CN213728214U - 一种半导体芯片检测探针清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种半导体芯片检测探针清洁装置，包括工作台，所述工作台上一侧设有卡槽，所述卡槽用于放置探针卡；所述卡槽一侧在所述工作台上设有若干清洗槽；所述工作台顶面一侧设有清洁剂入口；所述工作台侧面下方设有清洁剂出口；所述清洁剂入口连接有清洗管道；所述清洗槽内部设有擦拭组件；每个所述清洗槽下方均连接有吸气管道，每个所述吸气管道连接有除尘装置；所述工作台外部设有与所述清洗槽相对应集尘装置，且所述集尘装置与相对应所述除尘装置相连接。本实用新型清洁能力强，可以对清洁过后的探针进行擦拭，可以将毛刷上的微型杂质颗粒和清洗槽内残留的清洁剂排出到装置外，防止对新的探针清洁时造成二次污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体芯片检测设备领域，特别是一种半导体芯片检测探针清洁装置。
背景技术
半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。晶圆在封装完成后要进行成品测试，通常经过入检、测试和包装等工序。测试设备包括探针台，探针台上具有探针卡，探针卡上至少有一根探针，探针触碰到晶圆上的管芯以进行电性测试，管芯上通常设置有一个或多个测试焊点，探针与测试焊点需要相互接触，才能完成电性测试。探针属于高精度仪器，需要定期维护，现有技术中，通常清洗仪器存在清洗不充分，使用次数过多易造成二次污染等问题。
公布号为CN211402472U的中国专利公开了一种半导体芯片封装测试用探针，其技术要点为，包括维护仪，维护仪底部活动连接有探针卡，探针卡一侧表面固定连接有探针，探针外表面固定连接有固定环，维护仪上表面固定开设有维护口，维护仪上表面一侧固定设置有清洁剂入口，维护仪靠近底部一侧表面固定设置有清洁剂出口，维护仪内部固定设置有清洗槽，清洗槽一侧固定连接有连接通道，维护仪内部上端固定安装有微型电机。该方案中，通过清洗槽，实现对探针的清洗，但是该方案中探针清洗不充分，易在通道内留下清洁剂，在清洗过后，易在毛刷上留下杂质颗粒，造成探针的二次污染的等问题。
因此希望提供一种充分清理并且除杂质能力强的探针清洁装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片检测探针清洁装置，能够对探针进行清洁，并且可以对清洁装置内部清洁，防止对探针进行二次污染。
为达到上述实用新型的目的，提供了一种半导体芯片检测探针清洁装置，其特征在于，包括工作台，
所述工作台上一侧设有卡槽，所述卡槽用于放置探针卡；所述卡槽一侧在所述工作台上设有若干与所述卡槽平行的清洗槽；所述工作台顶面一侧设有清洁剂入口；所述工作台侧面下方设有清洁剂出口；所述清洁剂入口连接有清洗管道；所述清洗管道将清洁剂入口和清洁剂出口连接在一起；所述清洗管道与所述清洗槽相连接，且所述清洗管道依次将每个所述清洗槽连接在一起；清洁剂入口可以倒入清洁剂或者通入清洁气体，对清洗槽内的探针进行清洗，并且清洁剂或者清洁气体从所述清洁剂出口排出。
所述工作台内部在相邻两个清洗槽之间设有电机；所述电机通过齿轮连接有水平的转轴；所述转轴两端在两个所述清洗槽内分别连接有一个清洗环；所述转轴转动带动所述清洗环转动；所述清洗环的长度大于探针针头的长度；所述清洗环内部设有毛刷；清洗环转动携带毛刷。
所述清洗槽内部在所述清洗环上方设有擦拭组件，所述擦拭组件用于擦干探针针头的清洁剂和防止清洁剂溅出到清洗槽外；所述擦拭组件为环状结构内部中空；所述擦拭组件、所述清洗环和所述清洗槽的横截面圆心在同一轴线上。
