CN213340403U - 一种扩散源瓶及扩散系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及光伏电池制造技术领域,公开了一种扩散源瓶及扩散系统。该扩散源瓶包括瓶体、进气管和出气管。瓶体顶部设有连通其内外的出气通道,出气通道呈锥形且竖直设置,出气通道的直径由上至下逐渐增大。进气管的一端置于瓶体外部,另一端伸入瓶体内并靠近瓶体底部。出气管的一端与出气通道的末端连通。本实用新型提高了产品的合格率,又提高了安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏电池制造技术领域,尤其涉及一种扩散源瓶及扩散系统。
背景技术
目前,太阳能电池的生产制造过程中,磷源的扩散是极其重要的一个步骤,是实现光伏发电的关键步骤,目前行业内普遍采用的是气体携带液态磷源扩散的方法,具体地,将三氯氧磷装入扩散源瓶内,扩散源瓶上设有进气管与出气管,通过进气管向扩散源瓶的三氯氧磷内充入氮气,由气体携带三氯氧磷通过出气管通向扩散炉管内。为了保证扩散效果,扩散源瓶置于低于室温的恒温柜内。现有技术中,出气管呈直角弯管状,且其中一个直管段伸至恒温柜内与扩散源瓶连通,另一个直管段与恒温柜外的扩散炉管连通,在恒温柜外的直管段上一般包裹有保温层,保证三氯氧磷处于低温状态,但出气管两个直管段之间的折角处暴露在室温下,使得伸出恒温柜的出气管内部的气体温度高于恒温柜的温度。当不向源瓶内通入氮气时,源瓶处于负压状态,存留在出气管内的气体回流入恒温柜内,由于恒温柜的温度低,导致三氯氧磷液化在出气管内形成液柱,流向扩散源瓶。当液柱两端的气压平衡时,液柱堵在出气管的进气端。后续恢复通气后,液柱阻挡通过出气管的通气量,也增加了液柱直接进入扩散炉管的风险,降低了产品的合格率;而且这种方法只能通过操作人员拆开扩散源瓶将液柱导出,安全性较差。
基于此,亟需一种扩散源瓶及扩散系统用来解决如上提到的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种扩散源瓶及扩散系统,提高了产品的合格率,又提高了安全性。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种扩散源瓶,包括:
瓶体,所述瓶体顶部设有连通其内外的出气通道,所述出气通道呈锥形且竖直设置,所述出气通道的直径由上至下逐渐增大;
进气管,所述进气管的一端置于所述瓶体外部,另一端伸入所述瓶体内并靠近所述瓶体底部;
出气管,所述出气管的一端与所述出气通道的末端连通。
优选地,所述出气管沿竖直方向延伸,所述出气管外包裹有保温层。
优选地,所述出气管上设有第一开关阀,所述进气管上设有第二开关阀。
优选地,所述进气管上还设有单向阀,所述单向阀与所述第二开关阀间隔设置。
优选地,所述扩散源瓶还包括设置于所述瓶体底部的进液管和出液管,所述进液管和所述出液管均与所述瓶体连通。
优选地,所述瓶体的材质为玻璃,所述瓶体上设置有刻度线。
优选地,所述出气通道与所述瓶体为一体式结构。
优选地,所述出气通道的顶端连接有直管段,所述直管段的外周设置有外螺纹,所述出气管的端部设置有内螺纹,所述直管段与所述出气管端部的外周螺接。
一种扩散系统,包括恒温柜及如上所述的扩散源瓶,所述扩散源瓶设置于所述恒温柜内,所述进气管和所述出气管能穿出所述恒温柜。
优选地,所述恒温柜内设有多个所述扩散源瓶和多个支架,多个所述扩散源瓶一一对应固定在多个所述支架上。
本实用新型的有益效果:本实用新型的出气通道呈锥形且竖直设置,其直径由上至下逐渐增大,形成倒锥式结构,使得出气通道与瓶体的连接处的面积较大,能够避免进入出气通道的液柱堆积在出气通道内部,也使得液柱能够快速沿着出气通道的内壁下落进入瓶体内部,有效避免出气通道堵塞,保证了后续液体扩散时的气体流出量,提高了产品的合格率,不仅避免了瓶体内气压过大而产生爆炸的危险,也避免了操作人员拆除扩散源瓶清理三氯氧磷,提高了安全性。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的扩散系统的结构示意图;
图2是本实用新型实施例提供的出气通道的截面图。
图中:
1、瓶体;
2、出气通道;
3、进气管;31、第二开关阀;
4、出气管;41、第一开关阀;
5、进液管;
6、出液管;
7、恒温柜。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
