CN213725397U - 晶圆针测机用空气净化装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种晶圆针测机用空气净化装置，所述净化装置设置于所述晶圆针测机的一侧，其特征在于：包括壳体，所述壳体内设置有风机，所述壳体的进风端设置有格栅挡板，所述壳体的出风端设置有用于净化空气的滤芯，外部气流进入壳体后通过滤芯的进一步过滤进入到晶圆针测机。本实用新型的有益效果体现在：设置于晶圆针测机的一侧，通过加装滤芯，使过滤后的空气进入到机台内部，从而保证机台内部呈现正压，减少内部微尘进入，避免晶圆受污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆针测机用空气净化装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。在进入构装前一般都需要对芯片作电性功能上的测试，以过滤出电性功能不良的芯片,从而避免对不良品增加制造成本。现有测试是通过晶圆针测机进行检测，利用承载平台托举晶圆接触探针卡测试。为避免机台内部微尘量过大，影响产品品质，一般的晶圆针测机的侧部会安装有排风扇，将机台内部的空气排出，但排风扇的使用容易对晶圆针测机内部造成负压，导致外部气流进入，使空气中的微尘落在晶圆表面，造成晶圆污染。
实用新型内容
为了解决现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆针测机用空气净化装置。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：
一种晶圆针测机用空气净化装置，所述净化装置设置于所述晶圆针测机的一侧，包括壳体，所述壳体内设置有风机，所述壳体的进风端设置有格栅挡板，所述壳体的出风端设置有用于净化空气的滤芯，外部气流进入壳体后通过滤芯的进一步过滤进入到晶圆针测机。
优选地，所述壳体的出风端设置有一背板，所述背板上设置有一滤芯。
优选地，所述背板的壳体侧设置有卡槽，所述滤芯设置于所述卡槽内。
优选地，所述壳体内焊接有风机固定板，所述风机设置于所述风机固定板上。
优选地，所述壳体的上端设置有用于检修更换滤芯的开口，所述开口上设置有盖板。
优选地，所述盖板与所述壳体枢轴连接或螺纹连接。
优选地，所述壳体的侧部开设有电连接口。
本实用新型的有益效果体现在：设置于晶圆针测机的一侧，通过加装滤芯，使过滤后的空气进入到机台内部，从而保证机台内部呈现正压，减少内部微尘进入，避免晶圆受污染。
附图说明
图1：本实用新型的立体结构示意图。
图2：本实用新型的爆炸图。
图3：本实用新型的壳体组件示意图。
其中，1，壳体；11，电连接口；12，风机固定板；2，卡槽；3，风机；4，格栅挡板；5，盖板；6，滤芯。
具体实施方式
以下结合实施例具体阐述本实用新型的技术方案，本实用新型揭示了一种晶圆针测机用空气净化装置，所述净化装置设置于所述晶圆针测机的一侧。结合图1-图3所示，所述净化装置包括壳体1，所述壳体1的侧部开设有电连接口11。所述壳体1内设置有风机3，为保证安全性，所述壳体1的进风端设置有格栅挡板4，所述壳体1的出风端设置有用于净化空气的滤芯6，外部气流进入壳体1后通过滤芯的进一步过滤进入到晶圆针测机。
本实施例中，所述壳体1内焊接有一风机固定板12，所述风机固定板12上开设有与所述风机外轮廓相当的风机卡口，所述风机3卡设在所述风机卡口内。所述格栅挡板4上开设有蜂窝状通孔形成栅格。对于通孔的形状本实用新型不作特定限定。所述格栅挡板4可以和壳体1采用分体式，也可以直接采用在壳体1的进风端直接打孔形成栅格。为加工及拆卸方便，本实施例中优选的采用分体式结构。
所述壳体1的出风端设置有一背板，所述背板上设置有一滤芯6。为了便于对滤芯6进行更换，所述背板的壳体侧设置有卡槽2，所述卡槽2上端开设有一开口，所述滤芯6从所述开口插置于所述卡槽2内。为最大化的进行过滤，所述滤芯6的大小一般在所述背板上呈最大面积设置。
由于滤芯在使用一段时间后会受到灰尘等的污染，需要定期进行更滑，为了便于更换，所述壳体1的上端设置有开口，所述开口设置于所述背板卡槽的正上方，所述开口上活动连接有盖板5。所述盖板5与所述壳体1采用枢轴连接或螺纹连接。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
当然本实用新型尚有多种具体的实施方式，在此就不一一列举。凡采用等同替换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。
Claims (7)
1.一种晶圆针测机用空气净化装置，所述净化装置设置于所述晶圆针测机的一侧，其特征在于：包括壳体，所述壳体内设置有风机，所述壳体的进风端设置有格栅挡板，所述壳体的出风端设置有用于净化空气的滤芯，外部气流进入壳体后通过滤芯的进一步过滤进入到晶圆针测机。
2.如权利要求1所述的晶圆针测机用空气净化装置，其特征在于，所述壳体的出风端设置有一背板，所述背板上设置有一滤芯。
3.如权利要求2所述的晶圆针测机用空气净化装置，其特征在于，所述背板的壳体侧设置有卡槽，所述滤芯设置于所述卡槽内。
4.如权利要求1所述的晶圆针测机用空气净化装置，其特征在于，所述壳体内焊接有风机固定板，所述风机设置于所述风机固定板上。
5.如权利要求1所述的晶圆针测机用空气净化装置，其特征在于，所述壳体的上端设置有用于检修更换滤芯的开口，所述开口上设置有盖板。
6.如权利要求5所述的晶圆针测机用空气净化装置，其特征在于，所述盖板与所述壳体枢轴连接或螺纹连接。
7.如权利要求1所述的晶圆针测机用空气净化装置，其特征在于，所述壳体的侧部开设有电连接口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022069343.7U CN213725397U (zh) | 2020-09-21 | 2020-09-21 | 晶圆针测机用空气净化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022069343.7U CN213725397U (zh) | 2020-09-21 | 2020-09-21 | 晶圆针测机用空气净化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213725397U true CN213725397U (zh) | 2021-07-20 |
Family
ID=76844684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022069343.7U Active CN213725397U (zh) | 2020-09-21 | 2020-09-21 | 晶圆针测机用空气净化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213725397U (zh) |
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2020
- 2020-09-21 CN CN202022069343.7U patent/CN213725397U/zh active Active
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