JP3246030U - 研削・研磨キャリア - Google Patents

Abstract

【課題】研磨液収容孔を効果的に支持でき、回転中にキャリアが圧迫されて変形することを回避し、キャリアの寿命を延ばすことができる、研削・研磨キャリアを提供する。【解決手段】上研削板と下研削板との間に設けられ、内歯車及び太陽歯車と内外噛合するキャリア本体１００を含み、キャリア本体１００の外周面には太陽歯車及び内歯車と噛合する歯車１１０が設けられる。キャリア本体１００には研磨素子を収容するための研磨素子収容孔１２０が設けられ、キャリア本体１００には研磨素子の研削中に必要な研磨液を収容するための研磨液収容孔１３０がさらに設けられ、研磨液収容孔１２０の内部にはそれを支持しキャリア本体が圧迫されて変形することを防止するための支持構造１４０が設けられ、支持構造１４０は横断面がハニカム状である複数のハニカムユニット１４１からなる。【選択図】図１

Description

本考案は平面研削・研磨加工の技術分野に関し、特に研削・研磨キャリアに関する。

キャリアは、ガラス、レンズ、シリコンウェーハ、ハードディスクなどの様々な平面研磨工程で使用される治具であり、研磨治具とも呼ばれ、研磨プロセスは長年にわたって発展し、非常に成熟しており、近年、携帯電話、タブレットコンピュータなどの一般的な電子製品が大量に普及するに伴い、タッチスクリーンは急速に発展しているため、さらにレンズの精密研削・研磨の需要がますます高まっており、レンズは最小０．０４ミリメートルまでますます薄く研磨され、設計精度の要件もますます高まっているため、キャリアの要件もますます高まっている。

現在、研削・研磨キャリアは、通常、樹脂製が用いられるが、樹脂製から形成されたキャリアは、例えば、数十分の一ミリメートルと薄い厚さの要件を満たすことが困難であり、また、一部のキャリアはステンレス鋼、ブルースチールで製造され、このキャリアを使用すると、強度及び硬度の要件を満たすことができ、超薄素子の研磨に適用できる一方、このキャリアは全体的厚さが薄いため、キャリアの回転中に、歯車の変形、不均一な力などが発生しやすく、このキャリアは圧迫されると極めて変形しやすく、キャリアの寿命が短くなり、また、上記キャリアによって、研磨素子を均一に研削することが困難であり、さらに研磨素子の損傷を引き起こす場合があり、薄い研磨素子の研削作業に大きな不便さをもたらしてしまう。

従来技術に存在する問題を解決するために、本考案は、設計が合理的で、構造が簡単で、研磨液収容孔内には横断面がハニカム状である複数のハニカムユニットからなる支持構造が設けられ、この構造によって研磨液収容孔を効果的に支持でき、回転中にキャリアが圧迫されて変形することを回避し、キャリアの寿命を延ばし、また、研磨素子を均一に研削でき、研磨効果を向上させ、研磨素子の摩耗を低減させる研削・研磨キャリアを提供することを目的とする。

上記技術的問題を解決するために、本考案は以下の技術案によって実現される。

研削・研磨キャリアであって、上研削板と下研削板との間に設けられ、内歯車及び太陽歯車と内外噛合するキャリア本体を含む。

前記キャリア本体の外周面には太陽歯車及び内歯車と噛合する歯車が設けられ、前記キャリア本体には研磨素子を収容するための研磨素子収容孔が設けられ、前記キャリア本体には研磨素子の研削中に必要な研磨液を収容するための研磨液収容孔がさらに設けられる。

前記研磨液収容孔の内部には、それを支持してキャリア本体が圧迫されて変形することを防止するための支持構造が設けられ、前記支持構造は横断面がハニカム状である複数のハニカムユニットからなることを特徴とする。

本考案の１つの好ましい実施例では、前記研磨素子収容孔は、キャリア本体の周方向に分布する複数の第１研磨素子収容孔を含む。

前記研磨液収容孔は、キャリア本体の周方向に分布し第１研磨素子収容孔に１対１で対応する複数の第１研磨液収容孔を含み、複数の第１研磨素子収容孔と複数の第１研磨液収容孔はキャリア本体の周方向に千鳥状に分布する。

本考案の１つの好ましい実施例では、前記第１研磨液収容孔の横断面は三角形である。

本考案の１つの好ましい実施例では、前記研磨素子収容孔は、キャリア本体の中央部に上下対称に設けられる第２研磨素子収容孔をさらに含む。

前記研磨液収容孔は、キャリア本体の中央部に左右対称に設けられる第２研磨液収容孔をさらに含む。

本考案の１つの好ましい実施例では、前記第１、第２研磨素子収容孔の横断面はいずれも正方形であり、横断面が正方形の第１、第２研磨素子収容孔の４つの頂角部には研磨素子をその内部から取り出すことを容易にする拡張孔構造がそれぞれ開設される。

本考案の１つの好ましい実施例では、前記第２研磨液収容孔の横断面は台形である。

従来技術と比較して、本考案は、研磨液収容孔内には横断面がハニカム状である複数のハニカムユニットからなる支持構造が設けられ、この構造によって研磨液収容孔を効果的に支持でき、回転中にキャリアが圧迫されて変形することを回避し、キャリアの寿命を延ばし、また、研磨素子を均一に研削でき、研磨効果を向上させ、研磨素子の摩耗を低減させる。

