CN213583738U

CN213583738U - 一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置

Info

Publication number: CN213583738U
Application number: CN202023325653.7U
Authority: CN
Inventors: 朱红飞
Original assignee: Suzhou Chenxin Microelectronics Co ltd
Current assignee: Suzhou Chenxin Microelectronics Co ltd
Priority date: 2020-12-31
Filing date: 2020-12-31
Publication date: 2021-06-29
Anticipated expiration: 2030-12-31

Abstract

本实用新型公开了一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，包括装置外壳、安装板、衔接板和夹持板，所述装置外壳上焊接固定有伺服电机，且伺服电机的输出端转动连接有第一螺纹杆，所述第二螺纹杆上活动连接有第二连接块，且第二连接块的底端活动连接有推动杆，所述推动杆的底端活动连接有夹持板，且夹持板滑动连接在固定板上。该便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置设置有夹持板，蜗杆结合蜗轮能够带动衔接板进行转动，此时衔接板结合支撑杆能够带动各个限位槽内的限位板同时向中间运动，此时在固定板上夹持板的作用下能够方便快捷的对不同规格大小的晶圆进行夹取托举工作，有效提高了装置的使用便捷性和高效性。

Description

一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置。

背景技术

晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，同时由于其形状为圆形，因此对应的就是硅晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，因此在晶圆的加工过程中，需要结合使用夹取托举装置对稳定码垛的晶圆进行拿取工作。

而现在大多数的晶圆加工用托举装置存在以下几个问题：

一、常规的晶圆加工用托举装置在工作过程中，对于不同规格大小的晶圆不能够进行便捷的夹取托举工作，进而不能够保证后续加工工作的稳定；

二、由于晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，但常规的晶圆加工用托举装置在工作过程中，不能够对晶圆的夹取数量进行便捷的调节工作，进而不能够保证后续加工工作的稳定。

所以我们提出了一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，以解决上述背景技术提出的目前市场上晶圆加工用托举装置对于不同规格大小的晶圆不能够进行便捷的夹取托举工作，以及不能够对晶圆的夹取数量进行便捷的调节工作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，包括装置外壳、安装板、衔接板和夹持板，所述装置外壳上焊接固定有伺服电机，且伺服电机的输出端转动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆上螺纹连接有第一连接块，且第一连接块的底端螺栓固定有液压缸，并且液压缸上螺栓安装有液压杆，所述液压杆的底端螺栓固定有安装板，且安装板上焊接固定有伺服马达，所述衔接板上转动连接有支撑杆，且支撑杆的顶端转动连接有限位板，所述安装板上开设有限位槽，且限位槽内滑动连接有限位板，并且安装板上螺钉连接有橡胶圈，所述限位板的底端焊接固定有固定板，且固定板上转动连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆上活动连接有第二连接块，且第二连接块的底端活动连接有推动杆，所述推动杆的底端活动连接有夹持板，且夹持板滑动连接在固定板上，并且夹持板上螺钉连接有橡胶垫。

优选的，所述伺服马达的输出端转动连接有蜗杆，且蜗杆上啮合连接有蜗轮，并且蜗轮轴连接在安装板内，而且蜗轮通过中心轴焊接固定有衔接板。

优选的，所述蜗轮的中心轴线与安装板的中心轴线和橡胶圈的中心轴线位于同一竖直中心线上，且安装板上等角度分布有支撑杆，并且支撑杆与限位板一一对应。

优选的，所述支撑杆连接在限位板的中间部位，且限位板的横截面呈“L”字形，并且限位板的底端面与安装板的底端面平齐。

优选的，所述限位板固定在固定板的中间部位，且固定板的侧端面与夹持板的侧端面平齐以及橡胶垫的侧端面平齐，并且固定板与夹持板均呈圆弧形。

优选的，所述推动杆与第二连接块和夹持板之间均为铰接，且第二连接块与第二螺纹杆之间为螺纹连接，并且夹持板的长度大于固定板的长度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置；

（1）该装置设置有夹持板，蜗杆结合蜗轮能够带动衔接板进行转动，此时衔接板结合支撑杆能够带动各个限位槽内的限位板同时向中间运动，此时在固定板上夹持板的作用下能够方便快捷的对不同规格大小的晶圆进行夹取托举工作，有效提高了装置的使用便捷性和高效性；

