CN213352057U - 一种研抛载具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种研抛载具,包括设置在上磨盘与下磨盘之间且与内齿轮以及太阳轮进行内外啮合的载具本体;在载具本体的外周面设有与太阳轮以及内齿轮相啮合的齿轮,在载具本体上设有用于放置抛光元件的抛光元件放置孔,在载具本体上还设有用于放置抛光元件研磨过程中所需要的抛光液的抛光液放置孔;在抛光液放置孔内部设有用于对其支撑且防止载具本体被挤压变形的支撑结构,支撑结构由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成。本实用新型优点为支撑结构是由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成的,利用此种结构能够对抛光液放置孔进行有效的支撑,避免载具在旋转过程中被挤压变形,提高了载具的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及平面研磨抛光加工技术领域,特别涉及到一种研抛载具。
背景技术
载具是应用在玻璃,镜片,硅片,硬盘等各种平面抛光工序的夹具,又被称为抛光治具;抛光工艺发展多年,已经非常成熟,而近年来随着手机、平板电脑等大众电子产品的大量普及,触摸屏得到了飞速发展,更使得镜片精密研磨抛光需求越来越大,而镜片抛光越来越薄,最薄可达0.04毫米,设计精度的要求也越来越高,因此对于载具的要求也越来越高。
目前研抛载具通常采用树脂版,而采用树脂版形成的载具难以满足厚度要求较薄的要求,例如零点几毫米,也有部分载具采用不锈钢、蓝钢制造而成,采用此种载具虽然能够满足强度以及硬度的要求,且可用于超薄元件的抛光,但是由于此种载具整体厚度较薄,在载具旋转过程中,极易发生齿轮变形,受力不均等情况,此种载具受挤压后极易变形,降低了载具的使用寿命,另外,采用上述载具难以使抛光元件受到均匀的研磨,有的甚至会造成抛光元件的损坏,给较薄的抛光元件的研磨工作带来了较大的不变。
实用新型内容
为解决现有技术存在的问题,本实用新型目的提供了一种设计合理、结构简单、在抛光液放置孔内设有支撑结构,而支撑结构是由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成的,利用此种结构能够对抛光液放置孔进行有效的支撑,避免载具在旋转过程中被挤压变形,提高了载具的使用寿命,另外,还能够使抛光元件受到均匀的研磨,提高了抛光效果,减少了抛光元件的损耗的研抛载具。
为解决以上技术问题,本实用新型采用以下技术方案来实现的:
一种研抛载具,包括设置在上磨盘与下磨盘之间且与内齿轮以及太阳轮进行内外啮合的载具本体;
在所述载具本体的外周面设有与太阳轮以及内齿轮相啮合的齿轮,在所述载具本体上设有用于放置抛光元件的抛光元件放置孔,在所述载具本体上还设有用于放置抛光元件研磨过程中所需要的抛光液的抛光液放置孔;
其特征在于,在所述抛光液放置孔内部设有用于对其支撑且防止载具本体被挤压变形的支撑结构,所述支撑结构由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述抛光元件放置孔包括多个沿载具本体的圆周方向分布的第一抛光元件放置孔;
所述抛光液放置孔包括多个沿载具本体的圆周方向分布且与第一抛光元件放置孔一一对应的第一抛光液放置孔,多个第一抛光元件放置孔与多个第一抛光液放置孔沿载具本体的圆周方向交错分布。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述第一抛光液放置孔的横截面为三角形。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述抛光元件放置孔还包括上下对称设置在载具本体中部的第二抛光元件放置孔;
所述抛光液放置孔还包括左右对称设置在载具本体中部的第二抛光液放置孔。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述第一、第二抛光元件放置孔的横截面均为方形,且在横截面为方形的第一、第二抛光元件放置孔的四个顶角处分别开设有便于将抛光元件从其内部取出的扩孔结构。
在本实用新型的一个优选实施例中,所述第二抛光液放置孔的横截面为梯形。
与现有技术相比,本实用新型在抛光液放置孔内设有支撑结构,而支撑结构是由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成的,利用此种结构能够对抛光液放置孔进行有效的支撑,避免载具在旋转过程中被挤压变形,提高了载具的使用寿命,另外,还能够使抛光元件受到均匀的研磨,提高了抛光效果,减少了抛光元件的损耗。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
参照图1所示,图中给出的一种研抛载具,包括设置在上磨盘与下磨盘之间且与内齿轮以及太阳轮进行内外啮合的载具本体100。
在载具本体100的外周面设有与太阳轮以及内齿轮相啮合的齿轮110,在载具本体100上设有用于放置抛光元件的抛光元件放置孔120,在载具本体100 上还设有用于放置抛光元件研磨过程中所需要的抛光液的抛光液放置孔130。