本考案の実施例又は従来技術の技術案をより明確に説明するために、以下、実施例又は従来技術の説明に使用される必要がある図面を簡単に説明し、明らかに、以下の説明における図面は単に本考案のいくつかの実施例に過ぎず、当業者であれば、創造的な労働をせずに、これらの図面に基づいてほかの図面をさらに得ることができる。

本考案の構造模式図である。

本考案を実現する技術的手段、創作的特徴、達成する目的及び効果を理解しやすくするために、以下、具体的な図面を参照して本考案をさらに説明する。

図１に示すように、図示される研削・研磨キャリアは、上研削板と下研削板との間に設けられ、内歯車及び太陽歯車と内外噛合するキャリア本体１００を含む。

キャリア本体１００の外周面には太陽歯車及び内歯車と噛合する歯車１１０が設けられ、キャリア本体１００には研磨素子を収容するための研磨素子収容孔１２０が設けられ、キャリア本体１００には研磨素子の研削中に必要な研磨液を収容するための研磨液収容孔１３０がさらに設けられる。

研磨液収容孔１２０の内部には、それを支持しキャリア本体が圧迫されて変形することを防止するための支持構造１４０が設けられ、支持構造１４０は横断面がハニカム状である複数のハニカムユニット１４１からなり、この構造によって、研磨液収容孔を効果的に支持でき、回転中にキャリアが圧迫されて変形することを回避し、キャリアの寿命を延ばす。

研磨素子収容孔１２０は、キャリア本体１００の周方向に分布する複数の第１研磨素子収容孔１２１を含み、研磨液収容孔１３０は、キャリア本体１００の周方向に分布し第１研磨素子収容孔１２１に１対１で対応する複数の第１研磨液収容孔１３１を含み、複数の第１研磨素子収容孔１２１と複数の第１研磨液収容孔１３１はキャリア本体１００の周方向に千鳥状に分布し、第１研磨液収容孔１３１の横断面は三角形である。

研磨素子収容孔１２０は、キャリア本体１００の中央部に上下対称に設けられる第２研磨素子収容孔１２２をさらに含み、研磨液収容孔１３０は、キャリア本体１００の中央部に左右対称に設けられる第２研磨液収容孔１３２をさらに含む。

第１、第２研磨素子収容孔１２１、１２２の横断面はいずれも正方形であり、横断面が正方形の第１、第２研磨素子収容孔１２１、１２２の４つの頂角部には研磨素子をその内部から取り出すことを容易にする拡張孔構造１５０がそれぞれ開設され、第２研磨液収容孔１３２の横断面は台形である。

上述したように、本考案は、研磨液収容孔内には横断面がハニカム状である複数のハニカムユニットからなる支持構造が設けられ、この構造によって研磨液収容孔を効果的に支持でき、回転中にキャリアが圧迫されて変形することを回避し、キャリアの寿命を延ばし、また、研磨素子を均一に研削でき、研磨効果を向上させ、研磨素子の摩耗を低減させる。

以上、本考案の基本的な原理、主要な特徴及び本考案の利点を示して説明した。当業者であれば理解するべきこととして、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、上記実施例及び明細書は単に本考案の原理を説明するものに過ぎず、本考案の趣旨及び範囲を逸脱せずに、本考案は種々の変更や改良をさらに有してもよく、円形、五角形、七角形、八角形、菱形などのほかの形態を含み、これらの変更や改良はすべて主張する本考案の範囲内に属する。本考案が主張する保護範囲は添付する特許請求の範囲及びその同等物に定められる。

Claims (6)

1. 上研削板と下研削板との間に設けられ、内歯車及び太陽歯車と内外噛合するキャリア本体を含み、
   前記キャリア本体の外周面には太陽歯車及び内歯車と噛合する歯車が設けられ、前記キャリア本体には研磨素子を収容するための研磨素子収容孔が設けられ、前記キャリア本体には研磨素子の研削中に必要な研磨液を収容するための研磨液収容孔がさらに設けられる研削・研磨キャリアであって、前記研磨液収容孔の内部には、それを支持してキャリア本体が圧迫されて変形することを防止するための支持構造が設けられ、前記支持構造は横断面がハニカム状である複数のハニカムユニットからなることを特徴とする研削・研磨キャリア。
2. 前記研磨素子収容孔は、キャリア本体の周方向に分布する複数の第１研磨素子収容孔を含み、
   前記研磨液収容孔は、キャリア本体の周方向に分布し第１研磨素子収容孔に１対１で対応する複数の第１研磨液収容孔を含み、複数の第１研磨素子収容孔と複数の第１研磨液収容孔はキャリア本体の周方向に千鳥状に分布することを特徴とする請求項１に記載の研削・研磨キャリア。
3. 前記第１研磨液収容孔の横断面は三角形であることを特徴とする請求項２に記載の研削・研磨キャリア。
4. 前記研磨素子収容孔は、キャリア本体の中央部に上下対称に設けられる第２研磨素子収容孔をさらに含み、
   前記研磨液収容孔は、キャリア本体の中央部に左右対称に設けられる第２研磨液収容孔をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の研削・研磨キャリア。
5. 前記第１、第２研磨素子収容孔の横断面はいずれも正方形であり、横断面が正方形の第１、第２研磨素子収容孔の４つの頂角部には研磨素子をその内部から取り出すことを容易にする拡張孔構造がそれぞれ開設されることを特徴とする請求項４に記載の研削・研磨キャリア。
6. 前記第２研磨液収容孔の横断面は台形であることを特徴とする請求項４に記載の研削・研磨キャリア。