CN213457644U - 一种光刻机四个扫描头的工作机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座和放置板，且曝光区域边槽上设有安装板，安装板底部连接有多个转动杆，所述转动杆底部连接有扫描头本体，多个所述扫描头本体外侧设有带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理的调速组件，且调速组件与放置板连接，所述放置板顶部连接有带动调速组件运动的传动组件，且传动组件与调速组件连接，此通过所设的传动组件带动所设的调速组件，进而实现对多个扫描头本体以不同的转速进行转动，便于实现不同扫描头本体在光刻机本体的带动作用下实现对以不同的转速对扫描区域进行扫描曝光处理，提高了多个扫描头本体在扫描区域以不同的转速扫描的效率。

Description

一种光刻机四个扫描头的工作机构

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机四个扫描头的工作机构。

背景技术

光刻机(Mask Aligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，其中光刻机按照投影式分类可分为扫描投影曝光和步进重复投影曝光，其中扫描投影式曝光，是在光刻机处安装相应的扫描头，通过扫描头扫描的方式便于光刻机的曝光。

现有的曝光式光刻机在扫描曝光时，将待光刻的晶圆部分放置在扫描头底部，扫描头透过掩模的曝光区域对于晶圆部分进行扫描曝光，在光刻机机头部分同时携带多个不同扫描头时，因为多个扫描头同时安装在光刻机的移动端头位置处，光刻机的移动端头沿着曝光区域进行移动曝光时，多个扫描头随之以相同的转速沿着曝光区域对晶圆部分进行曝光光刻处理，不便于控制扫描光刻机分别以不同的转速带动不同区域的扫描头沿着曝光区域进行曝光扫描，为此，我们提出一种光刻机四个扫描头的工作机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机四个扫描头的工作机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座和放置板，所述基座与放置板之间呈矩形连接有四个伸缩杆，所述放置板上设有曝光区域边槽，且曝光区域边槽上设有安装板，所述安装板底部连接有多个转动杆，所述转动杆底部连接有扫描头本体，多个所述扫描头本体外侧设有带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理的调速组件，且调速组件与放置板连接，所述放置板顶部连接有带动调速组件运动的传动组件，且传动组件与调速组件连接，有利于在使用多个扫描头进行扫描处理时，便于以不同的转速实现扫描处理。

优选的，所述调速组件包括安装在放置板顶部的环形圈，所述曝光区域边槽顶部设有安装凹槽，且环形圈底部转动连接在安装凹槽内部，所述环形圈内侧壁上连接有第一齿圈，多个转动杆外侧分别套接有不同直径的调速齿轮，且调速齿轮与第一齿圈相互啮合，所述环形圈外侧壁上连接有多个第二齿圈，且第二齿圈与传动组件一端连接，便于同时带动多个扫描头本体以不同的转速进行扫描处理。

优选的，所述传动组件包括安装在放置板顶部的电机，所述电机的输出端连接有驱动齿轮，所述电机的一侧设有传动转轴，且传动转轴与放置板顶部转动连接，所述传动转轴外侧套接有从动齿轮，且从动齿轮与第二齿圈相互啮合，所述从动齿轮顶部设有带动齿轮，且带动齿轮套接在传动转轴外侧，所述驱动齿轮与带动齿轮相互啮合，有利于通过电机同时环形圈进行转动。

优选的，所述曝光区域边槽上连接有滤光板，且滤光板底部连接有扫描板，且扫描板上设有多个通孔，有利于曝光时避免外界光源对曝光的影响。

优选的，所述基座顶部设有放置晶圆的沉槽，便于晶圆的放置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型当使用光刻机进行扫描光刻时，通过所设的传动组件带动所设的调速组件，进而实现对多个扫描头本体以不同的转速进行转动，便于实现不同扫描头本体在光刻机本体的带动作用下实现对以不同的转速对扫描区域进行扫描曝光处理，提高了多个扫描头本体在扫描区域以不同的转速扫描的效率。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型仰视结构示意图；

图3为本实用新型局部剖切结构示意图；

图4为本实用新型扫描头本体处结构示意图。

图中：1-基座；2-放置板；3-伸缩杆；4-曝光区域边槽；5-安装板；6-转动杆；7-扫描头本体；8-调速组件；9-传动组件；10-环形圈；11-安装凹槽；12-第一齿圈；13-调速齿轮；14-第二齿圈；15-电机；16-驱动齿轮；17-传动转轴；18-从动齿轮；19-带动齿轮；20-滤光板；21-扫描板；22-通孔；23-沉槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻机四个扫描头的工作机构，本方案解决了现有的扫描式曝光光刻机进行扫描处理时，由于扫描头本体7共同安装在同一个调整装置时，不便于控制不同的扫描头本体7进行不同速度进行进行扫描处理，本方案中的设计包括基座1和放置板2，所述基座1与放置板2之间呈矩形连接有四个伸缩杆3，所述放置板2上设有曝光区域边槽4，且曝光区域边槽4上设有安装板5，且安装板5底部连接有多个转动杆6，所述转动杆6底部连接有扫描头本体7，多个所述扫描头本体7外侧设有带动多个扫描头本体7以不同的转速进行扫描处理的调速组件8，且调速组件8与放置板2连接，所述放置板2顶部连接有带动调速组件8运动的传动组件9，且传动组件9与调速组件8连接。

