CN213459665U - 一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，涉及多工位旋转腐蚀机技术领域，为解决现有的晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机在使用过程中，腐蚀液容易渗出轴承与电机接触，导致电机腐蚀，严重影响装置的使用寿命的问题。所述工作底板的上端安装有防护箱，所述工作底板的上端安装有旋转台,所述旋转台与工作底板通过轴承连接，所述工作底板的下端安装有旋转电机，所述旋转电机与工作底板通过轴承连接，所述旋转电机与旋转台通过联轴器连接，所述工作底板的上端安装有第一挡板，所述工作底板的上端安装有第二挡板，所述第一挡板和第二挡板与工作底板焊接连接。
Description
技术领域
本实用新型涉及多工位旋转腐蚀机技术领域，具体为一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机。
背景技术
目前，在晶闸管芯片生产加工过程中，需要使用台面多工位旋转腐蚀机将晶闸管芯片外部在制造过程中硅片表面有机颗粒和部分金属颗粒进行清洗，使其保持干净，避免影响下一流程生产。
但是，现有的晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机在使用过程中，腐蚀液容易渗出轴承与电机接触，导致电机腐蚀，严重影响装置的使用寿命；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，以解决上述背景技术中提出的晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机在使用过程中，腐蚀液容易渗出轴承与电机接触，导致电机腐蚀，严重影响装置的使用寿命的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，包括工作底板，所述工作底板的上端安装有防护箱，所述工作底板的上端设有旋转台,所述工作底板的下端安装有旋转电机，所述旋转电机与工作底板通过轴承连接，所述旋转电机与旋转台通过联轴器连接，所述工作底板的上端安装有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板与工作底板焊接连接，所述旋转台下端面远离旋转电机的一侧安装有第三挡板，所述第三挡板与旋转台固定连接，所述旋转台下端面远离旋转电机的一侧设置有防渗槽，所述旋转台的上端安装有防腐吸盘，所述防腐吸盘远离旋转电机的一侧安装有固定卡板，所述防腐吸盘靠近旋转电机的一侧安装有固定安装板，所述固定安装板靠近旋转电机的一侧安装有卡紧弹簧，所述卡紧弹簧的一端安装有移动卡板，所述移动卡板滑动的安装在旋转台上。
优选的，所述防护箱的上端安装有腐蚀液存储箱，所述腐蚀液存储箱与防护箱固定连接，所述腐蚀液存储箱上端的两侧均安装有第一水泵，所述第一水泵与腐蚀液存储箱通过连接管道连接，所述第一水泵远离旋转电机的一侧安装有腐蚀液喷管，所述腐蚀液喷管与第一水泵固定连接。
优选的，所述防护箱上端的一侧安装有清水箱，所述清水箱与防护箱固定连接，所述清水箱上端面靠近旋转电机的一侧安装有第二水泵，所述第二水泵与清水箱通过连接管道连接，所述第二水泵靠近旋转电机的一侧安装有清水喷管，所述清水喷管与第二水泵固定连接。
优选的，所述防护箱上端的另一侧安装有热风箱，所述热风箱与防护箱固定连接，所述热风箱内部的上端安装加热管，所述加热管与热风箱固定连接，所述热风箱上端靠近旋转电机的一侧安装有风机，所述风机与热风箱通过连接管道连接，所述风机靠近旋转电机的一侧安装有热风管道，所述热风管道与风机固定连接。
优选的，所述防护箱的前端面安装有安全门，所述安全门与防护箱通过铰链连接，所述旋转台的内部设置有排液管道。
优选的，所述热风箱内部上端远离旋转电机的一侧安装有除尘网，所述除尘网与热风箱焊接连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过安装旋转台使其配合旋转电机可以带动旋转台上端的物料进行旋转，保证装置功能性的完整，安装第一挡板和第二挡板可以有阻止腐蚀液向装置底部中间部位流动，防止腐蚀液渗入轴承中与旋转电机接触，防止旋转电机腐蚀，避免影响装置的使用寿命，安装第三挡板可以防止腐蚀液顺着旋转台下端流动，增加装置的防护能力，安装防腐吸盘可以将物料牢牢吸附住，防止其脱落，增加装置的夹持力，安装卡紧弹簧可以推动移动卡板将物料佳佳夹持住，防止其脱落，同时便于工作人员快速夹持物料，有利于提高工作效率，安装腐蚀液存储箱使其配合第一水泵可以将腐蚀液喷淋在物料上端，对其上端的污物进行腐蚀清洗，安装清水箱使其配合第二水泵可以将清水喷淋在物料上端，便于将物料上端多余的腐蚀液冲洗下来；
