CN213624466U - 单晶炉除尘装置和系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种单晶炉除尘装置和系统，装置包括过滤罐和第一灰尘缓存结构，其中，所述过滤罐包括第一排污口；所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接，所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接，所述第一灰尘缓存结构包括内腔，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。本实用新型可以实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高。

Description

单晶炉除尘装置和系统

技术领域

本实用新型涉及单晶制造技术领域，特别是涉及一种单晶炉除尘装置和一种单晶炉除尘系统。

背景技术

目前，生产单晶硅的主要方法是直拉法，在采用直拉法生产单晶硅时，整个单晶硅的生产过程都在密闭且有惰性保护气体的单晶炉内进行，由于生产过程中需要较高的温度，因此，在生产过程中会产生大量的SiO(氧化硅)等挥发物。现有技术对于这些挥发物的除尘方式是在单晶炉的后端连接一个过滤罐对挥发物进行过滤，该过滤罐安装在真空泵与单晶炉之间，通过真空泵抽出过滤罐过滤后的灰尘。

上述现有技术对单晶炉内挥发物的除尘方式还存在以下问题：真空泵抽出的灰尘会沉积在真空泵油中，导致需要频繁的在单晶炉生产完成后更换真空泵油，导致清理工作量大，且单晶炉的生产效率低。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型实施例的目的在于提供一种单晶炉除尘装置和相应的一种单晶炉除尘系统，以解决现有技术中的除尘方式需要频繁的在单晶炉生产完成后更换真空泵油的问题。

为了解决上述问题，本实用新型实施例公开了一种单晶炉除尘装置，包括过滤罐和第一灰尘缓存结构，其中，

所述过滤罐包括第一排污口；

所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接，所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接，所述第一灰尘缓存结构包括内腔，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。

为了解决上述问题，本实用新型实施例还公开了一种单晶炉除尘系统，包括至少一个单晶炉、抽真空设备以及所述的单晶炉除尘装置，所述至少一个单晶炉与所述单晶炉除尘装置中至少一个过滤罐一一对应连接，所述抽真空设备与所述单晶炉除尘装置中第一灰尘缓存结构连接。

本实用新型实施例包括以下优点：设置过滤罐包括第一排污口和在过滤罐外设置具有内腔的第一灰尘缓存结构，从而在外部抽真空设备对第一灰尘缓存结构和过滤罐抽真空时，通过第一灰尘缓存结构的内腔缓存过滤罐中抽出的至少部分灰尘，其中，在内腔缓存过滤罐中抽出的部分灰尘时，其余过滤罐中抽出的灰尘进入抽真空设备，在内腔缓存过滤罐中抽出的全部灰尘时，无灰尘进入抽真空设备，实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率或无需清理抽真空设备，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高。

附图说明

图1是本实用新型的一种单晶炉除尘装置实施例的结构示意图；

图2是本实用新型的另一种单晶炉除尘装置实施例的结构示意图；

图3是本实用新型的一种单晶炉除尘装置实施例中过滤罐的结构示意图；

图4是本实用新型的另一种单晶炉除尘装置实施例具有多个过滤罐的结构示意图；

图5是本实用新型的一种单晶炉除尘装置实施例中过滤罐的内部结构示意图；

图6是本实用新型的一种单晶炉除尘系统实施例的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参照图1，其示出了本实用新型的一种单晶炉除尘装置1实施例的结构示意图，该单晶炉除尘装置1可以包括过滤罐2和第一灰尘缓存结构3，其中，过滤罐2包括第一排污口21；第一灰尘缓存结构3与第一排污口21连接，第一灰尘缓存结构3可与外部抽真空设备连接，第一灰尘缓存结构3包括内腔31，在抽真空设备对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空的情况下，内腔31可缓存过滤罐2中抽出的灰尘。

具体地，抽真空设备可以为真空泵(油泵或干泵)或其它抽真空设备。其中，在内腔31缓存过滤罐2中抽出的部分灰尘时，此时，抽真空设备为油泵或其它允许灰尘进入的抽真空设备时，其余过滤罐中抽出的灰尘可进入抽真空设备，实现有效减少进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高。在内腔31缓存过滤罐2中抽出的全部灰尘时，此时，无灰尘进入抽真空设备，抽真空设备可以为油泵或干泵或其它任意抽真空设备时，只需清理过滤罐2外部和抽真空设备外部的第一灰尘缓存结构3缓存的灰尘即可，无需清理抽真空设备，清理工作更简单和高效，且提高了单晶炉的生产效率。