本实施例提供了一种扩散源瓶。具体地,如图1和图2所示,扩散源瓶包括瓶体1进气管3和出气管4。瓶体1顶部设有连通其内外的出气通道2,出气通道2呈锥形且竖直设置,出气通道2的直径由上至下逐渐增大。进气管3的一端置于瓶体1外部,另一端伸入瓶体1内并靠近瓶体1底部。出气管4的一端与出气通道2的末端连通。本实用新型的出气通道2呈锥形且竖直设置,其直径由上至下逐渐增大,形成倒锥式结构,使得出气通道2与瓶体1的连接处的面积较大,能够避免进入出气通道2的液柱堆积在出气通道2内部,也使得液柱能够快速沿着出气通道2的内壁下落进入瓶体1内部,有效避免出气通道2堵塞,保证了后续液体扩散时的气体流出量,提高了产品的合格率,不仅避免了瓶体1内气压过大而产生爆炸的危险,也避免了操作人员拆除扩散源瓶清理三氯氧磷,提高了安全性。
在本实施例中,出气通道2凸设在瓶体1的顶部,且出气通道2与瓶体1为一体式结构,便于生产和加工,也保证了出气通道2与瓶体1之间的气密性。当然,在另一些实施例中,出气通道2可一端伸出瓶体1,另一端在瓶体1的内部;或者在另一些实施例中,出气通道2也可与瓶体1分体设置,且若出气通道2与瓶体1分体设置时,出气通道2与瓶体1之间设置密封圈保证气密性,在此不作限定。
对应于上述出气通道2,出气管4沿竖直方向延伸。这样设置有利于出气管4内的液柱能够在自身重力的作用下下滑,及时地落入到瓶体1内,避免在出气管4和出气通道2内堵塞出气管4和出气通道2。特别地,出气管4外包裹有保温层,由于出气管4的竖向设置,使得保温层能够很好地包裹出气管4,有利于增加保温层包裹的面积,减少暴露在室温下的管路长度,降低了出气管4内的温度与瓶体1内的温度的差值,减少了液柱的体积,保证了产品合格率,避免了操作人员拆除扩散源瓶导出液柱,提高了安全性。在本实施例中,保温层可以选用保温泡沫材质。
优选地,出气管4上设有第一开关阀41,通过设置第一开关阀41,便于控制出气管4的通断。
此外,为了实现出气通道2与出气管4的连接,在出气通道2的顶端连接有直管段,直管段的外周设置有外螺纹,出气管4的端部设置有内螺纹,直管段与出气管4端部的外周螺接。采用螺接的可拆卸方式连接,利于出气通道2与出气管4拆卸,便于出气管4的更换。在本实施例中,第一开关阀41设置于出气管4的端部,第一开关阀41的端部设置内螺纹并与出气通道2的直管段螺纹连接,简化了连接的操作。
进一步地,第一开关阀41与出气管4也为可拆卸连接,具体为第一开关阀41远离出气通道2的一端设有一个管路连接接头,管路连接接头与出气管4螺接,在本实施例中,出气管4、出气通道2和第一开关阀41之间均为密封连接,具体可设置密封圈或其他密封件,保证其气密性。在其他实施例中,在出气管4、出气通道2和第一开关阀41之间的螺接面上缠绕或包裹有密封层或密封胶布。另外,还可以设置控制器,自动控制第一开关阀41的开关。
优选地,进气管3上设有第二开关阀31,设置第二开关阀31,便于控制进气管3的通断。特别地,进气管3上还设有单向阀,单向阀与第二开关阀31间隔设置。由于进气管3伸至瓶体1的底部,保证进气管3的端部始终在液面下,设置单向阀,避免了三氯氧磷通过进气管3向气源流动,提高了安全性,降低了维护成本。
在本实施例中,进气管3、瓶体1、单向阀和第二开关阀31之间均为密封连接,具体可设置密封圈或其他密封件,保证其气密性。
如图1所示,扩散源瓶还包括设置于瓶体1底部的进液管5和出液管6,进液管5和出液管6均与瓶体1连通,当瓶体1内的三氯氧磷全部与氮气反应后,便于更换瓶体内的三氯氧磷,提高了实用性。在本实施例中,进液管5和出液管6和瓶体1之间均为密封连接,具体可设置密封圈或其他密封件,保证其气密性此外,进液管5与出液管6上也设置有开关阀,便于控制进液管5与出液管6的通断。
优选地,瓶体1的材质为玻璃,瓶体1上设置有刻度线,刻度线能够显示瓶体1内的液面高度,玻璃材质能够便于观察瓶体1内部的情况,保证了安全性,且设置刻度线,便于观察瓶体1内三氯氧磷的余量。在其他实施例中,还可以在瓶体1内部设置液位计,能够显示三氯氧磷的液面高度,在此不作限定。在其他实施例中,还可以在瓶体1上设置一个液位观察管,液位观察管呈C型,一端与瓶体1顶部连通,另一端与瓶体1底部连通。
本实施例还提供了一种扩散系统。该扩散系统包括恒温柜7及如上述的扩散源瓶,扩散源瓶设置于恒温柜7内,进气管3和出气管4能穿出恒温柜7。优选地,恒温柜7内设有多个扩散源瓶和多个支架,多个扩散源瓶一一对应固定在多个支架上,在恒温柜7内设置支架,便于固定各个扩散源瓶,避免各个扩散源瓶之间碰撞导致碎裂,保证了安全性。
