CN213194385U - 一种匀胶机片托工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种匀胶机片托工装，包括匀胶机卡座和片托，匀胶机卡座的底部一侧设置有限位部件，片托内具有一容纳腔，片托的底部设置有卡口，容纳腔套设于匀胶机卡座上，且限位部件卡接于卡口上；片托的顶部设置有环形导气槽；环形导气槽包括：第一导气槽，呈环形设置于片托的顶部；第二导气槽，呈条形设置于第一导气槽的中部，且与第一导气槽连通；匀胶机卡座设置有第一负压通气孔，第二导气槽设置有第二负压通气孔，第二负压通气孔与第一负压通气孔组合形成负压通道。通过卡口卡接在匀胶机卡座上的限位部件上，能够实现对片托的稳定安装。通过环形导气槽能够增大吸附，使玻璃基板在离心过程中能够稳定的吸附在片托上。

Description

一种匀胶机片托工装

技术领域

本实用新型属于匀胶机片托和液晶移相器制作技术领域，具体涉及一种匀胶机片托工装。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的装置，适用于半导体工艺、制版及表面涂覆等工艺。

使用匀胶机在液晶移向器的玻璃基板上涂覆配向膜(PI液)，真空吸附系统中的片托可以牢牢地将玻璃基板吸住。由于液晶移向器的基板尺寸较小，且是长方形规格，需要一款合适的片托，在高速旋转时吸住玻璃保证其不掉落。目前的片托尺寸均相对较大，不适用于液晶移相器的基板尺寸。且在离心的过程中无法对片托实现稳定的安装，容易使片托在旋转过程中发生滑脱情况。

另外，现有的片托在离心过程中，由于片托顶部仅通过若干闭环回路形成的凸纹，无法对玻璃基板实现稳定的吸附，且吸附力度较小。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种匀胶机片托工装，用以解决现有技术中存在的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下。

一种匀胶机片托工装，包括匀胶机卡座和片托，所述匀胶机卡座的底部一侧设置有限位部件，所述片托内具有一容纳腔，所述片托的底部设置有卡口，所述容纳腔套设于所述匀胶机卡座上，且所述限位部件卡接于所述卡口上；

其中，所述片托的顶部设置有环形导气槽；所述环形导气槽包括：

第一导气槽，呈环形设置于所述片托的顶部；及

第二导气槽，呈条形设置于所述第一导气槽的中部，且与所述第一导气槽连通；

所述匀胶机卡座的顶部设置有第一负压通气孔，所述第二导气槽的中部设置有第二负压通气孔，所述第二负压通气孔与所述第一负压通气孔组合形成负压通道。

进一步，所述片托的顶部设置有台阶形片托盘，所述环形导气槽设置于所述台阶形片托盘的顶部。

进一步，所述第一导气槽内设置有2个导气槽凸起，2个所述导气槽凸起分别布设于所述第二负压通气孔的两侧。

更进一步，所述导气槽凸起的厚度小于所述第一导气槽的深度。

进一步，所述第一负压通气孔的数量为2个，2个所述第一负压通气孔分别对称设置于所述匀胶机卡座的顶部。

进一步，所述限位部件为限位螺柱，所述限位螺柱的外径尺寸与所述卡口的内径尺寸相匹配。

进一步，所述片托的内径尺寸与所述匀胶机卡座的外径尺寸相匹配；

所述匀胶机卡座的顶部设置有环形凹槽，所述第一负压通气孔设置于所述环形凹槽内，所述环形凹槽的外径尺寸等于所述匀胶机卡座的外径尺寸。

进一步，还包括匀胶盘，所述匀胶盘内可转动地设置有转盘，所述匀胶机卡座设置于所述转盘的上侧，所述转盘的下侧连接有离心电机，所述转盘的一侧连接有负压管道，所述负压管道的一端与所述负压通道连接，另一端与真空吸附系统连接。