可选地，过滤罐2的本体可以由不锈钢材料或其它金属材料形成。

具体地，如图1所示，过滤罐2还包括进气口22和出气口23，进气口22与单晶炉的尾气出口连接，在过滤罐2正常工作时，即过滤罐2对单晶炉的尾气进行过滤时，可以打开进气口22，使单晶炉与过滤罐2连通，来自单晶炉的尾气进入过滤罐2，经过滤罐2过滤后，打开过滤罐2上的出气口23，过滤后的尾气排出过滤罐2，从而实现对单晶炉内尾气的过滤。在需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，可以关闭进气口22和出气口23，打开第一排污口21，且使第一排污口21与第一灰尘缓存结构3连通，外部抽真空设备使过滤罐2中的灰尘从第一排污口21进入第一灰尘缓存结构3，第一灰尘缓存结构3缓存至少部分灰尘，此时，部分灰尘进入抽真空设备或无灰尘进入抽真空设备。可选地，进气口22可以设置在过滤罐2的侧部，且进气口22可以靠近过滤罐2的底部。可选地，进气口22和出气口23可以设置在过滤罐2相对的两侧，从而可以增大单晶炉的尾气在过滤罐2内的行程，使过滤后的灰尘更均匀的分布在过滤罐2中，便于后续对过滤罐2的清理。

可选地，在本实用新型的一个实施例中，如图1所示，第一灰尘缓存结构3可以包括第一壳体32，其中，内腔31设置于第一壳体32，第一壳体32可以包括第一清洁口321和第二排污口322，第一清洁口321与第一排污口21连接，第二排污口322可与抽真空设备连接，第一清洁口321与第一排污口21之间或第二排污口322与抽真空设备之间的至少一个设置第一开关4其中，第一壳体32为密封的壳体，从而可以确保内腔31可以维持真空环境。此时，内腔31可以缓存过滤罐2中抽出的部分灰尘，其余过滤罐中抽出的灰尘进入抽真空设备，抽真空设备为油泵或其它允许灰尘进入的抽真空设备。

具体地，通过第一开关4，可以控制第一排污口21与抽真空设备之间的连通或断开连通，即在抽真空设备需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，通过第一开关4控制第一排污口21与抽真空设备之间连通，在抽真空设备不需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，通过第一开关4控制第一排污口21与抽真空设备之间断开连通。可选地，第一开关4可以为第一阀门或其它开关。

可选地，在本实用新型的另一个实施例中，如图2所示，第一灰尘缓存结构3可以包括具有内腔31的第二壳体33和第一过滤结构34，第一过滤结构34设置在内腔31中，第二壳体33设置有第二清洁口331和第三排污口332，第一过滤结构34设置在第二清洁口331和第三排污口332之间，第二清洁口331与第一排污口21连接，第三排污口332可与抽真空设备连接，第二清洁口331与第一排污口21之间或第三排污口332与抽真空设备之间的至少一个设置第二开关5。其中，第二壳体33为密封的壳体，从而可以确保内腔31可以维持真空环境。

具体地，通过在内腔31中设置第一过滤结构34，从而进入内腔31的灰尘通过第一过滤结构34进行过滤，进入内腔31的部分或全部灰尘缓存在第一过滤结构34内，相应的，此时，部分灰尘进入抽真空设备或无灰尘进入抽真空设备。

其中，在第一过滤结构34缓存过滤罐2中抽出的部分灰尘时，抽真空设备为油泵或其它允许灰尘进入的抽真空设备，在第一过滤结构34缓存过滤罐2中抽出的全部灰尘时，抽真空设备既可以为油泵，也可以为干泵或其它任意抽真空设备。

具体地，通过第二开关5，可以控制第一排污口21与抽真空设备之间的连通或断开连通，即在抽真空设备需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，通过第二开关5控制第一排污口21与抽真空设备之间连通，在抽真空设备不需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，通过第二开关5控制第一排污口21与抽真空设备之间断开连通。可选地，第二开关5可以为第二阀门或其它开关。

