CN213519909U - 一种机械式晶圆对中装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种机械式晶圆对中装置，涉及半导体设备，包括对中安装板，在对中安装板上固定设置有提升机构，提升机构的输出轴上固定有固定盘；在固定盘两侧对称设置的对中块，对中块通过驱动机构驱动其向固定盘处直线滑移，对中块靠近固定盘的一侧设置有圆弧形的表面。本实用新型对中装置通过两对中块之间的弧形表面对位于其间的固定盘上的晶圆进行对中，避免了晶圆水平侧位置未被夹持住的隐患。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体地说是一种机械式晶圆对中装置。
背景技术
专利公开号为“CN107230657B”，名称为“一种晶圆对中机构”的实用新型专利中公开了一种晶圆对中机构，其包括吸盘支撑及安装在该吸盘支撑上的吸盘；吸盘的下方设有夹持气缸，夹持气缸两侧的输出端分别连接有对中块，两侧的对中块上分别均布有多个柱塞弹簧对中组件；柱塞弹簧对中组件包括柱塞盖板、弹簧柱塞、触点、柱塞安装块及触点压盖，柱塞安装块安装在对中块上，弹簧柱塞容置在柱塞安装块内、并通过安装在柱塞安装块上的柱塞盖板上下限位，柱塞盖板上设有对弹簧柱塞伸缩方向限位的固定装置；触点的一侧容置于柱塞安装块内、并与弹簧柱塞抵接，另一侧位于柱塞安装块的外部、与晶圆接触，在触点上方设有安装在柱塞安装块上、对触点上下限位的触点压盖。
然后上述结构中存在如下缺陷：即，其对重块内置有若干柱塞弹簧对中组件，在晶圆被若干柱塞弹簧对中组件的过程中，无法将让晶圆水平的被夹持住，导致后期加工的问题存在。
实用新型内容
一、要解决的技术问题
本实用新型是针对现有技术所存在的上述缺陷，特提出一种机械式晶圆对中装置。
二、技术方案
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种机械式晶圆对中装置，包括对中安装板，在对中安装板上固定设置有提升机构，提升机构的输出轴上固定有固定盘；在固定盘两侧对称设置的对中块，对中块通过驱动机构驱动其向固定盘处直线滑移，固定盘的表面上设置有向内凹陷的弧形槽，弧形槽与负压装置连接。
上述技术方案中，对中块靠近固定盘的一侧设置有圆弧形的表面。
上述技术方案中，驱动机构包括在对中安装板的上端面上固定的夹持气缸，夹持气缸位于固定盘的正下方，在夹持气缸包括位于夹持气缸两端设置的两个输出端，两块对中块分别与两个输出端固定。
上述技术方案中，提升机构包括提升气缸缸体和提升气缸气缸杆，在提升气缸缸体的一侧设置有纵向延伸的导向块，提升气缸气缸杆包括位于提升气缸缸体内的塞杆和在塞杆端部设置的L型基座，L型基座的一侧设置有与导向块滑动配合的滑轨。
上述技术方案中，对中块通过夹持臂与驱动机构的输出端固定连接
其中，固定盘为圆形，弧形槽为若干同心的圆形槽并且不同直径的圆形槽之间通过至少一连接槽连通。
其中，直线型的连接槽所在直线经过过固定盘的圆心，连接槽的数量为4条。
其中，弧形槽(30)之间设有隔板(6)，隔板(6)顶部设有密封环(7)，晶圆可与密封环(7)压紧密封。
其中，对中块(4)顶部设有一侧壁为弧形的晶圆卡块(8)，晶圆卡块(8)用于晶圆的定位卡接，晶圆卡块(8)可拆卸的固定在对中块(4)顶部。
三、有益效果
本实用新型与现有技术相比，有益效果是：本实用新型对中装置通过两对中块之间的弧形表面对位于其间的固定盘上的晶圆进行对中，且通过负压装置将固定盘上的晶圆水平方向定位，避免了晶圆水平侧位置未被夹持住的隐患。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图。
图2为本实用新型的结构分解示意图。
图3为本实用新型提升机构的结构分解示意图。
图4为本实用新型提升机构的固定盘的结构图1。
图5为本实用新型提升机构的固定盘的结构图2。
图6为本实用新型提升机构的固定盘的截面图。
图7为本实用新型提升机构的晶圆卡块的结构图。
图中：1为对中安装板，2为提升机构，3为固定盘，4为对中块，5为驱动机构，6为隔板，7为密封环，8为晶圆卡块，9为把手，10为锁扣，20为提升气缸缸体，21为提升气缸气缸杆，22为导向块，23为塞杆，24为L型基座，25为滑轨，30为弧形槽，31为连接槽，40为夹持臂，50为夹持气缸，51为输出端。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
实施例1：
请参阅图1至图3，本实用新型提供的一种机械式晶圆对中装置的实施例1：包括对中安装板1，在对中安装板1上固定设置有提升机构2，提升机构2的输出轴上固定有固定盘3；在固定盘3两侧对称设置的对中块4，对中块4通过驱动机构5驱动其向固定盘3处直线滑移，对中块4靠近固定盘3的一侧设置有圆弧形的表面。
初始状态时，两对中块4在驱动机构5的作用力下处于张开状态(即两对中块4处于相互远离的位置)，使用时，将晶圆放置在固定盘3上，通过固定盘3对晶圆进行支撑，驱动机构5驱动两对中块4朝向晶圆方向直线位移，且上述直线位移的轨迹相同，方向相反，使得晶圆在被两对中块4的圆弧形的表面之间被对中。
具体的，驱动机构5包括在对中安装板的上端面上固定的夹持气缸50，夹持气缸50位于固定盘3的正下方，在夹持气缸50包括位于夹持气缸两端设置的两个输出端51，两块对中块4分别与两个输出端51固定。上述结构中，两个对中块4共用一个驱动机构5，减少了驱动机构5的设置，首先降低了成本，且可以更好的保证两个对中块4之间能够维持轨迹相同，方向相反的直线运动。
