CN213547935U - 一种复合型精密蚀刻设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种复合型精密蚀刻设备，包括：蚀刻区，蚀刻区用于盛置可对线路板进行蚀刻处理的蚀刻液；输送机构，输送机构用于供所要蚀刻的线路板放置并将之输送至蚀刻槽体的指定位置；其中，蚀刻区包括第一蚀刻槽体、第二蚀刻槽体、第三蚀刻槽体，且第一蚀刻槽体、第二蚀刻槽体、第三蚀刻槽体上均设有活动连接有喷淋机构，喷淋机构用于将蚀刻液喷淋在蚀刻区内的置于输送机构上的线路板；第一蚀刻槽体设置第一摇摆驱动机构；第二蚀刻槽体设置凸轮机构；第三摇摆驱动机构设置第三摇摆驱动机构，用以驱动喷淋机构做前后摆动的往复运动。本申请具有能同时兼顾到控制蚀刻均匀性、横竖线路减少差异、提升蚀刻因子等优点。

Description

一种复合型精密蚀刻设备

技术领域

本发明涉及电路板加工技术领域，尤其涉及一种复合型精密蚀刻设备。

背景技术

现有蚀刻设备喷淋系统配置单一，无法同时兼顾到控制蚀刻均匀性、横竖线路减少差异、提升蚀刻因子等方面。而且，该蚀刻设备做出来的线路容易出现侧蚀量大，线路呈现梯形式样，无法满足高精密线路板的制作要求。

因此，有必要提供一种技术手段以解决上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之缺陷，提供一种复合型精密蚀刻设备，以解决现有技术中存在蚀刻设备无法同时兼顾到控制蚀刻均匀性、横竖线路减少差异、提升蚀刻因子等方面的问题。

本发明是这样实现的，一种复合型精密蚀刻设备，包括：

蚀刻区，所述蚀刻区用于盛置可对线路板进行蚀刻处理的蚀刻液；

输送机构，所述输送机构用于供所要蚀刻的所述线路板放置并将之输送至蚀刻槽体的指定位置；

所述蚀刻区包括第一蚀刻槽体、第二蚀刻槽体、第三蚀刻槽体，其中：

所述第一蚀刻槽体内设有第一喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在所述第一蚀刻槽体内的置于所述输送机构上的所述线路板；所述第一喷淋机构包括锥形喷淋器、设于所述输送机构上方的第一上喷淋拉杆、设于所述输送机构下方的第一下喷淋拉杆、以及第一摇摆驱动机构；所述第一上喷淋拉杆和所述第一下喷淋拉杆的两端均活动连接在所述第一蚀刻槽体上；所述第一上喷淋拉杆和所述第一下喷淋拉杆上间隔设有所述锥形喷淋器；所述第一上喷淋拉杆上的锥形喷淋器和所述第一下喷淋拉杆上的锥形喷淋器呈相对或者交错设置；所述第一摇摆驱动机构固定连接在所述第一蚀刻槽体上，其输出端分别与所述第一上喷淋拉杆、所述第一下喷淋拉杆固定连接，用以驱动所述第一上喷淋拉杆、所述第一下喷淋拉杆同步做前后摆动的往复运动；

所述第二蚀刻槽体内设有第二喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在所述第二蚀刻槽体内的置于所述输送机构上的所述线路板；

所述第二喷淋机构包括扇形喷淋器、第二上喷淋拉杆、第二下喷淋拉杆、以及凸轮机构；所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆的两端均活动连接在所述第二蚀刻槽体上；所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆上间隔设有有所述扇形喷淋器；所述第二上喷淋拉杆上的扇形喷淋器和所述第二下喷淋拉杆上的扇形喷淋器呈相对或者交错设置；

所述凸轮机构安装在所述第二蚀刻槽体上，所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆的一端均铰接在所述凸轮机构上，用以驱动所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆沿所述凸轮机构的轨迹摆动；

所述第三蚀刻槽体内设有第三喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在所述第三蚀刻槽体内的置于所述输送机构上的所述线路板；