可选地，第一过滤结构34可以包括过滤袋或过滤网等，其中，在第一过滤结构34包括过滤袋时，进入内腔31的全部灰尘缓存在过滤袋内(此时，抽真空设备可以为油泵或干泵或其它任意抽真空设备)，在第一过滤结构34包括过滤网时，进入内腔31的部分灰尘缓存在过滤网内，其余灰尘进入抽真空设备(此时，抽真空设备可以为油泵或其它允许灰尘进入的抽真空设备)。

可选地，在本实用新型的另一个实施例中，第一灰尘缓存结构3还可以包括固定设置在内腔31中的第一支架333，第一支架333上设置有第一通孔，第一过滤结构34设置在第一支架333靠近第三排污口332的一侧，第一过滤结构34与第一通孔对应设置，且第一过滤结构34与第一支架333连接。通过第一支架333不仅可以实现支撑第一过滤结构34，且确保从第二清洁口331进来的灰尘可以进入第一过滤结构34。

可选地，第一过滤结构34的数量可以为多个，则第一通孔的数量也为多个，多个第一过滤结构34与多个第一通孔一一对应设置。以实现第一灰尘缓存结构3缓存更多的灰尘。

可选地，在本实用新型的一个实施例中，如图1和图2所示，过滤罐2可以包括第三清洁口24和可伸缩的第二过滤结构25，第三清洁口24可通入惰性气体，第二过滤结构25设置在过滤罐2内，且第二过滤结构25设置在第三清洁口24和第一排污口21之间，在第三清洁口24通入惰性气体的情况下，第二过滤结构25过滤的灰尘可脱落。通过设置过滤罐2包括第三清洁口24、第一排污口21以及可伸缩的第二过滤结构25，由于第二过滤结构25设置在第三清洁口24和第一排污口21之间。从而在单晶炉生产单晶硅的过程中关闭进气口22和出气口23，以及打开第三清洁口24，或在单晶炉生产完成后，打开第三清洁口24，通过在第三清洁口24通入高速的惰性气体，对第二过滤结构25进行喷吹，使第二过滤结构25进行伸缩运动，第二过滤结构25过滤的灰尘可脱落至过滤罐2的底部，实现无需打开过滤罐2而自动对第二过滤结构25除尘，避免了氧气进入过滤罐2中，造成爆炸的风险，节省了大量的人力和物力。其中，在单晶炉生产单晶硅的过程中对第二过滤结构25除尘可以在单晶炉生产单晶硅的熔料阶段和/或收尾阶段等进行。此外，在外部抽真空设备对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，打开第一排污口21，且使第一排污口21与第一灰尘缓存结构3连通，通过第一灰尘缓存结构3缓存至少部分从过滤罐2中抽出的灰尘(包括第二过滤结构25脱落的灰尘)，实现有效减少进入抽真空设备的灰尘和自动清理过滤罐2，无需打开过滤罐2，延长了过滤罐2和抽真空设备的工作时间，降低打开过滤罐2和清理抽真空设备的频率，清理和维护工作量有效减小，且单晶炉的生产效率获得极大提高。

可选地，可以对第三清洁口24采用脉冲方式或其它方式通入惰性气体。

可选地，第二过滤结构25可以为过滤袋或其它可伸缩过滤结构。可选地，惰性气体可以为氩气或其它惰性气体。其中，在抽真空设备对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，抽真空设备在抽出灰尘的同时，惰性气体也被抽出。若抽真空设备与第三清洁口24连接，则惰性气体通过抽真空设备后可回到第三清洁口24，实现回收利用惰性气体，降低成本。

可选地，在本实用新型的一个实施例中，如图3所示，单晶炉除尘装置1还可以包括第二灰尘缓存结构6，第二灰尘缓存结构6设置在第二过滤结构25和第一排污口21之间，第二灰尘缓存结构6与第二过滤结构25连接，在抽真空设备对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空的情况下，第二灰尘缓存结构6可缓存第二过滤结构25脱落的部分灰尘。通过第一灰尘缓存结构3和第二灰尘缓存结构6可以实现进一步减少过滤罐2中的灰尘进入抽真空设备，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率。同时，通过第二灰尘缓存结构6缓存部分第二过滤结构25脱落的灰尘，可以降低抽真空设备的工作频率，延长过滤罐2的工作时间，降低清理过滤罐2和清理抽真空设备的频率，单晶炉的生产效率获得极大提高。

