CN213266687U - 一种多工位的真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多工位的真空镀膜设备，属于真空镀膜机技术领域，包括真空箱，所述真空箱的内部安装有固定架，且真空箱的内部设置有清灰组件，本实用新型通过在丝杆的外周安装与连接板连接的活动块一，贯穿连接板的抽气管下端连通有吸头，这种结构通过转动把手带动连接板移动，进一步带动软毛刷对待镀膜工件进行扫灰操作，同时配合风机的工作可以对灰尘进行吸收；本实用新型通过在转动杆的外周安装从动斜齿轮，转动电机的输出端连接有与从动斜齿轮进行啮合的主动斜齿轮，固定板的内部贯穿有与抵板连接的调节螺杆，这种结构通过拧动调节螺杆实现对待镀膜工件的固定，配合转动电机工作能够带动待镀膜工件进行翻转。

Description

一种多工位的真空镀膜设备

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种多工位的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，主要思路分成蒸发和溅射两种。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有技术的存在以下问题：工件在镀膜之前由于相关加工过程或者其他原因工件表面会存在灰尘等杂质，若不对其进行处理直接进行镀膜的话可能会影响镀膜效果，另外工件在镀膜过程中的安装是固定不可翻转的，所以可能会存在工件底部未被镀膜机照顾到。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种多工位的真空镀膜设备，具有清灰方便，及时翻转特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多工位的真空镀膜设备，包括真空箱，所述真空箱的内部安装有固定架，且真空箱的内部设置有清灰组件，所述固定架的下端连接有镀膜头，所述清灰组件包括吸头、软毛刷、风机、导气管、弯管、连接板、抽气管、活动块一和丝杆，其中，所述真空箱的内部连接有丝杆，且真空箱的外侧安装有风机，所述丝杆的外周安装有活动块一，所述活动块一的上端连接有连接板，所述连接板的内部贯穿有抽气管，且连接板的下端连接有软毛刷，所述抽气管的下端连通有吸头，且抽气管的上端连通有弯管，所述风机的输入端连接有一端延伸至真空箱内部并与弯管连接的导气管。

优选的，所述清灰组件还包括把手、活动块二和限位杆，其中，所述真空箱的内部连接有限位杆，所述限位杆的外周安装有与连接板连接的活动块二，所述丝杆延伸至真空箱外侧的一端连接有把手，且丝杆通过转动轴承与真空箱的内壁连接。

优选的，所述清灰组件还包括过滤筒、滤网和排气管，其中，所述真空箱的外侧安装有过滤筒，所述过滤筒的内部连接有滤网，所述过滤筒的顶端贯穿有与风机连接的排气管。

优选的，所述固定架的内部安装有滑杆，所述滑杆的外周安装有电滑动座，所述电滑动座通过伸缩杆与镀膜头连接。

优选的，所述真空箱的内部设置有翻转组件，所述翻转组件包括连接杆、固定板、转动杆、抵板、压片和调节螺杆，其中，所述真空箱的内壁连接有连接杆，且真空箱内部远离连接杆的侧壁连接有转动杆，所述转动杆的一端安装有抵板，所述连接杆的一端安装有固定板，所述固定板的内部贯穿有调节螺杆，所述调节螺杆靠近抵板的一端连接有压片。

优选的，所述翻转组件还包括转动电机、主动斜齿轮和从动斜齿轮，其中，所述转动杆的外周安装有从动斜齿轮，所述真空箱的内底端安装有转动电机，所述转动电机的输出端连接有与从动斜齿轮进行啮合的主动斜齿轮，所述转动杆和连接杆均通过转动轴承与真空箱的内侧壁连接。

优选的，所述真空箱的外侧安装有箱门，所述箱门的内部安装有透明玻璃。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在丝杆的外周安装与连接板连接的活动块一，贯穿连接板的抽气管下端连通有吸头，并且抽气管的上端通过弯管和导气管与风机连接，这种结构通过转动把手带动丝杆转动从而带动连接板移动，进一步带动软毛刷对待镀膜工件进行扫灰操作，同时配合风机的工作可以对灰尘进行吸收；

2、本实用新型通过在转动杆的外周安装从动斜齿轮，转动电机的输出端连接有与从动斜齿轮进行啮合的主动斜齿轮，连接杆一端连接的固定板的内部贯穿有与抵板连接的调节螺杆，这种结构通过拧动调节螺杆实现对待镀膜工件的固定，配合转动电机工作能够带动待镀膜工件进行翻转。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的正视结构示意图；

