CN213716869U - 一种晶片腐蚀用夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片生产技术领域，尤其涉及一种晶片腐蚀用夹具，包括滑动卡塞和两块对称设置的夹持片，所述夹持片包括一体成型的夹头和夹柄，所述夹头呈菱形结构，所述夹头的一角与夹柄连接，所述夹柄远离夹头的一端固定连接有握柄，两块所述夹头远离夹柄的两边之间固定连接有连接块，所述连接块的的纵向截面呈V形结构，两块所述夹柄均穿设在滑动卡塞内，所述滑动卡塞能够沿着夹柄的轴向方向滑动。本实用新型的一种晶片腐蚀用夹具，采用双层结构的设计，在进行腐蚀的过程中即使抖动晶片也不易掉落，进而在一定程度上保证了晶片腐蚀的效果。

Description

一种晶片腐蚀用夹具

技术领域

本实用新型涉及晶片生产技术领域，尤其涉及一种晶片腐蚀用夹具。

背景技术

在晶片的加工中，腐蚀过程是重要的一环，用于磨边和研磨过后晶片的清洗。晶片研磨后，其表面粗糙度较大，并且表面还附着研磨液等杂质，因此需要进行腐蚀，对其表面进行加工。采用酸碱性溶液，对晶片的产生腐蚀作用，使其掉量并去除多余的物质，晶片表面光滑洁净无污染，有助于下一道工序的完成。

在腐蚀过程中需要使用夹具进行夹取晶片，并且还需要夹取进腐蚀液中，完成腐蚀过程，对于一般的夹具而言，晶片与夹具的接触面都较大，造成晶片表面腐蚀不够均匀，夹具与晶片的接触地方没有腐蚀，造成晶片表面平整度不同，并且颜色不均匀。

而对于现有的一些改进的夹具而言，虽然减小了晶片与夹具的接触面积，但是对晶片的固定不稳，由于晶片在腐蚀时需要进行抖动，极易导致晶片在腐蚀过程中掉落，进而影响晶片的腐蚀效果。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种晶片腐蚀用夹具，采用双层结构的设计，在进行腐蚀的过程中即使抖动晶片也不易掉落，进而在一定程度上保证了晶片腐蚀的效果。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种晶片腐蚀用夹具，包括滑动卡塞和两块对称设置的夹持片，所述夹持片包括一体成型的夹头和夹柄，所述夹头呈菱形结构，所述夹头的一角与夹柄连接，所述夹柄远离夹头的一端固定连接有握柄，两块所述夹头远离夹柄的两边之间固定连接有连接块，所述连接块的的纵向截面呈V形结构，两块所述夹柄均穿设在滑动卡塞内，所述滑动卡塞能够沿着夹柄的轴向方向滑动。

进一步，所述滑动卡塞上于朝向夹头的一端开设有固定槽，所述固定槽的纵向截面呈V形结构。

进一步，所述夹头和夹柄上均开设有通孔。

进一步，两块所述夹持片之间的距离为0.5mm。

进一步，所述夹头的长度为整个夹具长度的1/4。

进一步，所述握柄的长度为整个夹具长度的1/4。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型的一种晶片腐蚀用夹具，采用双层结构的设计，晶片置于双层结构内，在晶片两侧均有保护，在进行腐蚀的过程中即使抖动也不易掉落，进而在一定程度上保证了晶片腐蚀的效果。

2.本实用新型的一种晶片腐蚀用夹具，由于连接块和滑动卡塞上的凹槽均是V形结构，结合夹头的菱形结构，在使用的过程中，仅夹具晶片的边缘和连接块进行点接触，晶片的表面处于悬空状态，在进行腐蚀时，晶片表面能够快速反应，避免遮挡物对晶片局部遮挡，导致晶片表面掉量不均匀，出现颜色不同，平整度降低的情况。

