CN213749014U - 用于离线校准尼康sf120光刻机激光器光轴的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块的侧边设置有两个侧边定位块，前定位块与两个侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前部的侧边定位块的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与前部的侧边定位块之间的距离为20mm，两个侧边定位块之间的距离为100mm，前部的侧边定位块与近点小孔标记之间的距离为300mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离不小于4000mm。本实用新型将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，不占用生产设备的时间。

Description

用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置

技术领域

本实用新型涉及的是激光器校准技术领域，具体涉及用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置。

背景技术

目前，现在行业内校准光刻机激光器，一般都是需要将激光器安装到光刻机上进行在线的校准调试，由于光刻机内部的光路众多，无法很直观地观察光线的变化，校准起来繁琐且耗时较长，会占用生产设备的很多时间。

为了解决上述问题，设计一种新型的用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置尤为必要。

实用新型内容

针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，校准操作简便且耗时短，可直观地观察光线的变化，且不占用生产设备的时间，易于推广使用。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，包括前定位块、侧边定位块、承载平面台、连接面、近点小孔标记和远点小孔标记，前定位块的侧边设置有两个侧边定位块，前定位块与两个侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块、侧边定位块的底部设有连接面，前定位块与前部的侧边定位块的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与前部的侧边定位块之间的距离a为20mm，两个侧边定位块之间的距离b为100mm，前部的侧边定位块与近点小孔标记之间的距离c为300mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离d不小于4000mm。

作为优选，所述的前定位块、侧边定位块表面的承载平面台位于同一水平面，提高激光器校准精度。

作为优选，所述的连接面采用硅胶海绵作为中间连接件，消除环境震动、温度变化带来的影响。

本实用新型的有益效果：本装置根据尼康SF120光刻机的激光器承载台和激光器结构，采用三个主支撑块组合而成的激光器光轴离线校准装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便，耗时短，且完全不占用生产设备的时间，应用前景广阔。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型前定位块的结构示意图；

图3为本实用新型侧边定位块的结构示意图；

图4本实用新型的平面结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

参照图1-4，本具体实施方式采用以下技术方案：用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，包括前定位块1、侧边定位块 2、承载平面台3、连接面4、近点小孔标记5和远点小孔标记6，前定位块1的侧边设置有两个侧边定位块2，前定位块1与两个侧边定位块2的表面均设置有独立的承载平面台3，前定位块1、侧边定位块2的底部设有连接面4，前定位块1与前部的侧边定位块2的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记5、远点小孔标记6；所述的前定位块1与前部的侧边定位块2之间的距离a为20mm，两个侧边定位块2之间的距离b为100mm，前部的侧边定位块2与近点小孔标记5之间的距离c为300mm；所述的近点小孔标记5作为激光束光路靠近光源一端的标记点，远点小孔标记6作为激光束光路远离光源一端的标记点，近点小孔标记5与远点小孔标记6之间的距离d不小于 4000mm，保证校准精度。

值得注意的是，所述的前定位块1、侧边定位块2表面的承载平面台3位于同一水平面，提高激光器校准精度。

此外，所述的连接面4采用硅胶海绵KG-48作为中间连接件，该硅胶海绵富于弹性，具有较好的耐热性，能消除环境震动、温度变化带来的影响。

本具体实施方式安装时需要对该装置进行标准定位，其中，前定位块1作为激光器的前端定位挡板，使用螺丝固定到主支撑块上，侧边定位块2作为激光器的侧边位置定位挡板，使用螺丝固定到主支撑块上，方便装配时做微调，该装置通过使用三个独立的支撑平面模拟光刻机上的激光器承载台，将激光器放置在该平面上，该设计结构不仅降低用料成本，而且有更大的底部空间，激光机校准过程中更方便操作。

本具体实施方式创新性地使用三个独立的支撑块模拟了光刻机的激光器承载台，在一个离线的状态下校准激光器，更方便操作，其校准操作为：将标准激光器放置在承载平面台3上，并将激光器定位于前定位块1、侧边定位块2上，将激光器定位后，打开激光器电源，调整激光器的校准螺丝，在光路的近点和远点分别放置近点小孔标记 5、远点小孔标记6并固定，使光线从近点和远点小孔标记的中心孔穿过，根据三点一线原理，得到一条标准的光轴线路，完成激光器光轴的校准。

本具体实施方式依据三点一线的原理，将复杂的光刻机光路简化为一条标准直线，方便调试过程中观察光轴的变化，调试校准过程简单明了，极大缩短校准时长，同时由于整个校准过程是离线状态下完成的，完全不占用生产设备的时间，用户在激光器的更换安装过程中只需要进行微调甚至不需要调整就可以恢复生产设备，实用性强，可靠性高，具有广阔的市场应用前景。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (3)

1.用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，包括前定位块(1)、侧边定位块(2)、承载平面台(3)、连接面(4)、近点小孔标记(5)和远点小孔标记(6)，前定位块(1)的侧边设置有两个侧边定位块(2)，前定位块(1)与两个侧边定位块(2)的表面均设置有独立的承载平面台(3)，前定位块(1)、侧边定位块(2)的底部设有连接面(4)，前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记(5)、远点小孔标记(6)；所述的前定位块(1)与前部的侧边定位块(2)之间的距离a为20mm，两个侧边定位块(2)之间的距离b为100mm，前部的侧边定位块(2)与近点小孔标记(5)之间的距离c为300mm，近点小孔标记(5)与远点小孔标记(6)之间的距离d不小于4000mm。

2.根据权利要求1所述的用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的前定位块(1)、侧边定位块(2)表面的承载平面台(3)位于同一水平面。

3.根据权利要求1所述的用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，其特征在于，所述的连接面(4)采用硅胶海绵作为中间连接件。

Images