图3为本实用新型翻转组件的结构示意图；

图4为本实用新型清灰组件的结构示意图；

图5为本实用新型清灰组件的俯视结构示意图；

图中：1、真空箱；2、伸缩杆；3、镀膜头；4、翻转组件；401、连接杆；402、固定板；403、转动电机；404、主动斜齿轮；405、转动杆；406、从动斜齿轮；407、抵板；408、待镀膜工件；409、压片；410、调节螺杆；5、清灰组件；501、把手；502、吸头；503、软毛刷；504、过滤筒；505、滤网；506、排气管；507、风机；508、导气管；509、弯管；510、连接板；511、抽气管；512、活动块一；513、丝杆；514、活动块二；515、限位杆；6、滑杆；7、固定架；8、电滑动座；9、箱门；10、透明玻璃。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供以下技术方案：一种多工位的真空镀膜设备，包括真空箱1，真空箱1的内部安装有固定架7，且真空箱1的内部设置有清灰组件5，固定架7的下端连接有镀膜头3，清灰组件5包括吸头502、软毛刷503、风机507、导气管508、弯管509、连接板510、抽气管511、活动块一512和丝杆513，其中，真空箱1的内部连接有丝杆513，且真空箱1的外侧安装有风机507，丝杆513的外周安装有活动块一512，活动块一512的上端连接有连接板510，连接板510的内部贯穿有抽气管511，且连接板510的下端连接有软毛刷503，抽气管511的下端连通有吸头502，且抽气管511的上端连通有弯管509，风机507的输入端连接有一端延伸至真空箱1内部并与弯管509连接的导气管508。

具体的，清灰组件5还包括把手501、活动块二514和限位杆515，其中，真空箱1的内部连接有限位杆515，限位杆515的外周安装有与连接板510连接的活动块二514，丝杆513延伸至真空箱1外侧的一端连接有把手501，且丝杆513通过转动轴承与真空箱1的内壁连接。

通过采用上述技术方案，转动把手501带动丝杆513转动从而带动连接板510进行横向移动，这样就能够实现软毛刷503对待镀膜工件408的清灰操作，同时风机507工作能够使吸头502对清扫得到的灰尘进行吸收。

具体的，清灰组件5还包括过滤筒504、滤网505和排气管506，其中，真空箱1的外侧安装有过滤筒504，过滤筒504的内部连接有滤网505，过滤筒504的顶端贯穿有与风机507连接的排气管506。

通过采用上述技术方案，吸收得到的含有灰尘的气体进入过滤筒504内，然后经过滤网505过滤掉灰尘后得到的干净空气后再从过滤筒504底部设置的通风口排出，这样能够避免灰尘不经过滤直接排出造成的污染情况。

具体的，固定架7的内部安装有滑杆6，滑杆6的外周安装有电滑动座8，电滑动座8通过伸缩杆2与镀膜头3连接。

通过采用上述技术方案，电滑动座8工作配合伸缩杆2的伸缩能够实现镀膜头3对待镀膜工件408的镀膜操作。

具体的，真空箱1的内部设置有翻转组件4，翻转组件4包括连接杆401、固定板402、转动杆405、抵板407、压片409和调节螺杆410，其中，真空箱1的内壁连接有连接杆401，且真空箱1内部远离连接杆401的侧壁连接有转动杆405，转动杆405的一端安装有抵板407，连接杆401的一端安装有固定板402，固定板402的内部贯穿有调节螺杆410，调节螺杆410靠近抵板407的一端连接有压片409。

通过采用上述技术方案，将待镀膜工件408的一端与抵板407进行抵接，然后转动调节螺杆410带动压片409移动，直至压片409抵住待镀膜工件408的另一端，这样就能够实现对待镀膜工件408的固定。

具体的，翻转组件4还包括转动电机403、主动斜齿轮404和从动斜齿轮406，其中，转动杆405的外周安装有从动斜齿轮406，真空箱1的内底端安装有转动电机403，转动电机403的输出端连接有与从动斜齿轮406进行啮合的主动斜齿轮404，转动杆405和连接杆401均通过转动轴承与真空箱1的内侧壁连接。

通过采用上述技术方案，将待镀膜工件408进行固定之后，转动电机403工作带动主动斜齿轮404转动从而带动从动斜齿轮406转动，进一步带动转动杆405转动，转动杆405的转动能够带动抵板407进行转动，这样就能够带动待镀膜工件408进行翻转。