每个所述清洗槽下方均连接有吸气管道，每个所述吸气管道另外一端连接有除尘装置；所述工作台外部设有与所述清洗槽相对应集尘装置，且所述集尘装置与相对应所述除尘装置相连接。
优选地，所述擦拭组件为海绵块；所述擦拭组件为可拆卸连接在清洗槽内；所述擦拭组件的内径小于探针的直径。
优选地，所述除尘装置包括吸气阀，所述吸气阀用于将所述毛刷的杂质和残留的清洁剂吸出到集尘装置内。
优选地，所述集尘装置在工作台外部设有一个；所述集尘装置与每个所述吸气阀相连接。
工作原理：本实用新型的一种半导体芯片检测探针清洁装置，将探针卡放置在卡槽上，依次将探针插入到对应的清洗槽内，清洁剂入口倒入清洁剂或通入清洁气体，排出清洁剂或清洁气体后，打开开关，电机带动转轴转动，使得清洁环转动，清洁环上的毛刷对探针针头全面清洗，清洗过后，拔出探针，之后开启除尘装置，对清洗槽作抽气处理，清理清洗槽内杂质和残留清洁剂，排出到集尘装置内。
本实用新型一种半导体芯片检测探针清洁装置，跟现有技术相比具有以下优点：
(1)清洗环上方设有擦拭组件，对清洁过后的探针进行擦拭；
(2)清洗槽下方设有除尘装置，可以将毛刷上的微型杂质颗粒和清洗槽内残留的清洁剂吸出到集尘装置内，防止对新的探针清洁时造成二次污染。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构示意图；
图3为本实用新型内部结构剖视图；
图4为本实用新型内部结构剖视图；
附图标记：1、工作台；11、卡槽；12、清洁剂入口；13、清洁剂出口；14、清洗管道；2、清洗槽；21、电机；22、转轴；23、清洗环；24、擦拭组件；31、吸气管道；32、除尘装置；33、集尘装置。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例，对本实用新型做进一步说明。
如图所示，一种半导体芯片检测探针清洁装置，包括工作台，
所述工作台上一侧设有卡槽11，所述卡槽11用于放置探针卡；所述卡槽11一侧在所述工作台1上设有若干与所述卡槽11平行的清洗槽2；所述工作台1顶面一侧设有清洁剂入口12；所述工作台1侧面下方设有清洁剂出口13；所述清洁剂入口12连接有清洗管道14；所述清洗管道14将清洁剂入口12和清洁剂出口13连接在一起；所述清洗管道14与所述清洗槽2相连接，且所述清洗管道14依次将每个所述清洗槽2连接在一起；清洁剂入口12可以倒入清洁剂或者通入清洁气体，对清洗槽2内的探针进行清洗。
所述工作台1内部在相邻两个清洗槽2之间设有电机21；所述电机21通过齿轮连接有水平的转轴22；所述转轴22两端在两个所述清洗槽2内分别连接有一个清洗环23；所述转轴22转动带动所述清洗环23转动；所述清洗环23的长度大于探针针头的长度；防止不能对探针针头全部清洁；所述清洗环23内部设有毛刷；清洗环23转动携带毛刷，毛刷上附带清洁剂对探针针头进一步的清洗。
所述清洗槽2内部在所述清洗环23上方设有擦拭组件24，所述擦拭组件24用于擦干探针针头的清洁剂和防止清洁剂溅出到清洗槽2外；所述擦拭组件24为环状结构内部中空；所述擦拭组件24、所述清洗环23和所述清洗槽2的横截面圆心在同一轴线上，使得探针轻松插入到清洗槽2内；
每个所述清洗槽2下方均连接有吸气管道31，每个所述吸气管道31另外一端连接有除尘装置32；所述除尘装置32内设有吸气阀，所述工作台1外部设有与所述清洗槽2相对应集尘装置33，且所述集尘装置33与相对应所述除尘装置32相连接；在探针清洗过后，除尘装置32对清洗槽2进行抽气处理，可以将毛刷上的微型杂质颗粒和清洗槽2内残留的清洁剂吸出到集尘装置33内，防止对新的探针清洁时造成二次污染；
本实施例中，所述擦拭组件24为可拆卸连接在清洗槽2内，便于对擦拭组件24定期更换，防止擦拭组件24因为使用次数多而失效。