所述第三喷淋机构包括设于所述输送机构上方的第三上喷淋拉杆、设于所述输送机构下方的第三下喷淋拉杆、第三摇摆驱动机构、以及气水混合喷淋器；

所述第三上喷淋拉杆和所述第三下喷淋拉杆的两端均活动连接在所述第三蚀刻槽体上；

所述第一上喷淋拉杆和所述第一下喷淋拉杆上间隔设有有过个气水混合喷淋器；

所述第一上喷淋拉杆上的气水混合喷淋器和所述第一下喷淋拉杆上的气水混合喷淋器呈相对或者交错设置；

所述第三摇摆驱动机构固定连接在所述第一蚀刻槽体上，其输出端分别与所述第三上喷淋拉杆、所述第三下喷淋拉杆固定连接，用以驱动所述第三上喷淋拉杆、所述第三下喷淋拉杆同步做前后摆动的往复运动。

优选地，所述凸轮机构包括凸轮盘、凸轮随动件、凸轮电机、凸轮安装机架、以及结构相同的第一摆臂和第二摆臂；所述凸轮安装机架固定连接在所述第二蚀刻槽体上，所述凸轮电机安装在所述凸轮安装机架上；所述第一摆臂一端铰接于所述凸轮随动件，另一端与所述第二上喷淋拉杆固定连接；所述第二摆臂一端铰接于所述凸轮随动件，另一端与所述第二下喷淋拉杆固定连接；所述凸轮随动件上设有沿所述凸轮盘的轮廓滑动连接的凹槽。

优选地，所述输送机构包括输送支撑架、转动设于所述输送支撑架上端的若干个上输送滚轮、及转动设于所述输送支撑架下端的若干个下输送滚轮，所述输送支撑架设于所述蚀刻槽体的上方；所述若干个上输送滚轮与所述若干个下输送滚轮之间形成可供所述线路板容置的输送空间。

优选地，该蚀刻设备还包括负压除液机构，用以将被所述喷淋机构喷淋蚀刻过的所述线路板上的多余蚀刻液进行清除；

优选地，所述负压除液机构包括若干个负压棒、若干个负压发生器、循环泵，所述若干个负压棒设于靠近所述输送空间的位置处；所述若干个负压发生器分别与所述若干个负压棒连接；所述循环泵分别与所述若干个负压发生器、所述蚀刻区连接，用以把吸入的废液输送到蚀刻区的废液槽内。

优选地，所述若干个负压棒安装于所述输送支撑架上，并位于相邻的两个所述上输送滚轮之间。

优选地，所述若干个上输送滚轮沿同一直线方向间隔设于所述输送支撑架上端。

优选地，所述若干个下输送滚轮沿同一直线方向间隔设于所述输送支撑架下端。

优选地，所述气水混合喷淋器包括管体、气液混合喷头，所述管体固定连接在所述第三蚀刻槽体上，内部设有供液体和气体流通的管腔，所述管腔上部设有进气孔；所述管腔中部设有进液孔；所述管腔的下部安装有所述气液混合喷头。

本实用新型的复合型精密蚀刻设备的技术效果为：

蚀刻区设置第一蚀刻槽体、第二蚀刻槽体、第三蚀刻槽体，每个蚀刻槽体内配置三种不同功能的喷淋机构，每个喷淋机构喷淋时能在驱动机构的驱动下往指定方向摆动，使得蚀刻均匀性、横竖线路减少差异、提升蚀刻因子同时维持在高水平。满足高精密线路板的制作要求。

线路板子放在输送机构的上输送滚轮和下输送滚轮之间传送，经过喷淋结构对上下板面进行蚀刻，得到所需要的线路。喷淋旁边安装负压棒，将上板面的药水压走，提高蚀刻均匀性以及线路品质。

第一蚀刻槽体的锥形喷淋器配合第一摇摆驱动机构可以加大线路板轴向蚀刻速度，第二蚀刻槽体的扇形喷淋器配合凸轮机构的控制，可修线路板的毛边，第三蚀刻槽体的气水混合器形成微分子颗粒，减少线路的侧蚀量进一步精修线路板的毛边。

附图说明

图1为本实施例提供的一种复合型精密蚀刻设备的结构示意图。

图2为本实施例提供的一种复合型精密蚀刻设备中凸轮机构设置在第二蚀刻槽体上的结构示意图。

图3为本实施例提供的一种复合型精密蚀刻设备中气水混合喷淋器的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

请参阅图1-图3，为本发明提供的一优选实施例，而本实施例涉及一种复合型精密蚀刻设备，该蚀刻设备为用于对线路板100的板面进行喷淋药液蚀刻，而该产品主要为线路板100、五金板等，当然，其亦可为其它产品。本实施例中的复合型精密蚀刻设备，包括蚀刻区、输送机构4，下面对复合型精密蚀刻设备的各组成部件作进一步说明：