具体的，真空箱1的外侧安装有箱门9，箱门9的内部安装有透明玻璃10。

通过采用上述技术方案，透明玻璃10的设置能够方便人们观察镀膜过程的进度，通过打开箱门9能够方便实现对待镀膜工件408进行安装固定和拆卸。

本实用新型中电滑动座8为现有已公开技术，选用的型号为HGW30HC上银直线滑块滑座。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型工作时首先打开箱门9，然后将待镀膜工件408的一端与抵板407进行抵接，然后转动调节螺杆410带动压片409移动抵住待镀膜工件408的另一端，这样就能够实现对待镀膜工件408的固定，然后转动把手501带动连接板510移动从而带动软毛刷503移动实现对待镀膜工件408的扫灰操作，配合风机507的工作能够对灰尘进行吸收，这样能够避免灰尘的存在影响镀膜工作的效果；

本实用新型在进行镀膜的过程中，转动电机403工作从而带动从动斜齿轮406转动，进一步就能够带动待镀膜工件408进行翻转操作，这种翻转过程能够避免待镀膜工件408底部未被镀膜的情况。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种多工位的真空镀膜设备，包括真空箱（1），其特征在于：所述真空箱（1）的内部安装有固定架（7），且真空箱（1）的内部设置有清灰组件（5），所述固定架（7）的下端连接有镀膜头（3），所述清灰组件（5）包括吸头（502）、软毛刷（503）、风机（507）、导气管（508）、弯管（509）、连接板（510）、抽气管（511）、活动块一（512）和丝杆（513），其中，所述真空箱（1）的内部连接有丝杆（513），且真空箱（1）的外侧安装有风机（507），所述丝杆（513）的外周安装有活动块一（512），所述活动块一（512）的上端连接有连接板（510），所述连接板（510）的内部贯穿有抽气管（511），且连接板（510）的下端连接有软毛刷（503），所述抽气管（511）的下端连通有吸头（502），且抽气管（511）的上端连通有弯管（509），所述风机（507）的输入端连接有一端延伸至真空箱（1）内部并与弯管（509）连接的导气管（508）。

2.根据权利要求1所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述清灰组件（5）还包括把手（501）、活动块二（514）和限位杆（515），其中，所述真空箱（1）的内部连接有限位杆（515），所述限位杆（515）的外周安装有与连接板（510）连接的活动块二（514），所述丝杆（513）延伸至真空箱（1）外侧的一端连接有把手（501），且丝杆（513）通过转动轴承与真空箱（1）的内壁连接。

3.根据权利要求1所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述清灰组件（5）还包括过滤筒（504）、滤网（505）和排气管（506），其中，所述真空箱（1）的外侧安装有过滤筒（504），所述过滤筒（504）的内部连接有滤网（505），所述过滤筒（504）的顶端贯穿有与风机（507）连接的排气管（506）。

4.根据权利要求1所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述固定架（7）的内部安装有滑杆（6），所述滑杆（6）的外周安装有电滑动座（8），所述电滑动座（8）通过伸缩杆（2）与镀膜头（3）连接。

5.根据权利要求1所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空箱（1）的内部设置有翻转组件（4），所述翻转组件（4）包括连接杆（401）、固定板（402）、转动杆（405）、抵板（407）、压片（409）和调节螺杆（410），其中，所述真空箱（1）的内壁连接有连接杆（401），且真空箱（1）内部远离连接杆（401）的侧壁连接有转动杆（405），所述转动杆（405）的一端安装有抵板（407），所述连接杆（401）的一端安装有固定板（402），所述固定板（402）的内部贯穿有调节螺杆（410），所述调节螺杆（410）靠近抵板（407）的一端连接有压片（409）。

6.根据权利要求5所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述翻转组件（4）还包括转动电机（403）、主动斜齿轮（404）和从动斜齿轮（406），其中，所述转动杆（405）的外周安装有从动斜齿轮（406），所述真空箱（1）的内底端安装有转动电机（403），所述转动电机（403）的输出端连接有与从动斜齿轮（406）进行啮合的主动斜齿轮（404），所述转动杆（405）和连接杆（401）均通过转动轴承与真空箱（1）的内侧壁连接。

7.根据权利要求1所述的一种多工位的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空箱（1）的外侧安装有箱门（9），所述箱门（9）的内部安装有透明玻璃（10）。

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