（2）该装置设置有推动杆，通过转动第二螺纹杆能够带动第二连接块向左或向右运动，此时第二连接块结合推动杆能够便捷的推动夹持板在固定板上向上或向下调节运动，能够调节夹持板的使用长度，进而能够方便快捷的调节后续夹持晶圆的片数，有效增加了装置的使用多样性和稳定性。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处结构示意图；

图3为本实用新型橡胶圈俯视结构示意图；

图4为本实用新型蜗轮俯视结构示意图；

图5为本实用新型衔接板俯视结构示意图；

图6为本实用新型图5中B处结构示意图。

图中：1、装置外壳；2、伺服电机；3、第一螺纹杆；4、第一连接块；5、液压缸；6、液压杆；7、安装板；8、伺服马达；9、蜗杆；10、蜗轮；11、衔接板；12、支撑杆；13、限位板；14、限位槽；15、固定板；16、第二螺纹杆；17、第二连接块；18、推动杆；19、夹持板；20、橡胶垫；21、橡胶圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，包括装置外壳1、伺服电机2、第一螺纹杆3、第一连接块4、液压缸5、液压杆6、安装板7、伺服马达8、蜗杆9、蜗轮10、衔接板11、支撑杆12、限位板13、限位槽14、固定板15、第二螺纹杆16、第二连接块17、推动杆18、夹持板19、橡胶垫20和橡胶圈21，装置外壳1上焊接固定有伺服电机2，且伺服电机2的输出端转动连接有第一螺纹杆3，第一螺纹杆3上螺纹连接有第一连接块4，且第一连接块4的底端螺栓固定有液压缸5，并且液压缸5上螺栓安装有液压杆6，液压杆6的底端螺栓固定有安装板7，且安装板7上焊接固定有伺服马达8，衔接板11上转动连接有支撑杆12，且支撑杆12的顶端转动连接有限位板13，安装板7上开设有限位槽14，且限位槽14内滑动连接有限位板13，并且安装板7上螺钉连接有橡胶圈21，限位板13的底端焊接固定有固定板15，且固定板15上转动连接有第二螺纹杆16，第二螺纹杆16上活动连接有第二连接块17，且第二连接块17的底端活动连接有推动杆18，推动杆18的底端活动连接有夹持板19，且夹持板19滑动连接在固定板15上，并且夹持板19上螺钉连接有橡胶垫20。

伺服马达8的输出端转动连接有蜗杆9，且蜗杆9上啮合连接有蜗轮10，并且蜗轮10轴连接在安装板7内，而且蜗轮10通过中心轴焊接固定有衔接板11，可以方便控制蜗轮10在安装板7内转动工作的稳定，增加了装置的使用安全性。

蜗轮10的中心轴线与安装板7的中心轴线和橡胶圈21的中心轴线位于同一竖直中心线上，且安装板7上等角度分布有支撑杆12，并且支撑杆12与限位板13一一对应，可以保证橡胶圈21在安装板7上工作效果的稳定。

支撑杆12连接在限位板13的中间部位，且限位板13的横截面呈“L”字形，并且限位板13的底端面与安装板7的底端面平齐，可以保证限位板13在安装板7内能够进行稳定的滑动工作，增加了装置的使用稳定性。

限位板13固定在固定板15的中间部位，且固定板15的侧端面与夹持板19的侧端面平齐以及橡胶垫20的侧端面平齐，并且固定板15与夹持板19均呈圆弧形，可以有效避免固定板15对于夹持板19的不良影响。

推动杆18与第二连接块17和夹持板19之间均为铰接，且第二连接块17与第二螺纹杆16之间为螺纹连接，并且夹持板19的长度大于固定板15的长度，可以保证推动杆18与第二连接块17和夹持板19之间连接状态的稳定，进而能够保证后续稳定的调节工作。

工作原理：在使用该便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置之前，需要先检查装置整体情况，确定能够进行正常工作；