在本实施例中,恒温柜7上设置有观察窗,操作人员能够通过观察窗观察恒温柜7内部。由于本实施例中的瓶体1为玻璃材质,且瓶体1上有刻度线,观察窗的设置便于观察瓶体1内的液体的余量,便于及时更换,提高了实用性与便利性。
在本实施例中,恒温柜7内设置有五个支架和五个扩散源瓶。在其他实施例中,扩散源瓶和支架的数量可适应性调整,在此不作限定。五个支架可以依次并排间隔设置在恒温柜7内,也可以可拆卸的设置于恒温柜7内,在此不作限定。
本实用新型的扩散系统,由于扩散源瓶的出气管道2位于恒温柜7内,确保了出气管道2内的温度与瓶体1内的温度相当,避免了出气管道2内形成液柱的堆积,这就保证了瓶体1与出气管道2的顺畅;又通过出气管4穿出恒温柜1以与扩散炉管衔接,出气管4竖直的设置方式以及较好的保温,从而保证经过出气管4的气体保持原来的温度,进一步避免出气管4内液柱的形成;由此,该扩散系统能够提高产品的合格率,提高了安全性。
显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种扩散源瓶,其特征在于,包括:
瓶体(1),所述瓶体(1)顶部设有连通其内外的出气通道(2),所述出气通道(2)呈锥形且竖直设置,所述出气通道(2)的直径由上至下逐渐增大;
进气管(3),所述进气管(3)的一端置于所述瓶体(1)外部,另一端伸入所述瓶体(1)内并靠近所述瓶体(1)底部;
出气管(4),所述出气管(4)的一端与所述出气通道(2)的末端连通。
2.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气管(4)沿竖直方向延伸,所述出气管(4)外包裹有保温层。
3.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气管(4)上设有第一开关阀(41),所述进气管(3)上设有第二开关阀(31)。
4.根据权利要求3所述的扩散源瓶,其特征在于,所述进气管(3)上还设有单向阀,所述单向阀与所述第二开关阀(31)间隔设置。
5.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述扩散源瓶还包括设置于所述瓶体(1)底部的进液管(5)和出液管(6),所述进液管(5)和所述出液管(6)均与所述瓶体(1)连通。
6.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述瓶体(1)的材质为玻璃,所述瓶体(1)上设置有刻度线。
7.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气通道(2)与所述瓶体(1)为一体式结构。
8.根据权利要求1所述的扩散源瓶,其特征在于,所述出气通道(2)的顶端连接有直管段,所述直管段的外周设置有外螺纹,所述出气管(4)的端部设置有内螺纹,所述直管段与所述出气管(4)端部的外周螺接。
9.一种扩散系统,其特征在于,包括恒温柜(7)及如权利要求1-8任一项所述的扩散源瓶,所述扩散源瓶设置于所述恒温柜(7)内,所述进气管(3)和所述出气管(4)能穿出所述恒温柜(7)。
10.根据权利要求9所述的扩散系统,其特征在于,所述恒温柜(7)内设有多个所述扩散源瓶和多个支架,多个所述扩散源瓶一一对应固定在多个所述支架上。
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CN202022673046.3U CN213340403U (zh) | 2020-11-18 | 2020-11-18 | 一种扩散源瓶及扩散系统 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114182353A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-03-15 | 东海县奥博石英制品有限公司 | 一种内设平衡流量结构的石英扩散管及其方法 |
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2020
- 2020-11-18 CN CN202022673046.3U patent/CN213340403U/zh active Active
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