蚀刻区，蚀刻区用于盛置可对线路板100进行蚀刻处理的蚀刻液；

输送机构4，输送机构4用于供所要蚀刻的线路板100放置并将之输送至蚀刻槽体的指定位置；

蚀刻区包括第一蚀刻槽体1、第二蚀刻槽体2、第三蚀刻槽体3，第一蚀刻槽体1、第二蚀刻槽体2、第三蚀刻槽体3连通，且第一蚀刻槽体1、第二蚀刻槽体2、第三蚀刻槽体3均为矩形，当然亦可为其它形状的容纳槽，如梯形容纳槽，其也属于本实施例的保护范畴其中：

第一蚀刻槽体1内设有第一喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在第一蚀刻槽体 1内的置于输送机构4上的线路板100；第一喷淋机构包括锥形喷淋器13、设于输送机构4上方的第一上喷淋拉杆11、设于输送机构4下方的第一下喷淋拉杆12、以及第一摇摆驱动机构14；第一上喷淋拉杆11和第一下喷淋拉杆 12的两端均活动连接在第一蚀刻槽体1上；第一上喷淋拉杆11和第一下喷淋拉杆12上间隔设有锥形喷淋器13；第一上喷淋拉杆11上的锥形喷淋器13和第一下喷淋拉杆12上的锥形喷淋器13呈相对或者交错设置；第一摇摆驱动机构14固定连接在第一蚀刻槽体1上，其输出端分别与第一上喷淋拉杆11、第一下喷淋拉杆12固定连接，用以驱动第一上喷淋拉杆11、第一下喷淋拉杆12 同步做前后摆动的往复运动；

第二蚀刻槽体2内设有第二喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在第二蚀刻槽体2内的置于输送机构4上的线路板100；

第二喷淋机构包括扇形喷淋器21、第二上喷淋拉杆22、第二下喷淋拉杆 23、以及凸轮机构200；第二上喷淋拉杆22和第二下喷淋拉杆23的两端均活动连接在第二蚀刻槽体2上；第二上喷淋拉杆22和第二下喷淋拉杆23上间隔设有有扇形喷淋器21；第二上喷淋拉杆22上的扇形喷淋器21和第二下喷淋拉杆23上的扇形喷淋器21呈相对或者交错设置；

凸轮机构200安装在第二蚀刻槽体2上，第二上喷淋拉杆22和第二下喷淋拉杆23的一端均铰接在凸轮机构200上，用以驱动第二上喷淋拉杆22和第二下喷淋拉杆23沿凸轮机构200的轨迹摆动；

第三蚀刻槽体3内设有第三喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在第三蚀刻槽体 3内的置于输送机构4上的线路板100；

第三喷淋机构包括设于输送机构4上方的第三上喷淋拉杆31、设于输送机构4下方的第三下喷淋拉杆32、第三摇摆驱动机构(图中未示)、以及气水混合喷淋器33；

第三上喷淋拉杆31和第三下喷淋拉杆32的两端均活动连接在第三蚀刻槽体3上；

第一上喷淋拉杆11和第一下喷淋拉杆12上间隔设有有过个气水混合喷淋器33；

第一上喷淋拉杆11上的气水混合喷淋器33和第一下喷淋拉杆12上的气水混合喷淋器33呈相对或者交错设置；

第三摇摆驱动机构(图中未示)固定连接在第一蚀刻槽体1上，其输出端分别与第三上喷淋拉杆31、第三下喷淋拉杆32固定连接，用以驱动第三上喷淋拉杆31、第三下喷淋拉杆32同步做前后摆动的往复运动。

请参阅图2，如图2所示，凸轮机构200包括凸轮盘201、凸轮随动件203、凸轮电机204、凸轮安装机架202、以及结构相同的第一摆臂24和第二摆臂 25；凸轮安装机架202固定连接在第二蚀刻槽体2上，凸轮电机204安装在凸轮安装机架202上；第一摆臂24一端铰接于凸轮随动件203，另一端与第二上喷淋拉杆22固定连接；第二摆臂25一端铰接于凸轮随动件203，另一端与第二下喷淋拉杆23固定连接；凸轮随动件203上设有沿凸轮盘201的轮廓滑动连接的凹槽。