在抛光液放置孔120内部设有用于对其支撑且防止载具本体被挤压变形的支撑结构140,支撑结构140由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元141所组成,利用此种结构能够对抛光液放置孔进行有效的支撑,避免载具在旋转过程中被挤压变形,提高了载具的使用寿命。
抛光元件放置孔120包括多个沿载具本体100的圆周方向分布的第一抛光元件放置孔121,抛光液放置孔130包括多个沿载具本体100的圆周方向分布且与第一抛光元件放置孔121一一对应的第一抛光液放置孔131,多个第一抛光元件放置121孔与多个第一抛光液放置孔131沿载具本体100的圆周方向交错分布,第一抛光液放置孔131的横截面为三角形。
抛光元件放置孔120还包括上下对称设置在载具本体100中部的第二抛光元件放置孔122,抛光液放置孔130还包括左右对称设置在载具本体100中部的第二抛光液放置孔132。
第一、第二抛光元件放置孔121、122的横截面均为方形,且在横截面为方形的第一、第二抛光元件放置孔121、122的四个顶角处分别开设有便于将抛光元件从其内部取出的扩孔结构150,第二抛光液放置孔132的横截面为梯形。
综上所述本实用新型在抛光液放置孔内设有支撑结构,而支撑结构是由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成的,利用此种结构能够对抛光液放置孔进行有效的支撑,避免载具在旋转过程中被挤压变形,提高了载具的使用寿命,另外,还能够使抛光元件受到均匀的研磨,提高了抛光效果,减少了抛光元件的损耗。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进包括其他形式,如圆形、五边形、七边形、八边形、菱形等,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (6)
1.一种研抛载具,包括设置在上磨盘与下磨盘之间且与内齿轮以及太阳轮进行内外啮合的载具本体;
在所述载具本体的外周面设有与太阳轮以及内齿轮相啮合的齿轮,在所述载具本体上设有用于放置抛光元件的抛光元件放置孔,在所述载具本体上还设有用于放置抛光元件研磨过程中所需要的抛光液的抛光液放置孔;
其特征在于,在所述抛光液放置孔内部设有用于对其支撑且防止载具本体被挤压变形的支撑结构,所述支撑结构由多个横截面为蜂窝状的蜂窝单元所组成。
2.如权利要求1所述的一种研抛载具,其特征在于:所述抛光元件放置孔包括多个沿载具本体的圆周方向分布的第一抛光元件放置孔;
所述抛光液放置孔包括多个沿载具本体的圆周方向分布且与第一抛光元件放置孔一一对应的第一抛光液放置孔,多个第一抛光元件放置孔与多个第一抛光液放置孔沿载具本体的圆周方向交错分布。
3.如权利要求2所述的一种研抛载具,其特征在于:所述第一抛光液放置孔的横截面为三角形。
4.如权利要求2所述的一种研抛载具,其特征在于:所述抛光元件放置孔还包括上下对称设置在载具本体中部的第二抛光元件放置孔;
所述抛光液放置孔还包括左右对称设置在载具本体中部的第二抛光液放置孔。
5.如权利要求4所述的一种研抛载具,其特征在于:所述第一、第二抛光元件放置孔的横截面均为方形,且在横截面为方形的第一、第二抛光元件放置孔的四个顶角处分别开设有便于将抛光元件从其内部取出的扩孔结构。
6.如权利要求4所述的一种研抛载具,其特征在于:所述第二抛光液放置孔的横截面为梯形。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202021913378.8U CN213352057U (zh) | 2020-09-04 | 2020-09-04 | 一种研抛载具 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202021913378.8U CN213352057U (zh) | 2020-09-04 | 2020-09-04 | 一种研抛载具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN213352057U true CN213352057U (zh) | 2021-06-04 |
Family
ID=76149145
Family Applications (1)
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CN202021913378.8U Active CN213352057U (zh) | 2020-09-04 | 2020-09-04 | 一种研抛载具 |
Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115071045A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-09-20 | 王达 | 一种研抛载具的制作方法 |
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2020
- 2020-09-04 CN CN202021913378.8U patent/CN213352057U/zh active Active
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