2、本实用新型通过安装风机使其配合加热管可以将热风吹在物料上端，对其进行干燥，保证装置功能性的完整，安装安全门可以防止装置内部的腐蚀液溅出装置，污染环境，安装除尘网可以对空气进行过滤，防止灰尘进入装置内部，污染物料。
附图说明
图1为本实用新型一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机的结构示意图；
图2为本实用新型一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机的主视图；
图3为图1中A部分放大图。
图中：1、工作底板；2、防护箱；3、旋转台；4、第一挡板；5、第二挡板；6、排液管道；7、固定卡板；8、防腐吸盘；9、移动卡板；10、固定安装板；11、卡紧弹簧；12、防渗槽；13、第三挡板；14、清水箱；15、腐蚀液存储箱；16、热风箱；17、加热管；18、风机；19、第一水泵；20、第二水泵；21、腐蚀液喷管；22、清水喷管；23、热风管道；24、安全门；25、除尘网；26、旋转电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，包括工作底板1，工作底板1的上端安装有防护箱2，工作底板1的上端安装有旋转台3。安装旋转台3使其配合旋转电机26可以带动旋转台3上端的物料进行旋转，保证装置功能性的完整。工作底板1的下端安装有旋转电机26，旋转电机26与工作底板1通过轴承连接，旋转电机26与旋转台3通过联轴器连接，工作底板1的上端安装有第一挡板4和第二挡板5。安装第一挡板4和第二挡板5可以有阻止腐蚀液向装置底部中间部位流动，防止腐蚀液渗入轴承中与旋转电机26接触，防止旋转电机26腐蚀，避免影响装置的使用寿命。第一挡板4和第二挡板5与工作底板1焊接连接，旋转台3下端面远离旋转电机26的一侧安装有第三挡板13，安装第三挡板13可以防止腐蚀液顺着旋转台3下端流动，增加装置的防护能力。第三挡板13与旋转台3固定连接，旋转台3下端面远离旋转电机26的一侧设置有防渗槽12，旋转台3的上端安装有防腐吸盘8，安装防腐吸盘8可以将物料牢牢吸附住，防止其脱落，增加装置的夹持力，防腐吸盘8与旋转台3固定连接。防腐吸盘8远离旋转电机26的一侧安装有固定卡板7，固定卡板7与旋转台3固定连接，防腐吸盘8靠近旋转电机26的一侧安装有固定安装板10，固定安装板10与旋转台3固定连接，固定安装板10靠近旋转电机26的一侧安装有卡紧弹簧11，安装卡紧弹簧11可以推动移动卡板9将物料佳佳夹持住，防止其脱落，同时便于工作人员快速夹持物料，有利于提高工作效率。卡紧弹簧11与固定安装板10焊接连接，卡紧弹簧11的一端安装有移动卡板9，移动卡板9与旋转台3滑动连接。
进一步，防护箱2的上端安装有腐蚀液存储箱15，腐蚀液存储箱15与防护箱2固定连接，腐蚀液存储箱15上端的两侧均安装有第一水泵19，第一水泵19与腐蚀液存储箱15通过连接管道连接，第一水泵19远离旋转电机26的一侧安装有腐蚀液喷管21，腐蚀液喷管21与第一水泵19固定连接。安装腐蚀液存储箱15使其配合第一水泵19可以将腐蚀液喷淋在物料上端，对其上端的污物进行腐蚀清洗。
进一步，防护箱2上端的一侧安装有清水箱14，清水箱14与防护箱2固定连接，清水箱14上端面靠近旋转电机26的一侧安装有第二水泵20，第二水泵20与清水箱14通过连接管道连接，第二水泵20靠近旋转电机26的一侧安装有清水喷管22，清水喷管22与第二水泵20固定连接。安装清水箱14使其配合第二水泵20可以将清水喷淋在物料上端，便于将物料上端多余的腐蚀液冲洗下来。
进一步，防护箱2上端的另一侧安装有热风箱16，热风箱16与防护箱2固定连接，热风箱16内部的上端安装加热管17，加热管17与热风箱16固定连接，热风箱16上端靠近旋转电机26的一侧安装有风机18，风机18与热风箱16通过连接管道连接，风机18靠近旋转电机26的一侧安装有热风管道23，热风管道23与风机18固定连接。安装风机18使其配合加热管17可以将热风吹在物料上端，对其进行干燥，保证装置功能性的完整。
进一步，防护箱2的前端面安装有安全门24，安全门24与防护箱2通过铰链连接，旋转台3的内部设置有排液管道6，安装安全门24可以防止装置内部的腐蚀液溅出装置，污染环境。
进一步，热风箱16内部上端远离旋转电机26的一侧安装有除尘网25，除尘网25与热风箱16焊接连接，安装除尘网25可以对空气进行过滤，防止灰尘进入装置内部，污染物料。