具体地，输送机构4包括输送支撑架41、转动设于输送支撑架41上端的若干个上输送滚轮43、及转动设于输送支撑架41下端的若干个下输送滚轮42，输送支撑架41设于蚀刻区，并依次穿过第一蚀刻槽体1、第二蚀刻槽体2、第三蚀刻槽体3；若干个上输送滚轮43与若干个下输送滚轮42之间形成可供线路板100容置的输送空间。

另，输送机构4还包括用以驱动若干个上输送滚轮43和若干个下输送滚轮42转动工作的驱动装置(图中未标示)，驱动装置设于输送支撑架41上，并分别与若干个上输送滚轮43、若干个下输送滚轮42连接，以可对线路板100 进行自动化地传送，提高生产效率。为了便于取材及安装设置，该驱动装置为驱动电机，驱动电机通过链条与若干个上输送滚轮43、若干个下输送滚轮42 连接。

优选地，该蚀刻设备还包括负压除液机构5，用以将被喷淋机构喷淋蚀刻过的线路板100上的多余蚀刻液进行清除；

优选地，负压除液机构5包括若干个负压棒、若干个负压发生器、循环泵，若干个负压棒设于靠近输送空间的位置处；若干个负压发生器分别与若干个负压棒连接；循环泵与若干个负压发生器、蚀刻区连通，用以把吸入的废液输送到蚀刻区的废液槽内。

优选地，若干个负压棒安装于输送支撑架41上，并位于相邻的两个上输送滚轮43之间。

请参阅图1，若干个上输送滚轮43沿同一直线方向间隔设于输送支撑架 41上端，若干个下输送滚轮42沿同一直线方向间隔设于输送支撑架41下端，以保证对线路板100稳定有效地传送。

优选地，气水混合喷淋器33包括管体305、气液混合喷头303，管体305 固定连接在第三蚀刻槽体3上，内部设有供液体和气体流通的管腔304，管腔 304上部设有进气孔301；管腔304中部设有进液孔302；管腔304的下部安装有气液混合喷头303。

工作原理如下：

首先开启输送机构4，然后将线路板100放置在若干个上输送滚轮43与若干个下输送滚轮42之间的输送空间，而若干个上输送滚轮43与若干个下输送滚轮42可相配合，以将线路板100输送入适于蚀刻的位置处；接着喷淋机构将蚀刻液喷淋在线路板100的上板面和下板面，以进行蚀刻加工，其中，第一蚀刻槽体1包括：锥形喷淋器13、第一摇摆驱动机构14、负压装置；第二蚀刻槽体2包括扇形喷淋器21、凸轮机构200、负压装置；第三蚀刻槽体3 包括气水混合喷淋器33、第三摇摆驱动机构(图中未示)、负压装置；显然，蚀刻区设置第一蚀刻槽体1、第二蚀刻槽体2、第三蚀刻槽体3，每个蚀刻槽体内配置三种不同功能的喷淋机构，每个喷淋机构喷淋时能在驱动机构的驱动下往指定方向摆动，使得蚀刻均匀性、横竖线路减少差异、提升蚀刻因子同时维持在高水平。满足高精密线路板100的制作要求。

与此同时而负压发生器通过管路与负压棒连接，以使若干个负压棒产生负压，从而将线路板100上的多余蚀刻液吸走清除，由此，可达到吸走清除线路板100表面多余蚀刻液的效果。

以上仅为本发明较佳的实施例而已，其结构并不限于上述列举的形状，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种复合型精密蚀刻设备，包括：

蚀刻区，所述蚀刻区用于盛置可对线路板进行蚀刻处理的蚀刻液；

输送机构，所述输送机构用于供所要蚀刻的所述线路板放置并将之输送至蚀刻槽体的指定位置；

其特征在于：

所述蚀刻区包括第一蚀刻槽体、第二蚀刻槽体、第三蚀刻槽体，其中：

所述第一蚀刻槽体内设有第一喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在所述第一蚀刻槽体内的置于所述输送机构上的所述线路板；所述第一喷淋机构包括锥形喷淋器、设于所述输送机构上方的第一上喷淋拉杆、设于所述输送机构下方的第一下喷淋拉杆、以及第一摇摆驱动机构；所述第一上喷淋拉杆和所述第一下喷淋拉杆的两端均活动连接在所述第一蚀刻槽体上；所述第一上喷淋拉杆和所述第一下喷淋拉杆上间隔设有所述锥形喷淋器；所述第一上喷淋拉杆上的锥形喷淋器和所述第一下喷淋拉杆上的锥形喷淋器呈相对或者交错设置；所述第一摇摆驱动机构固定连接在所述第一蚀刻槽体上，其输出端分别与所述第一上喷淋拉杆、所述第一下喷淋拉杆固定连接，用以驱动所述第一上喷淋拉杆、所述第一下喷淋拉杆同步做前后摆动的往复运动；