提升机构2包括提升气缸缸体20和提升气缸气缸杆21，在提升气缸缸体20的一侧设置有纵向延伸的导向块22，提升气缸气缸杆21包括位于提升气缸缸体内的塞杆23和在塞杆23端部设置的L型基座24，L型基座24的一侧设置有与导向块滑动配合的滑轨25。
优选的，固定盘3的表面上设置有向内凹陷的弧形槽30，弧形槽30与负压装置连接。将通过负压装置将弧形槽30内的空气抽空，使得晶圆可以吸附在固定盘3上，为下一步加工作准备。对中块4通过夹持臂40与驱动机构5的输出端固定连接。
实施例2：
相较于实施例1，在本实施例中，如图4所示，固定盘3为圆形，弧形槽30为若干同心的圆形槽并且不同直径的圆形槽之间通过至少一连接槽31连通；直线型的连接槽31所在直线经过过固定盘3的圆心，连接槽31的数量为4条，通过该设置方式，能够大大提高固定盘3对晶圆的吸附效果，保证对晶圆牢固可靠的固定。
实施例3：
相较于实施例1，在本实施例中，弧形槽30之间设有隔板6，隔板6顶部设有密封环7，晶圆可与密封环7压紧密封；如图5、图6所示，本实施例的密封结构设置是为了实现对晶圆的有效固定，具体来说，晶圆放置在固定盘3上，并且通过负压装置在晶圆与固定盘3之间的空腔内产生负压，从而吸附固定，采用本实施例的隔板6与密封环7的结构能够使得密封结构更加可靠，密封环7采用连续的凹凸结构，能够保证在长时间使用过程中，部分密封环7出现磨损或密封不彻底情况时，也能有效密封，同时隔板6顶部设有密封环7可进行更换。
实施例4：
相较于实施例1，在本实施例中，对中块4顶部设有一侧壁为弧形的晶圆卡块8，晶圆卡块8用于晶圆的定位卡接，晶圆卡块8可拆卸的固定在对中块4顶部，具体来说，在面对不同尺寸大小的晶圆时，晶圆卡块8的圆弧形半径也需要对应改变，本实施例中，通过将晶圆卡块8设为可拆卸的结构设计，将晶圆卡块8作为一个模块结构，能够有效解决需要适应不同尺寸大小的晶圆的问题，提高本实施例的晶圆对中装置的适用范围，具体的拆卸结构如图7所示，可采用常规的弹簧卡扣结构，即通过把手9实现对锁扣10的控制，拆卸时，只需要向里用力拉紧把手9就可以使得锁扣10缩进，从而使晶圆卡块8从对中块4上脱离。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种机械式晶圆对中装置，其特征在于，包括对中安装板(1)，在所述对中安装板(1)上固定设置有提升机构(2)，所述提升机构(2)的输出轴上固定有固定盘(3)；在所述固定盘(3)两侧对称设置的对中块(4)，所述对中块(4)通过驱动机构(5)驱动其向所述固定盘(3)处直线滑移，所述固定盘(3)的表面上设置有向内凹陷的弧形槽(30)，所述弧形槽(30)与负压装置连接。
2.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述对中块(4)靠近所述固定盘的一侧设置有圆弧形的表面。
3.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述驱动机构(5)包括在所述对中安装板的上端面上固定的夹持气缸(50)，所述夹持气缸(50)位于所述固定盘(3)的正下方，在所述夹持气缸(50)包括位于所述夹持气缸两端设置的两个输出端(51)，两块所述对中块(4)分别与两个输出端(51)固定。
4.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述提升机构(2)包括提升气缸缸体(20)和提升气缸气缸杆(21)，在所述提升气缸缸体(20)的一侧设置有纵向延伸的导向块(22)，所述提升气缸气缸杆(21)包括位于所述提升气缸缸体内的塞杆(23)和在所述塞杆(23)端部设置的L型基座(24)，所述L型基座(24)的一侧设置有与所述导向块滑动配合的滑轨(25)。
5.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述对中块(4)通过夹持臂(40)与所述驱动机构(5)的输出端固定连接。
6.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述固定盘(3)为圆形，所述弧形槽(30)为若干同心的圆形槽。
7.如权利要求6所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：不同直径的圆形槽之间通过至少一连接槽(31)连通。
8.如权利要求7所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：直线型的所述连接槽(31)所在直线经过过所述固定盘(3)的圆心，所述连接槽(31)的数量为4条。
9.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述弧形槽(30)之间设有隔板(6)，所述隔板(6)顶部设有密封环(7)，晶圆可与所述密封环(7)压紧密封。
10.如权利要求1所述的一种机械式晶圆对中装置，其特征在于：所述对中块(4)顶部设有一侧壁为弧形的晶圆卡块(8)，所述晶圆卡块(8)用于晶圆的定位卡接，所述晶圆卡块(8)可拆卸的固定在所述对中块(4)顶部。
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2020
- 2020-11-19 CN CN202022687892.0U patent/CN213519909U/zh active Active
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