在装置开始工作时，结合图1-图6，首先在装置外壳1上伺服电机2的作用下能够带动第一螺纹杆3进行转动，进而能够方便快捷的调节第一连接块4上液压缸5的使用位置，随后液压缸5通过液压杆6能够方便快捷的调节安装板7的使用高度，且在将安装板7运动至晶圆码垛位置的正上方时，此时在伺服马达8的作用下能够带动蜗杆9进行转动，进而能够带动蜗轮10上的衔接板11在安装板7内进行稳定的转动工作，此时在衔接板11的转动过程中，结合各个限位槽14的限位作用下，衔接板11通过支撑杆12能够带动各个限位板13在相应的限位槽14内同时向内运动，而在各个限位板13的运动作用下能够方便快捷的带动固定板15上的夹持板19对不同规格大小的晶圆进行稳定的夹持限位工作，且夹持板19上的橡胶垫20结合安装板7上的橡胶圈21能够对晶圆进行稳定的防护工作，同时有效增加了摩擦力，增加夹持稳定性；

而在需要对夹取托举的数量进行调节工作时，结合图2和图6，工作人员可通过转动第二螺纹杆16，此时结合夹持板19在固定板15上的限位作用下，第二螺纹杆16的转动能够带动第二连接块17在第二螺纹杆16上进行稳定的位置调节工作，而在第二连接块17的运动作用下，第二连接块17通过推动杆18能够方便快捷的调节夹持板19在固定板15上的使用长度，进而能够方便快捷的调节夹持板19对晶圆的夹取数量，保证后续加工工作的稳定，以上便是整个装置的工作过程，且本说明书中未作详细描述的内容，例如伺服电机2、液压缸5、橡胶垫20和橡胶圈21，均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，包括装置外壳（1）、安装板（7）、衔接板（11）和夹持板（19），其特征在于：所述装置外壳（1）上焊接固定有伺服电机（2），且伺服电机（2）的输出端转动连接有第一螺纹杆（3），所述第一螺纹杆（3）上螺纹连接有第一连接块（4），且第一连接块（4）的底端螺栓固定有液压缸（5），并且液压缸（5）上螺栓安装有液压杆（6），所述液压杆（6）的底端螺栓固定有安装板（7），且安装板（7）上焊接固定有伺服马达（8），所述衔接板（11）上转动连接有支撑杆（12），且支撑杆（12）的顶端转动连接有限位板（13），所述安装板（7）上开设有限位槽（14），且限位槽（14）内滑动连接有限位板（13），并且安装板（7）上螺钉连接有橡胶圈（21），所述限位板（13）的底端焊接固定有固定板（15），且固定板（15）上转动连接有第二螺纹杆（16），所述第二螺纹杆（16）上活动连接有第二连接块（17），且第二连接块（17）的底端活动连接有推动杆（18），所述推动杆（18）的底端活动连接有夹持板（19），且夹持板（19）滑动连接在固定板（15）上，并且夹持板（19）上螺钉连接有橡胶垫（20）。

2.根据权利要求1所述的一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，其特征在于：所述伺服马达（8）的输出端转动连接有蜗杆（9），且蜗杆（9）上啮合连接有蜗轮（10），并且蜗轮（10）轴连接在安装板（7）内，而且蜗轮（10）通过中心轴焊接固定有衔接板（11）。

3.根据权利要求2所述的一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，其特征在于：所述蜗轮（10）的中心轴线与安装板（7）的中心轴线和橡胶圈（21）的中心轴线位于同一竖直中心线上，且安装板（7）上等角度分布有支撑杆（12），并且支撑杆（12）与限位板（13）一一对应。

4.根据权利要求1所述的一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，其特征在于：所述支撑杆（12）连接在限位板（13）的中间部位，且限位板（13）的横截面呈“L”字形，并且限位板（13）的底端面与安装板（7）的底端面平齐。

5.根据权利要求1所述的一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，其特征在于：所述限位板（13）固定在固定板（15）的中间部位，且固定板（15）的侧端面与夹持板（19）的侧端面平齐以及橡胶垫（20）的侧端面平齐，并且固定板（15）与夹持板（19）均呈圆弧形。

6.根据权利要求1所述的一种便于分隔拿取的晶圆加工用托举装置，其特征在于：所述推动杆（18）与第二连接块（17）和夹持板（19）之间均为铰接，且第二连接块（17）与第二螺纹杆（16）之间为螺纹连接，并且夹持板（19）的长度大于固定板（15）的长度。