本实用新型提供的一种匀胶机片托工装，具有如下有益效果：

本实用新型的片托工装在片托的底部设置卡口，在匀胶机卡座的底部一侧设置限位部件，通过将卡口卡接在匀胶机卡座上的限位部件上，能够实现对片托的稳定安装，避免片托在旋转过程中发生滑脱的情况。片托的顶部设置环形导气槽，环形导气槽内具有环形设置的第一导气槽以及呈条形设置的第二导气槽，通过第二导气槽将第一导气槽分隔开来，方便气流朝向中部的第二负压通气孔流动，并进入第一负压通气孔内。

并且位于第一导气槽内的凸起部分通过第二导气槽分隔形成两个导气槽凸起，两个导气槽凸起的高度低于第一导气槽的侧壁的高度，从而能够进一步增大负压吸附力，使玻璃基板在离心过程中能够稳定的吸附在片托上。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式的片托工装的结构示意图。

图2为本实用新型一实施方式的匀胶机卡座与匀胶盘的结构示意图。

图3为本实用新型一实施方式的片托的第一视角的结构示意图。

图4为本实用新型一实施方式的片托的第二视角的结构示意图。

图5为本实用新型一实施方式的剖切示意图。

图中，1、匀胶机卡座；11、限位部件；12、第一负压通气孔；13、环形凹槽；2、片托；21、容纳腔；22、卡口；23、环形导气槽；231、第一导气槽；232、第二导气槽；233、导气槽凸起；24、第二负压通气孔；25、台阶形片托盘；3、匀胶盘；4、转盘；5、离心电机；6、负压管道。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，为本实用新型一实施方式提供的一种匀胶机片托工装的结构示意图。请参阅图1至图5，该匀胶机片托工装包括匀胶机卡座1和片托2，匀胶机卡座1的底部一侧设置有限位部件11，片托2内具有一容纳腔21，片托2的底部设置有卡口22，容纳腔套21设于匀胶机卡座1上，且限位部件11卡接于卡口22上，如图1和图4所示。例如，限位部件11为限位螺柱，限位螺柱的外径尺寸与卡口22的内径尺寸相匹配，使得限位螺柱与卡口卡接，且限位螺柱表面上的外螺纹能够增加卡口与限位螺柱之间的摩擦，提高片托与匀胶机底座的连接稳定性。当然，片托2的内径尺寸与匀胶机卡座1的外径尺寸相匹配；使得片托的容纳腔能够直接扣合在匀胶机底座上，且连接稳定，密封良好。

请参阅图3，片托2的顶部设置有环形导气槽23；用于形成负压吸引，使玻璃基板在离心过程中能够稳定的吸附在片托上。环形导气槽23包括第一导气槽231和第二导气槽232。

第一导气槽231呈环形设置于片托2的顶部；

第二导气槽232呈条形设置于第一导气槽231的中部，且与第一导气槽231连通。

具体地，第一导气槽231内设置有2个导气槽凸起233，2个导气槽凸起233分别布设于第二负压通气孔24的两侧。导气槽凸起233的厚度小于第一导气槽231的深度。

本实施方式中，位于第一导气槽内的凸起部分通过第二导气槽分隔形成两个导气槽凸起，两个导气槽凸起的高度低于第一导气槽的侧壁的高度，从而能够进一步增大负压吸附力，使玻璃基板在离心过程中能够稳定的吸附在片托上。

请参阅图5，匀胶机卡座1的顶部设置有第一负压通气孔12，第二导气槽232的中部设置有第二负压通气孔24，第二负压通气孔24与第一负压通气孔12组合形成负压通道。

本实施方式中，该匀胶机片托工装应用于匀胶机上，匀胶机上包括有匀胶盘3，匀胶盘3内可转动地设置有转盘4，匀胶机卡座1设置于转盘4的上侧，转盘4的下侧连接有离心电机5，转盘4的一侧连接有负压管道6，负压管道6的一端与负压通道连接，另一端与真空吸附系统连接。