可选地，在第二过滤结构25的数量为多个时，第二灰尘缓存结构6的数量也相应的为多个，多个第二灰尘缓存结构6与多个第二过滤结构25一一对应设置，以实现每个第二过滤结构25脱落的灰尘进入对应的第二灰尘缓存结构6，延长多个第二过滤结构25的工作时长，过滤罐2的工作时长也相应延长，实现降低清理过滤罐2的频率，提高单晶炉的生产效率。

可选地，第二过滤结构25可以包括第一过滤袋，第二灰尘缓存结构6可以包括第一过滤网，第一过滤网与第一过滤袋连接。从而第二过滤结构25脱落的灰尘可以进入第二灰尘缓存结构6，且第二灰尘缓存结构6缓存部分第二过滤结构25脱落的灰尘，第二过滤结构25脱落的其它灰尘经第一过滤网脱落至过滤罐2的底部，过滤罐2的底部靠近第一排污口21。

可选地，如图1、图2以及图3所示，过滤罐2还可以包括固定设置在过滤罐2内的第二支架26，第二支架26上设置有第二通孔、第三通孔以及第一通道，第一通道与单晶炉的尾气出口连接，第二通孔和第三通孔与第一通道连接，第二通孔与第三通孔对应设置，第一过滤袋与第二通孔连接，第一过滤网与第三通孔连接。通过第二支架26可以实现固定第一过滤袋和第一过滤网，且由于第二支架26包括第二通孔、第三通孔以及第一通道，不仅可以实现单晶炉的尾气从第一通道和第二通孔进入第一过滤袋，且可以实现第一过滤袋脱落的灰尘从第二通孔、第一通道以及第三通孔进入第一过滤网。

可选地，第二通孔可以包括沿第二支架26所在平面弯曲的第二通道，和/或第三通孔可以包括沿第二支架26所在平面弯曲的第三通道。通过设置第二通孔和/或第三通孔包括弯曲的通道，从而可以避免进入第一过滤网的灰尘从第三通孔、第一通道以及第二通孔回到第一过滤袋的情况发生。

可选地，在本实用新型的一个实施例中，如图4所示，过滤罐2的数量可以为至少两个，至少两个过滤罐2的第一排污口21与第一灰尘缓存结构3连接。从而实现至少两个过滤罐2并联设置。此时，第一灰尘缓存结构3可缓存至少两个过滤罐2中抽出的至少部分灰尘。

可选地，过滤罐2内还可以包括其它结构，例如，如图5所示，过滤罐2内部自上向下依次可以设置有第三支架27、至少一个第一移动板28、多个上述的第二过滤结构25以及上述的第二支架26，第二支架26与第三支架27之间还设置有支撑杆29，支撑杆29用于固定第二支架26与第三支架27，第二过滤结构25中第一过滤袋的一端固定连接在对应的第二通孔上，第二过滤结构25中第一过滤袋的另一端连接在第一移动板28上。通过第一移动板28的上下移动可以带动第一过滤袋上下伸缩，实现自动清理第一过滤袋内的灰尘。

具体地，第一移动板28可以与驱动机构连接，驱动机构可以使第一移动板28上下移动。可选地，驱动机构可以包括电磁阀或气缸等能够提供较大动力的机构。

可选地，如图1、图2以及图3所示，过滤罐2可以包括三通阀210，三通阀210的进口可以作为第三清洁口24，三通阀210的出口可以作为过滤罐2的出气口23，三通阀210的换向口可以与过滤罐2内部连通。从而通过控制三通阀210，即可实现控制出气口23停止出气且第三清洁口24通入惰性气体，或实现控制第三清洁口24停止通入惰性气体且出气口23出气。其中，在出气口23设置在过滤罐2的顶部的情况下，第三清洁口24也设置在过滤罐2的顶部。