本实施例中，所述擦拭组件24为海绵块；所述擦拭组件24的内径小于探针的直径；探针在插入清洗槽2时，擦拭组件24因为弹性向内压缩，在拔出探针时擦拭组件24将探针针头残留的清洁剂吸收。
进一步的，所述集尘装置33在工作台1外部设有一个，所述集尘装置33与每个所述除尘装置32相连接；便于简化操作，仅更换一个集尘装置33便可以清理排出的杂质。
本实用新型实用方法，将探针卡放置在卡槽11上，依次将探针插入到对应的清洗槽2内，清洁剂入口12倒入清洁剂或通入清洁气体，排出清洁剂或清洁气体后，打开开关，使得清洁环转动，清洁环上的毛刷对探针针头全面清洗，清洗过后，拔出探针，之后开启除尘装置32，对清洗槽2作抽气处理，清理清洗槽2内杂质和残留清洁剂，排出到集尘装置33内。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不仅限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (5)
1.一种半导体芯片检测探针清洁装置，包括工作台，其特征在于，所述工作台上一侧设有卡槽，所述卡槽用于放置探针卡；所述卡槽一侧在所述工作台上设有若干与所述卡槽平行的清洗槽；所述工作台顶面一侧设有清洁剂入口；所述工作台侧面下方设有清洁剂出口；所述清洁剂入口连接有清洗管道；所述清洗管道将清洁剂入口和清洁剂出口连接在一起；所述清洗管道与所述清洗槽相连接，且所述清洗管道依次将每个所述清洗槽连接在一起；所述清洁剂入口倒入清洁剂或者通入清洁气体，清洁剂或者清洁气体从所述清洁剂出口排出；
所述工作台内部在相邻两个清洗槽之间设有电机；所述电机通过齿轮连接有水平的转轴；所述转轴两端在两个所述清洗槽内分别连接有一个清洗环；所述转轴转动带动所述清洗环转动；所述清洗环的长度大于探针针头的长度；所述清洗环内部设有毛刷；
所述清洗槽内部在所述清洗环上方设有擦拭组件，所述擦拭组件用于擦干探针针头的清洁剂和防止清洁剂溅出到清洗槽外；
每个所述清洗槽下方均连接有吸气管道，每个所述吸气管道另外一端连接有除尘装置；所述工作台外部设有与所述清洗槽相对应集尘装置，且所述集尘装置与相对应所述除尘装置相连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片检测探针清洁装置，其特征在于，所述擦拭组件为海绵块，所述擦拭组件为可拆卸连接在清洗槽内。
3.根据权利要求1～2任意一项所述的一种半导体芯片检测探针清洁装置，其特征在于，所述擦拭组件为环状结构内部中空；所述擦拭组件、所述清洗环和所述清洗槽的横截面圆心在同一轴线上。
4.根据权利要求1～2任意一项所述的一种半导体芯片检测探针清洁装置，其特征在于，所述除尘装置包括吸气阀，所述吸气阀用于将所述毛刷的杂质和残留的清洁剂吸出到集尘装置内。
5.根据权利要求4所述的一种半导体芯片检测探针清洁装置，其特征在于，所述集尘装置在工作台外部设有一个；所述集尘装置与每个所述除尘装置相连接。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115430669A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-12-06 | 浙江金连接科技股份有限公司 | 一种直线式探针套筒的自动吹屑装置及方法 |
| CN116779498A (zh) * | 2023-08-23 | 2023-09-19 | 无锡安鑫卓越智能科技有限公司 | 一种半导体晶片表面的测试装置 |
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