使用匀胶机在液晶移向器玻璃基板上涂覆配向膜(PI液)时，由于液晶移向器的基板尺寸较小，且是长方形规格，因此，需要增加片托的吸附力度，以匹配该玻璃基板的尺寸，使其在高速旋转时，能够通过真空吸附系统提供负压，将玻璃基板牢牢地吸在片托上，保证其不掉落。例如，匀胶机卡座1的直径为16mm；片托2的内径为16mm，其外径为24mm，其高度25mm。片托可以吸附的玻璃基板最小尺寸可以到10mm×16mm。

请参阅图3，片托2的顶部设置有台阶形片托盘25，环形导气槽23设置于台阶形片托盘25的顶部。

请参阅图2，第一负压通气孔12的数量为2个，2个第一负压通气孔12分别对称设置于匀胶机卡座1的顶部。当然，还可以在匀胶机卡座1的顶部设置环形凹槽13，第一负压通气孔12设置于环形凹槽13内，环形凹槽13的外径尺寸等于匀胶机卡座1的外径尺寸。

本实施方式中，该片托工装在片托的底部设置卡口，在匀胶机卡座的底部一侧设置限位部件，通过将卡口卡接在匀胶机卡座上的限位部件上，能够实现对片托的稳定安装，避免片托在旋转过程中发生滑脱的情况。片托的顶部设置环形导气槽，环形导气槽内具有环形设置的第一导气槽以及呈条形设置的第二导气槽，通过第二导气槽将第一导气槽分隔开来，方便气流朝向中部的第二负压通气孔流动，并进入第一负压通气孔内。匀胶机卡座顶部的环形凹槽抵接在片托的顶部内壁上，可以对负压通道形成密封，避免漏气而影响玻璃基板的吸附。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种匀胶机片托工装，其特征在于，包括匀胶机卡座(1)和片托(2)，所述匀胶机卡座(1)的底部一侧设置有限位部件(11)，所述片托(2)内具有一容纳腔(21)，所述片托(2)的底部设置有卡口(22)，所述容纳腔(21)套设于所述匀胶机卡座(1)上，且所述限位部件(11)卡接于所述卡口(22)上；

其中，所述片托(2)的顶部设置有环形导气槽(23)；所述环形导气槽(23)包括：

第一导气槽(231)，呈环形设置于所述片托(2)的顶部；及

第二导气槽(232)，呈条形设置于所述第一导气槽(231)的中部，且与所述第一导气槽(231)连通；

所述匀胶机卡座(1)的顶部设置有第一负压通气孔(12)，所述第二导气槽(232)的中部设置有第二负压通气孔(24)，所述第二负压通气孔(24)与所述第一负压通气孔(12)组合形成负压通道。

2.根据权利要求1所述的匀胶机片托工装，其特征在于，所述片托(2)的顶部设置有台阶形片托盘(25)，所述环形导气槽(23)设置于所述台阶形片托盘(25)的顶部。

3.根据权利要求1所述的匀胶机片托工装，其特征在于，所述第一导气槽(231)内设置有2个导气槽凸起(233)，2个所述导气槽凸起(233)分别布设于所述第二负压通气孔(24)的两侧。

4.根据权利要求3所述的匀胶机片托工装，其特征在于，所述导气槽凸起(233)的厚度小于所述第一导气槽(231)的深度。

5.根据权利要求1所述的匀胶机片托工装，其特征在于，所述第一负压通气孔(12)的数量为2个，2个所述第一负压通气孔(12)分别对称设置于所述匀胶机卡座(1)的顶部。

6.根据权利要求1所述的匀胶机片托工装，其特征在于，所述限位部件(11)为限位螺柱，所述限位螺柱的外径尺寸与所述卡口(22)的内径尺寸相匹配。

7.根据权利要求1所述的匀胶机片托工装，其特征在于，所述片托(2)的内径尺寸与所述匀胶机卡座(1)的外径尺寸相匹配；

所述匀胶机卡座(1)的顶部设置有环形凹槽(13)，所述第一负压通气孔(12)设置于所述环形凹槽(13)内，所述环形凹槽(13)的外径尺寸等于所述匀胶机卡座(1)的外径尺寸。

Images