可选地，第三清洁口24的数量可以为至少两个，其中部分第三清洁口24设置在过滤罐2的顶部，另一部分第三清洁口24设置在过滤罐2的侧部，第一排污口21设置在过滤罐2的底部。这样，不仅可以通过过滤罐2顶部的部分第三清洁口24通入高速惰性气体，使第二过滤结构25在上下方向发生形变，第二过滤结构25内的灰尘脱落，还可以通过过滤罐2侧部的另一部分第三清洁口24通入高速惰性气体，使第二过滤结构25在左右方向发生形变，第二过滤结构25内的灰尘脱落，对第二过滤结构25的清理更快速，缩短了清理第二过滤结构25的时间。可选地，惰性气体可以储存在储气罐中，储气罐可以与抽真空设备和上述至少两个第三清洁口24连接。抽真空设备将抽出的惰性气体回送至储气罐。

上述图2中，7为抽真空设备。

本实用新型实施例的单晶炉除尘装置包括以下优点：

通过设置过滤罐包括第一排污口和在过滤罐外设置具有内腔的第一灰尘缓存结构，从而在外部抽真空设备对第一灰尘缓存结构和过滤罐抽真空时，通过第一灰尘缓存结构的内腔缓存过滤罐中抽出的至少部分灰尘，其中，在内腔缓存过滤罐中抽出的部分灰尘时，其余过滤罐中抽出的灰尘进入抽真空设备，在内腔缓存过滤罐中抽出的全部灰尘时，无灰尘进入抽真空设备，实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率或无需清理抽真空设备，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高；

此外，设置单晶炉除尘装置包括第二灰尘缓存结构，通过第二灰尘缓存结构缓存部分第二过滤结构脱落的灰尘，能进一步降低清理过滤罐和清理抽真空设备的频率，单晶炉的生产效率获得极大提高。

本实用新型实施例还公开了一种单晶炉除尘系统，如图6所示，该单晶炉除尘系统可以包括至少一个单晶炉8、抽真空设备7以及上述的单晶炉除尘装置1，至少一个单晶炉与单晶炉除尘装置1中至少一个过滤罐2一一对应连接，抽真空设备7与单晶炉除尘装置1中第一灰尘缓存结构3连接。

这样，由于单晶炉除尘装置1中第一灰尘缓存结构3可缓存过滤罐2中抽出的至少部分灰尘，仅部分灰尘进入抽真空设备7或无灰尘进入抽真空设备7，从而通过一个抽真空设备7即可对单晶炉除尘装置1中至少一个过滤罐2和第一灰尘缓存结构3进行抽真空，实现自动清理单晶炉除尘装置1中的至少一个过滤罐2内的至少部分灰尘。

可选地，在单晶炉除尘装置1包括第一壳体32的情况下，单晶炉除尘系统还可以包括压力检测模块和控制器，其中，压力检测模块检测第一壳体32的内腔31中压力；控制器与压力检测模块连接，控制器根据压力调整抽真空设备的功率，以使内腔31的压力小于预设压力。

具体地，在内腔31中缓存的灰尘增加时，压力检测模块检测的压力相应变化，由于通过压力检测模块和控制器调整抽真空设备7的功率，可以使内腔31的压力小于预设压力，从而可以确保内腔31的灰尘量小于或等于预设灰尘量(此时，部分灰尘可进入抽真空设备7)，以延长第一灰尘缓存结构3的工作时长，降低清理内腔31中灰尘的频率。这种情况下，抽真空设备7可以为油泵或其它允许灰尘进入的抽真空设备7。

可选地，压力检测模块可以包括压力传感器等结构。

本实用新型实施例的单晶炉除尘系统包括以下优点：通过设置过滤罐包括第一排污口和在过滤罐外设置具有内腔的第一灰尘缓存结构，从而在外部抽真空设备对第一灰尘缓存结构和过滤罐抽真空时，通过第一灰尘缓存结构的内腔缓存过滤罐中抽出的至少部分灰尘，其中，在内腔缓存过滤罐中抽出的部分灰尘时，其余过滤罐中抽出的灰尘进入抽真空设备，在内腔缓存过滤罐中抽出的全部灰尘时，无灰尘进入抽真空设备，实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率或无需清理抽真空设备，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高；

此外，设置单晶炉除尘装置包括第二灰尘缓存结构，通过第二灰尘缓存结构缓存部分第二过滤结构脱落的灰尘，能进一步降低清理过滤罐和清理抽真空设备的频率，单晶炉的生产效率获得极大提高。

