸盘10将炉盘固定在转动盘9上，激光清洗头对炉盘进行清洗，伺服电机3带动螺纹杆4转动，由于螺纹杆4左右两侧外壁上的螺纹方向相反，使得两组移动块5分别带动与其相连接的移动柱12相向移动，以调节激光清洗头与炉盘之间的距离，减速电机8带动转动盘9和炉盘转动，从而对炉盘进行三百六十度的清洗，驱动电机19带动主转板18，主转板18带动滑动柱17沿定位孔内壁滑动，从而带动推动转板16转动，推动转板16带动连动杆15转动，从而推动连接板14和升降板13往复升降，从而使激光清洗头对炉盘的不同高度进行清洗，以提高清洗效果。

综上所述，该多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，通过设置主转板18、滑动柱17、推动转板16和连动杆15相配合，使得驱动电机19带动连接板14和升降板13进行往复升降，使得两组升降板13上的激光清洗头对炉盘外壁的不同高度进行清洗，提高了装置的清洗效果，通过设置气泵11与真空吸盘10相配合，使得真空吸盘10将炉盘吸附在转动盘9顶部，避免炉盘发生滑动，通过设置螺纹杆4外壁的中部转动连接有定位块，并设置螺纹杆4位于定位块左右两侧的外壁上螺纹的方向相反，使得螺纹杆4带动两组移动块5相向或背向移动，使得两组升降板13与炉盘之间的距离相等，以确保同一时间两侧激光清洗头对炉盘的清洗效果相同，提高了装置的清洗效率。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，包括承载板（1），其特征在于：所述承载板（1）底部的左右两侧均与一组支撑板（2）的顶部固定连接，位于所述承载板（1）右侧的支撑板（2）的右侧与伺服电机（3）的左侧固定连接，所述伺服电机（3）的输出端穿过支撑板（2）并与螺纹杆（4）的右端固定连接，所述螺纹杆（4）的左端与其左侧的支撑板（2）的右侧转动连接，所述螺纹杆（4）的外壁螺纹连接有两组移动块（5），所述螺纹杆（4）的上方设置有电机壳（7），所述电机壳（7）的顶部与承载板（1）的底部固定连接，所述电机壳（7）的底部内壁与减速电机（8）的底部固定连接，所述减速电机（8）的输出端穿过承载板（1）并与转动盘（9）的底部固定连接，所述转动盘（9）的顶部均匀焊接有四组真空吸盘（10），所述转动盘（9）的内部设置有空腔，所述转动盘（9）的前侧设置有气泵（11），所述气泵（11）的底部与承载板（1）的顶部固定连接，所述气泵（11）的输入端与转动盘（9）内部的空腔连通，所述移动块（5）的顶部与移动柱（12）的底部固定连接，所述承载板（1）的左右两侧均开设有一组滑动孔，滑动孔的内壁与移动柱（12）的外壁滑动连接，两组所述移动柱（12）的相对侧均固定连接有一组升降板（13），所述升降板（13）远离移动柱（12）的一侧焊接有多组激光清洗头，两组所述升降板（13）的后侧分别与连接板（14）前侧的左右两端固定连接，所述连接板（14）的后侧与连动杆（15）的底端转动连接，所述连动杆（15）的顶端与推动转板（16）的右端转动连接，所述推动转板（16）的左端与固定板（21）的顶端转动连接，所述固定板（21）的底部与承载板（1）的顶部固定连接，所述推动转板（16）上开设有定位孔，定位孔的内壁与滑动柱（17）的外壁滑动连接，所述滑动柱（17）的后端与主转板（18）前侧的右端固定连接，所述主转板（18）后侧的左端与驱动电机（19）的输出端固定连接，所述驱动电机（19）的底部与电机座（20）的顶部固定连接，所述电机座（20）的前侧与承载板（1）的后侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，其特征在于：两组所述移动块（5）的前后两侧分别与两组导向杆（6）的外壁滑动连接，导向杆（6）的左右两端分别与两组支撑板（2）靠近其的一侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，其特征在于：所述螺纹杆（4）外壁的中部转动连接有定位块，螺纹杆（4）位于定位块左右两侧的外壁上螺纹的方向相反。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，其特征在于：所述推动转板（16）上定位孔的长度大于主转板（18）长度的两倍，主转板（18）底部至承载板（1）顶部的距离大于主转板（18）的长度。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，其特征在于：两组所述移动柱（12）的相对侧均开设有滑动槽，两组升降板（13）的背对侧均固定连接有一组高度与其相同的升降块，滑动槽的内壁与升降块的外壁滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种多晶硅还原炉盘智能激光清洗机，其特征在于：所述升降板（13）下降的最大距离小于升降板（13）底部至滑动槽底部内壁的距离，滑动槽的底部内壁与转动盘（9）的顶部位于同一水平面上。

Images