CN215696290U - 脱胶机喷淋结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开脱胶机喷淋结构，涉及硅片清洗领域。该脱胶机喷淋结构，脱胶机主体和液压缸，所述脱胶机主体的内部设有插片花篮，所述脱胶机主体的内底部设有排水槽，所述脱胶机主体的内侧壁上转动连接有喷淋管，所述液压缸的两端均活动插接有液压杆，所述液压杆的端部活动铰接有传动杆。该脱胶机喷淋结构，通过喷头对插片花篮进行喷淋的过程中，通过启动液压缸，使得液压缸两端的液压杆同时进行不间断的伸缩移动，使得传动杆带动喷淋管在固定座内部进行转动，使得喷头的喷淋角度不断发生改变，对插片花篮两侧进行往复喷淋，提升整体的喷淋清洗效果。

Description

脱胶机喷淋结构

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为脱胶机喷淋结构。

背景技术

在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

在硅片插片进入到插片花篮之后，一般会流转至脱胶机内部进行脱胶处理，而脱胶机是采用超声波震荡的方式进行脱胶，通过在脱胶机内部安装有喷淋管，在脱胶结束后进行冲洗，但是一般喷淋管都是固定安装的，在冲洗时冲洗角度为固定的，这使得冲洗效部位较为单一，实际冲洗结果较差，因此需要提供一种脱胶机喷淋结构以解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型公开了脱胶机喷淋结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：脱胶机喷淋结构，包括：

脱胶机主体，所述脱胶机主体的内部设有插片花篮，所述脱胶机主体的内底部设有排水槽，所述脱胶机主体的内侧壁上转动连接有喷淋管；

液压缸，所述液压缸的两端均活动插接有液压杆，所述液压杆的端部活动铰接有传动杆。

优选的，所述脱胶机主体的外表面固定安装有固定座，所述喷淋管的端部转动连接在固定座的内部，所述传动杆与喷淋管固定安装，所述脱胶机主体的外表面固定安装有载板，所述液压缸固定安装在载板的外表面。

优选的，所述液压杆的端部固定安装有驱动杆，所述传动杆远离喷淋管的一端与驱动杆活动铰接。

优选的，所述脱胶机主体的内部固定安装有固定板，所述固定板的外表面固定安装有限位环，所述喷淋管远离固定座的一端转动连接在限位环的内部，所述喷淋管的外表面固定安装有喷头。

优选的，所述排水槽的内部安装有过滤网，所述排水槽的下表面固定安装有排水管。

优选的，所述脱胶机主体的内壁两侧均固定连接有挡杆，所述挡杆的上表面固定连接有支撑座，所述插片花篮的两端均固定连接有限位杆，所述限位杆活动卡接在支撑座的上表面。

本实用新型公开了脱胶机喷淋结构，其具备的有益效果如下：

1、该脱胶机喷淋结构，通过在喷淋管的端部安装有外接高压水源，使得水通过喷头对插片花篮进行喷淋，同时在这个过程中，通过启动液压缸，使得液压缸两端的液压杆同时进行不间断的伸缩移动，此时液压杆通过驱动杆带动传动杆的底端进行移动，使得传动杆带动喷淋管在固定座内部进行转动，在这个过程中喷淋管的另一端在限位环内部转动，使得喷头的喷淋角度不断发生改变，对插片花篮两侧进行往复喷淋，提升整体的喷淋清洗效果。

2、该脱胶机喷淋结构，喷淋产生的废水进入到排水槽内部，然后通过排水管向外排出，同时插片花篮表面冲洗下来的杂质留在滤网的上表面，方便进行清理。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型脱胶机主体内部结构示意图；

图3为本实用新型脱胶机主体外表面部分结构示意图；

图4为本实用新型图2的A部分结构放大图。

图中：1、脱胶机主体；2、插片花篮；3、排水管；4、排水槽；5、喷淋管；6、液压缸；7、载板；8、液压杆；9、驱动杆；10、传动杆；11、固定座；12、喷头；13、固定板；14、限位环；15、挡杆；16、支撑座；17、限位杆。

具体实施方式

本实用新型实施例公开脱胶机喷淋结构，如图1-4所示，包括脱胶机主体1，脱胶机主体1的内部设有插片花篮2，脱胶机主体1的内底部设有排水槽4，脱胶机主体1的内侧壁上转动连接有喷淋管5；