对于单晶炉除尘系统实施例而言，由于其包括上述的单晶炉除尘装置，所以描述的比较简单，相关之处参见上述的单晶炉除尘装置实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

尽管已描述了本实用新型实施例的可选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括可选实施例以及落入本实用新型实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本实用新型所提供的一种单晶炉除尘装置和一种单晶炉除尘系统，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (11)

1.一种单晶炉除尘装置，其特征在于，包括过滤罐和第一灰尘缓存结构，其中，

所述过滤罐包括第一排污口；

所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接，所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接，所述第一灰尘缓存结构包括内腔，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。

2.根据权利要求1所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第一灰尘缓存结构包括第一壳体，所述内腔设置于所述第一壳体，所述第一壳体包括第一清洁口和第二排污口，所述第一清洁口与所述第一排污口连接，所述第二排污口可与所述抽真空设备连接，所述第一清洁口与所述第一排污口之间或所述第二排污口与所述抽真空设备之间的至少一个设置第一开关。

3.根据权利要求2所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第一灰尘缓存结构包括具有所述内腔的第二壳体和第一过滤结构，所述第一过滤结构设置在所述内腔中，所述第二壳体设置有第二清洁口和第三排污口，所述第一过滤结构设置在所述第二清洁口和所述第三排污口之间，所述第二清洁口与所述第一排污口连接，所述第三排污口可与所述抽真空设备连接，所述第二清洁口与所述第一排污口之间或所述第三排污口与所述抽真空设备之间的至少一个设置第二开关。

4.根据权利要求3所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第一灰尘缓存结构还包括固定设置在所述内腔中的第一支架，所述第一支架上设置有第一通孔，所述第一过滤结构设置在所述第一支架靠近所述第三排污口的一侧，所述第一过滤结构与所述第一通孔对应设置，且所述第一过滤结构与所述第一支架连接。

5.根据权利要求1所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述过滤罐包括第三清洁口和可伸缩的第二过滤结构，所述第三清洁口可通入惰性气体，所述第二过滤结构设置在所述过滤罐内，且所述第二过滤结构设置在所述第三清洁口和所述第一排污口之间，在所述第三清洁口通入惰性气体的情况下，所述第二过滤结构过滤的灰尘可脱落；

所述单晶炉除尘装置还包括：

第二灰尘缓存结构，所述第二灰尘缓存结构设置在所述第二过滤结构和所述第一排污口之间，所述第二灰尘缓存结构与所述第二过滤结构连接，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述第二灰尘缓存结构可缓存所述第二过滤结构脱落的部分灰尘。

6.根据权利要求5所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第二过滤结构包括第一过滤袋，所述第二灰尘缓存结构包括第一过滤网，所述第一过滤网与所述第一过滤袋连接。

7.根据权利要求6所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述过滤罐还包括固定设置在所述过滤罐内的第二支架，所述第二支架上设置有第二通孔、第三通孔以及第一通道，所述第一通道与单晶炉的尾气出口连接，所述第二通孔和所述第三通孔与所述第一通道连接，所述第二通孔与所述第三通孔对应设置，所述第一过滤袋与所述第二通孔连接，所述第一过滤网与所述第三通孔连接。

8.根据权利要求7所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第二通孔包括沿所述第二支架所在平面弯曲的第二通道，和/或所述第三通孔包括沿所述第二支架所在平面弯曲的第三通道。

9.根据权利要求1所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述过滤罐的数量为至少两个，所述至少两个过滤罐的所述第一排污口与所述第一灰尘缓存结构连接。

10.一种单晶炉除尘系统，其特征在于，包括至少一个单晶炉、抽真空设备以及权利要求1-9中任一项所述的单晶炉除尘装置，所述至少一个单晶炉与所述单晶炉除尘装置中至少一个过滤罐一一对应连接，所述抽真空设备与所述单晶炉除尘装置中第一灰尘缓存结构连接。

11.根据权利要求10所述的单晶炉除尘系统，其特征在于，在所述单晶炉除尘装置包括第一壳体的情况下，所述单晶炉除尘系统还包括压力检测模块和控制器，其中，

所述压力检测模块检测第一壳体的内腔中压力；

所述控制器与所述压力检测模块连接，所述控制器根据所述压力调整所述抽真空设备的功率，以使所述内腔的压力小于预设压力。

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