在使用本方案中装置时，将需要扫描光刻的晶圆放置在基座1底部位置处，通过光刻机本体上的带动装置带动多个扫描头本体7升降至扫描位置处，便于进行扫描处理，在扫描位置确定好后，通过控制所设的传动组件9进行转，在传动组件9的输出动力下，调速组件8开始运动，便于将多个扫描头本体7以不同的转速进行转动，便于实现多个扫描头本体7转动扫描处理。

本方案中所述调速组件8包括安装在放置板2顶部的环形圈10，所述曝光区域边槽4顶部设有安装凹槽11，且环形圈10底部转动连接在安装凹槽11内部，所述环形圈10内侧壁上连接有第一齿圈12，多个转动杆6外侧分别套接有不同直径的调速齿轮13，且调速齿轮13与第一齿圈12相互啮合，所述环形圈10外侧壁上连接有多个第二齿圈14，且第二齿圈14与传动组件9一端连接。所述传动组件9包括安装在放置板2顶部的电机15，所述电机15的输出端连接有驱动齿轮16，所述电机15的一侧设有传动转轴17，且传动转轴17与放置板2顶部转动连接，所述传动转轴17外侧套接有从动齿轮18，且从动齿轮18与第二齿圈14相互啮合，所述从动齿轮18顶部设有带动齿轮19，且带动齿轮19套接在传动转轴17外侧，所述驱动齿轮16与带动齿轮19相互啮合。

具体实施方式：在使用过程中，通过光刻机本体上的带动装置将安装板5位置调整好，便于将多个扫描头本体7移动至扫描位置处，在扫描位置确定好后，此时通过控制电机15，在电机15的输出动力下，驱动齿轮16开始转动，由于带动齿轮19与驱动齿轮16相互啮合，便于带动传动转轴17开始转动，因为从动齿轮18套接在传动转轴17外侧，进而带动与之啮合的第二齿圈14进行转动，由于环形圈10底部与安装凹槽11进行转动，此时环形圈10的第一齿圈12同时进行转动，因为调速齿轮13的直径各不相同，且调速齿轮13上的齿数不相同，使得调速齿轮13啮合在第一齿圈12外侧，在第一齿圈12的带动作用下，使得不同齿数的的调速齿轮13开始沿着转动杆6进行转动，因为扫描头本体7安装在转动杆6底部位置处，当多个转动杆6以不同的转速进行转动时，便于多个扫描头本体7以不同的转速进行扫描处理，便于实现多个扫描头本体7进行扫描时可以不同的转速进行扫描处理。

所述曝光区域边槽4上连接有滤光板20，且滤光板20底部连接有扫描板21，且扫描板21上设有多个通孔22，通过滤光板20的过滤效果，表面外界光源在扫描时对扫描本体处起到干涉效果。

本方案中所述基座1顶部设有放置晶圆的沉槽23，便于将晶圆稳定的放置在沉槽23中。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种光刻机四个扫描头的工作机构，包括基座(1)和放置板(2)，所述基座(1)与放置板(2)之间呈矩形连接有四个伸缩杆(3)，其特征在于：所述放置板(2)上设有曝光区域边槽(4)，且曝光区域边槽(4)上设有安装板(5)，所述安装板(5)底部连接有多个转动杆(6)，所述转动杆(6)底部连接有扫描头本体(7)，多个所述扫描头本体(7)外侧设有带动多个扫描头本体(7)以不同的转速进行扫描处理的调速组件(8)，且调速组件(8)与放置板(2)连接，所述放置板(2)顶部连接有带动调速组件(8)运动的传动组件(9)，且传动组件(9)与调速组件(8)连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述调速组件(8)包括安装在放置板(2)顶部的环形圈(10)，所述曝光区域边槽(4)顶部设有安装凹槽(11)，且环形圈(10)底部转动连接在安装凹槽(11)内部，所述环形圈(10)内侧壁上连接有第一齿圈(12)，多个转动杆(6)外侧分别套接有不同直径的调速齿轮(13)，且调速齿轮(13)与第一齿圈(12)相互啮合，所述环形圈(10)外侧壁上连接有多个第二齿圈(14)，且第二齿圈(14)与传动组件(9)一端连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述传动组件(9)包括安装在放置板(2)顶部的电机(15)，所述电机(15)的输出端连接有驱动齿轮(16)，所述电机(15)的一侧设有传动转轴(17)，且传动转轴(17)与放置板(2)顶部转动连接，所述传动转轴(17)外侧套接有从动齿轮(18)，且从动齿轮(18)与第二齿圈(14)相互啮合，所述从动齿轮(18)顶部设有带动齿轮(19)，且带动齿轮(19)套接在传动转轴(17)外侧，所述驱动齿轮(16)与带动齿轮(19)相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述曝光区域边槽(4)上连接有滤光板(20)，且滤光板(20)底部连接有扫描板(21)，且扫描板(21)上设有多个通孔(22)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机四个扫描头的工作机构，其特征在于：所述基座(1)顶部设有放置晶圆的沉槽(23)。

Images