所述第二蚀刻槽体内设有第二喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在所述第二蚀刻槽体内的置于所述输送机构上的所述线路板；

所述第二喷淋机构包括扇形喷淋器、第二上喷淋拉杆、第二下喷淋拉杆、以及凸轮机构；所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆的两端均活动连接在所述第二蚀刻槽体上；所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆上间隔设有有所述扇形喷淋器；所述第二上喷淋拉杆上的扇形喷淋器和所述第二下喷淋拉杆上的扇形喷淋器呈相对或者交错设置；

所述凸轮机构安装在所述第二蚀刻槽体上，所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆的一端均铰接在所述凸轮机构上，用以驱动所述第二上喷淋拉杆和所述第二下喷淋拉杆沿所述凸轮机构的轨迹摆动；

所述第三蚀刻槽体内设有第三喷淋机构，用于将蚀刻液喷淋在所述第三蚀刻槽体内的置于所述输送机构上的所述线路板；

所述第三喷淋机构包括设于所述输送机构上方的第三上喷淋拉杆、设于所述输送机构下方的第三下喷淋拉杆、第三摇摆驱动机构、以及气水混合喷淋器；

所述第三上喷淋拉杆和所述第三下喷淋拉杆的两端均活动连接在所述第三蚀刻槽体上；

所述第一上喷淋拉杆和所述第一下喷淋拉杆上间隔设有有过个气水混合喷淋器；

所述第一上喷淋拉杆上的气水混合喷淋器和所述第一下喷淋拉杆上的气水混合喷淋器呈相对或者交错设置；

所述第三摇摆驱动机构固定连接在所述第一蚀刻槽体上，其输出端分别与所述第三上喷淋拉杆、所述第三下喷淋拉杆固定连接，用以驱动所述第三上喷淋拉杆、所述第三下喷淋拉杆同步做前后摆动的往复运动。

2.根据权利要求1所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，所述凸轮机构包括凸轮盘、凸轮随动件、凸轮电机、凸轮安装机架、以及结构相同的第一摆臂和第二摆臂；所述凸轮安装机架固定连接在所述第二蚀刻槽体上，所述凸轮电机安装在所述凸轮安装机架上；所述第一摆臂一端铰接于所述凸轮随动件，另一端与所述第二上喷淋拉杆固定连接；所述第二摆臂一端铰接于所述凸轮随动件，另一端与所述第二下喷淋拉杆固定连接；所述凸轮随动件上设有沿所述凸轮盘的轮廓滑动连接的凹槽。

3.根据权利要求2所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，所述输送机构包括输送支撑架、转动设于所述输送支撑架上端的若干个上输送滚轮、及转动设于所述输送支撑架下端的若干个下输送滚轮，所述输送支撑架设于所述蚀刻槽体的上方；所述若干个上输送滚轮与所述若干个下输送滚轮之间形成可供所述线路板容置的输送空间。

4.根据权利要求3所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，该蚀刻设备还包括负压除液机构，用以将被所述喷淋机构喷淋蚀刻过的所述线路板上的多余蚀刻液进行清除。

5.根据权利要求4所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，所述负压除液机构包括若干个负压棒、若干个负压发生器、循环泵，所述若干个负压棒设于靠近所述输送空间的位置处；所述若干个负压发生器分别与所述若干个负压棒连接；所述循环泵分别与所述若干个负压发生器、所述蚀刻区连接，用以把吸入的废液输送到蚀刻区的废液槽内。

6.根据权利要求5所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，所述若干个负压棒安装于所述输送支撑架上，并位于相邻的两个所述上输送滚轮之间。

7.根据权利要求3所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，所述若干个上输送滚轮沿同一直线方向间隔设于所述输送支撑架上端。

8.根据权利要求3所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，所述若干个下输送滚轮沿同一直线方向间隔设于所述输送支撑架下端。

9.根据权利要求1所述的一种复合型精密蚀刻设备，其特征在于，所述气水混合喷淋器包括管体、气液混合喷头，所述管体固定连接在所述第三蚀刻槽体上，内部设有供液体和气体流通的管腔，所述管腔上部设有进气孔；所述管腔中部设有进液孔；所述管腔的下部安装有所述气液混合喷头。

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