3.本实用新型的一种晶片腐蚀用夹具，在夹头和夹柄上开设了通孔，在进行腐蚀操作时，便于腐蚀液的流动，使得腐蚀液能够快速的覆盖整个晶片，使得晶片掉量均匀。

4.本实用新型的一种晶片腐蚀用夹具，在夹头、夹柄对应的位置均是双层镂空的结构，仅握柄采用实体结构，整体更轻便，更便于操作和携带。

附图说明

图1是本实用新型一种晶片腐蚀用夹具的立体结构示意图；

图2是本实用新型一种晶片腐蚀用夹具的俯视图；

图3是本实用新型一种晶片腐蚀用夹具的滑动卡塞的结构示意图其中，滑动卡塞1、固定槽11、夹持片2、夹头21、夹柄22、通孔23、握柄3、连接块4。

具体实施方式

以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1-图3所示，本实用新型的一种晶片腐蚀用夹具，包括滑动卡塞1和两块对称设置的夹持片2，两块夹持片2之间的距离为0.5mm，该距离能够容纳晶片放入，且能够较好的固定晶片，如果距离太宽，会导致晶片不稳，夹持片2包括一体成型的夹头21和夹柄22，夹头21呈菱形结构，且夹头21的长度为整个夹具长度的1/4，夹头21的一角与夹柄22连接，夹柄22远离夹头21的一端固定连接有握柄3，握柄3的长度占夹具整体长度的1/4，握柄3和夹柄22固定焊接在一起，且握柄3和夹柄22总长度为整个夹具长的的3/4，稳定性较好，两块夹头21远离夹柄22的两边之间采用焊接或其它方式固定连接有连接块4，连接块4的的纵向截面呈V形结构，两块夹头21和连接块4形成一个半闭合的结构，晶片从两块夹头21没有连接的两边处放入夹头21之间，由于夹头21的菱形结构，结合连接块4的结构设计，在使用的过程中，晶片仅有边缘处与连接块4进行点接触，晶片表面则是悬空的，在腐蚀时能够尽可能保证腐蚀掉量的均匀性，而两块夹头21则正好位于晶片表面两边，对晶片进行保护，降低晶片的掉落的可能性。

夹头21和夹柄22上均开设有通孔23，通孔23的形状可以是圆形、方形、三角形或者其它形状，优选的，为了保证整体结构的稳定性，在夹头21和夹柄22上的通孔23应该具有对称性，并且开孔面积尽可能的大，能够更有利于腐蚀液的流动。具体的，本实施例中，每块夹头21上均开设了两个三角形的通孔，两个三角形的通孔以夹头21的的轴向中线为中心对称分布在两侧，且夹头上开孔总面积为整个夹头21总面积的2/3，而每块夹柄22上均开设了长方形的通孔，夹柄上通孔的开孔面积占据夹柄总面积的2/3，且长方形的通孔的中轴线和夹柄22的中轴线相重合，该结构的设置能够便于腐蚀液快速流进整个夹具，增大晶片的腐蚀速度和腐蚀面积，且能够有利于让晶片表面全部浸入到腐蚀液中，使得晶片掉量均匀、全面。

两块夹柄22均穿设在滑动卡塞1内，滑动卡塞1能够沿着夹柄22的轴向方向滑动，滑动卡塞1上于朝向夹头21的一端开设有固定槽11，固定槽11的纵向截面呈V形结构，在进行晶片腐蚀时，在将晶片放置在夹头21之间后，再滑动滑动卡塞1，使得晶片的边缘部分卡入固定槽11内，此时，晶片的边缘部分和连接块4相接触的位置，以及和滑动卡塞1接触的位置，相互之间形成稳定的三角形结构，因此，进一步保证了晶片在整个腐蚀过程中的稳定性。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (6)

1.一种晶片腐蚀用夹具，其特征在于：包括滑动卡塞和两块对称设置的夹持片，所述夹持片包括一体成型的夹头和夹柄，所述夹头呈菱形结构，所述夹头的一角与夹柄连接，所述夹柄远离夹头的一端固定连接有握柄，两块所述夹头远离夹柄的两边之间固定连接有连接块，所述连接块的纵向截面呈V形结构，两块所述夹柄均穿设在滑动卡塞内，所述滑动卡塞能够沿着夹柄的轴向方向滑动。

2.根据权利要求1所述的一种晶片腐蚀用夹具，其特征在于：所述滑动卡塞上于朝向夹头的一端开设有固定槽，所述固定槽的纵向截面呈V形结构。

3.根据权利要求2所述的一种晶片腐蚀用夹具，其特征在于：所述夹头和夹柄上均开设有通孔。

4.根据权利要求3所述的一种晶片腐蚀用夹具，其特征在于：两块所述夹持片之间的距离为0.5mm。

5.根据权利要求4所述的一种晶片腐蚀用夹具，其特征在于：所述夹头的长度为整个夹具长度的1/4。

6.根据权利要求5所述的一种晶片腐蚀用夹具，其特征在于：所述握柄的长度为整个夹具长度的1/4。

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