工作原理：使用时，工作人员压缩卡紧弹簧11，将物料卡在移动卡板9和固定卡板7之间，然后轻轻向下按压物料，使物料被防腐吸盘8牢牢吸附住。然后工作人员关闭安全门24，启动旋转电机26，使旋转台3旋转；然后第一水泵19得电，将腐蚀液存储箱15的腐蚀液通过腐蚀液喷管21喷淋在物料上端，多余的腐蚀液会受到离心力，甩向防护箱2内壁。待物料上端清洗完毕后，第一水泵19失电，第二水泵20得电，将清水通过清水喷管22喷淋到物料上端，对物料上端残留的腐蚀液进行冲洗。然后第二水泵20失电，加热管17和风机18得电，风机18将热风通过热风管道23吹在物料上端，对其进行干燥。待干燥结束后，加热管17、旋转电机26和风机18失电，最后工作人员打开安全门24取出物料即可。本装置安装旋转台3使其配合旋转电机26可以带动旋转台3上端的物料进行旋转，保证装置功能性的完整。安装第一挡板4和第二挡板5可以有阻止腐蚀液向装置底部中间部位流动，防止腐蚀液渗入轴承中与旋转电机26接触，防止旋转电机26腐蚀，避免影响装置的使用寿命。安装第三挡板13可以防止腐蚀液顺着旋转台3下端流动，增加装置的防护能力。安装防腐吸盘8可以将物料牢牢吸附住，防止其脱落，增加装置的夹持力。安装卡紧弹簧11可以推动移动卡板9将物料佳佳夹持住，防止其脱落，同时便于工作人员快速夹持物料，有利于提高工作效率。安装腐蚀液存储箱15使其配合第一水泵19可以将腐蚀液喷淋在物料上端，对其上端的污物进行腐蚀清洗。安装清水箱14使其配合第二水泵20可以将清水喷淋在物料上端，便于将物料上端多余的腐蚀液冲洗下来。安装风机18使其配合加热管17可以将热风吹在物料上端，对其进行干燥，保证装置功能性的完整。安装安全门24可以防止装置内部的腐蚀液溅出装置，污染环境。安装除尘网25可以对空气进行过滤，防止灰尘进入装置内部，污染物料。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，包括工作底板(1)，其特征在于：所述工作底板(1)的上端安装有防护箱(2)，所述工作底板(1)的上端设有旋转台(3)，所述工作底板(1)的下端安装有旋转电机(26)，所述旋转电机(26)与工作底板(1)通过轴承连接，所述旋转电机(26)与旋转台(3)通过联轴器连接，所述工作底板(1)的上端安装有第一挡板(4)和第二挡板(5)，所述第一挡板(4)和第二挡板(5)与工作底板(1)焊接连接，所述旋转台(3)下端面远离旋转电机(26)的一侧安装有第三挡板(13)，所述第三挡板(13)与旋转台(3)固定连接，所述旋转台(3)下端面远离旋转电机(26)的一侧设置有防渗槽(12)，所述旋转台(3)的上端安装有防腐吸盘(8)，所述防腐吸盘(8)远离旋转电机(26)的一侧安装有固定卡板(7)，所述防腐吸盘(8)靠近旋转电机(26)的一侧安装有固定安装板(10)，所述固定安装板(10)靠近旋转电机(26)的一侧安装有卡紧弹簧(11)，所述卡紧弹簧(11)的一端安装有移动卡板(9)，所述移动卡板(9)滑动的安装在旋转台(3)上。
2.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，其特征在于：所述防护箱(2)的上端安装有腐蚀液存储箱(15)，所述腐蚀液存储箱(15)与防护箱(2)固定连接，所述腐蚀液存储箱(15)上端的两侧均安装有第一水泵(19)，所述第一水泵(19)与腐蚀液存储箱(15)通过连接管道连接，所述第一水泵(19)远离旋转电机(26)的一侧安装有腐蚀液喷管(21)，所述腐蚀液喷管(21)与第一水泵(19)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，其特征在于：所述防护箱(2)上端的一侧安装有清水箱(14)，所述清水箱(14)与防护箱(2)固定连接，所述清水箱(14)上端面靠近旋转电机(26)的一侧安装有第二水泵(20)，所述第二水泵(20)与清水箱(14)通过连接管道连接，所述第二水泵(20)靠近旋转电机(26)的一侧安装有清水喷管(22)，所述清水喷管(22)与第二水泵(20)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，其特征在于：所述防护箱(2)上端的另一侧安装有热风箱(16)，所述热风箱(16)与防护箱(2)固定连接，所述热风箱(16)内部的上端安装加热管(17)，所述加热管(17)与热风箱(16)固定连接，所述热风箱(16)上端靠近旋转电机(26)的一侧安装有风机(18)，所述风机(18)与热风箱(16)通过连接管道连接，所述风机(18)靠近旋转电机(26)的一侧安装有热风管道(23)，所述热风管道(23)与风机(18)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，其特征在于：所述防护箱(2)的前端面安装有安全门(24)，所述安全门(24)与防护箱(2)通过铰链连接，所述旋转台(3)的内部设置有排液管道(6)。
6.根据权利要求4所述的一种晶闸管芯片台面多工位旋转腐蚀机，其特征在于：所述热风箱(16)内部上端远离旋转电机(26)的一侧安装有除尘网(25)，所述除尘网(25)与热风箱(16)焊接连接。
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