同时该装置还包括液压缸6，液压缸6的两端均活动插接有液压杆8，液压杆8的端部活动铰接有传动杆10。

参照附图3，脱胶机主体1的外表面固定安装有固定座11，喷淋管5的端部转动连接在固定座11的内部，传动杆10与喷淋管5固定安装，脱胶机主体1的外表面固定安装有载板7，液压缸6固定安装在载板7的外表面，通过固定座11对喷淋管5进行限位，同时防止喷淋管5对脱胶机主体1造成损伤液压杆8的端部固定安装有驱动杆9，传动杆10远离喷淋管5的一端与驱动杆9活动铰接，通过启动液压缸6，使得液压缸6两端的液压杆8同时进行不间断的伸缩移动，此时液压杆8通过驱动杆9带动传动杆10的底端进行移动，使得传动杆10带动喷淋管5在固定座11内部进行转动。

参照附图2和4，脱胶机主体1的内部固定安装有固定板13，固定板13的外表面固定安装有限位环14，喷淋管5远离固定座11的一端转动连接在限位环14的内部，喷淋管5的外表面固定安装有喷头12，当喷淋管5转动时，喷淋管5的另一端在限位环14内部转动，使得喷头12的喷淋角度不断发生改变，对插片花篮2两侧进行往复喷淋。

参照附图1-2，排水槽4的内部安装有过滤网，排水槽4的下表面固定安装有排水管3，喷淋产生的废水进入到排水槽4内部，然后通过排水管3向外排出，同时插片花篮2表面冲洗下来的杂质留在滤网的上表面，方便进行清理。

参照附图1-2，脱胶机主体1的内壁两侧均固定连接有挡杆15，挡杆15的上表面固定连接有支撑座16，插片花篮2的两端均固定连接有限位杆17，限位杆17活动卡接在支撑座16的上表面，对插片花篮2进行有效支撑保护。

工作原理：该装置在使用时，插片花篮2放置在脱胶机主体1的内部，此时限位杆17活动卡接在支撑座16的内部，此时通过在喷淋管5的端部安装有外接高压水源，使得水通过喷头12对插片花篮2进行喷淋，同时在这个过程中，通过启动液压缸6，使得液压缸6两端的液压杆8同时进行不间断的伸缩移动，此时液压杆8通过驱动杆9带动传动杆10的底端进行移动，使得传动杆10带动喷淋管5在固定座11内部进行转动，在这个过程中喷淋管5的另一端在限位环14内部转动，使得喷头12的喷淋角度不断发生改变，对插片花篮2两侧进行往复喷淋；

并且最终喷淋产生的废水进入到排水槽4内部，然后通过排水管3向外排出，同时插片花篮2表面冲洗下来的杂质留在滤网的上表面，方便进行清理。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.脱胶机喷淋结构，其特征在于，包括：

脱胶机主体(1)，所述脱胶机主体(1)的内部设有插片花篮(2)，所述脱胶机主体(1)的内底部设有排水槽(4)，所述脱胶机主体(1)的内侧壁上转动连接有喷淋管(5)；

液压缸(6)，所述液压缸(6)的两端均活动插接有液压杆(8)，所述液压杆(8)的端部活动铰接有传动杆(10)。

2.根据权利要求1所述的脱胶机喷淋结构，其特征在于：所述脱胶机主体(1)的外表面固定安装有固定座(11)，所述喷淋管(5)的端部转动连接在固定座(11)的内部，所述传动杆(10)与喷淋管(5)固定安装，所述脱胶机主体(1)的外表面固定安装有载板(7)，所述液压缸(6)固定安装在载板(7)的外表面。

3.根据权利要求2所述的脱胶机喷淋结构，其特征在于：所述液压杆(8)的端部固定安装有驱动杆(9)，所述传动杆(10)远离喷淋管(5)的一端与驱动杆(9)活动铰接。

4.根据权利要求2所述的脱胶机喷淋结构，其特征在于：所述脱胶机主体(1)的内部固定安装有固定板(13)，所述固定板(13)的外表面固定安装有限位环(14)，所述喷淋管(5)远离固定座(11)的一端转动连接在限位环(14)的内部，所述喷淋管(5)的外表面固定安装有喷头(12)。

5.根据权利要求1所述的脱胶机喷淋结构，其特征在于：所述排水槽(4)的内部安装有过滤网，所述排水槽(4)的下表面固定安装有排水管(3)。

6.根据权利要求1所述的脱胶机喷淋结构，其特征在于：所述脱胶机主体(1)的内壁两侧均固定连接有挡杆(15)，所述挡杆(15)的上表面固定连接有支撑座(16)，所述插片花篮(2)的两端均固定连接有限位杆(17)，所述限位杆(17)活动卡接在支撑座(16)的上表面。

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