CN213142257U - 一种阴极可移动电镀装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种阴极可移动电镀装置，涉及电镀领域，包括：电镀槽、阳极、可移动阴极、电镀液喷流系统、和动力装置，所述电镀喷流系统包括第一进液管、第二进液管、循环泵、三通阀和喷流总杆，所述动力系统包括伸缩杆、长方形滑槽、电动机和动力控制开关。该阴极可移动电镀装置，通过设置动力装置使阴极可以上下左右往复移动来调整喷嘴和阴极的相对位置，进而使所述阴极镀层均匀一致，在不影响整体溶液循环的情况下增强了电镀溶液在阴极表面、贯通孔及盲孔孔内的溶液交换，进而有效提升电镀的镀层均匀性及溶液的贯孔能力，大大提高了电镀的质量，且结构简单,使得电镀工件电镀均匀，减少了边缘效应，提高了工件的电镀质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀领域，具体为一种阴极可移动电镀装置。
背景技术
随着半导体/半导体封装/被动元件技术的快速发展，半导体元件或被动元件均需要在金属表面镀上一薄层金属或合金以提高其耐腐蚀性、导电性、反光性等综合性能。
因此，对电镀的均匀性提出了很高的要求，如何改善电镀的均匀性具有很多方法，Eductor是使用最多的一种方法，也有使用机械扰流的方式，但都因为阴阳极的距离太远，导致镀膜均匀性和阴极膜厚度均不理想，并且能耗大。电镀的电力线分布与磁力线类似，边缘密中间疏，与电镀装置的结构和电镀工件的形状直接相关，如果工件的表面形状从圆形变成方形，或者大小改变，电力线就会因装置结构和工件不匹配而导致均匀性不佳。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种阴极可移动电镀装置，解决了镀膜均匀性和阴极膜厚度不理想，并且能耗大的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：包括电镀槽，所述电镀槽内部设置有两个阳极，所述电镀槽内部中间位置设置有阴极，所述电镀槽两侧壁外部固定链接有电镀液喷流系统，所述电镀液喷流系统包括第一进液管、第二进液管、循环泵、三通阀和喷流总杆，所述第一进液管通过电镀槽底部的底孔与电镀槽固定连接，所述循环泵设置于第一进液管外表面，所述第一进液管与第二进液管通过三通阀固定连接，所述第二进液管与喷流总杆的一端固定连接，所述喷流总杆下表面固定连接有喷流杆，所述喷流杆外表面固定连接有喷嘴，所述喷嘴分为圆形喷嘴和方形喷嘴，所述电镀槽顶部外表面固定连接有动力装置，所述动力装置包括伸缩杆、长方形滑槽、电动机、动力控制开关固定杆，所述伸缩杆顶部活动连接有长方形滑槽，所述长方形滑槽顶部与电动机固定连接。动力装置通过固定杆与电镀槽外表面固定连接。
优选的，所述阳极的数量为两个，两个阳极在电镀槽内部通过阴极互相对称。
优选的，所述电镀液由于循环泵，经第一进液管到达三通阀后，通过第二进液管进入到两个喷流总杆内。
优选的，所述圆形喷嘴与方形喷嘴在喷流杆上分布均匀。
优选的，所述喷流杆的间距设定在10厘米到15厘米之间。
优选的，所述喷嘴的间距设定在5厘米到10厘米之间。
优选的，所述电动机数量为两个，一个连接伸缩杆，另一个连接长方形滑槽。
(三)有益效果
本实用新型提供了一种阴极可移动电镀装置，具备以下有益效果：
1、该阴极可移动电镀装置，通过设置伸缩杆、长方形滑槽、电动机和动力控制开关，经电镀液喷流系统对电镀工件进行电镀，电镀工件可以随着被动力装置控制的阴极上下左右的移动，使得电镀工件电镀均匀，减少了边缘效应，提高了工件的电镀质量。
2、该阴极可移动电镀装置，通过设置喷流杆，且电镀工件表面均为方形或圆形，使得电镀液经喷流杆喷射出与电镀工件形状相同的喷射区域，再配合圆形喷嘴和方形喷嘴，使电镀更加均匀，不会形成电镀不均匀、厚薄不一的情况。
附图说明
图1为本实用新型结构的示意图；
图2为本实用新型正视结构示意图；
图3为本实用新型俯视结构示意图；
图4为本实用新型局部结构示意图；
图5为本实用新型局部放大结构示意图。
图中：1电镀槽、2阳极、3阴极、4电镀液喷流系统、5第一进液管、6 第二进液管、7循环泵、8三通阀、9喷流总杆、10底孔、11喷流杆、12喷嘴、13圆形喷嘴、14方形喷嘴、15动力装置、16伸缩杆、17长方形凹槽、 18电动机、19动力控制开关、20固定杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例提供一种阴极可移动电镀装置，如图1-4所示，包括电镀槽1，电镀槽1内部设置有阳极2，电镀槽1内部中间位置设置有阴极3，阳极2的数量为两个，两个阳极2在电镀槽1内部通过阴极3互相对称，通过正负电极原理来对工件进行电镀，电镀槽1两侧壁外部固定链接有电镀液喷流系统4，电镀液喷流系统4包括第一进液管5、第二进液管6、循环泵7、三通阀8和喷流总杆9，第一进液管5通过电镀槽1底部的底孔10与电镀槽 1固定连接，循环泵7设置于第一进液管5外表面，第一进液管5与第二进液管6通过三通阀8固定连接，第二进液管6与喷流总杆9的一端固定连接，所述电镀液由于循环泵7，经第一进液管5到达三通阀8后，通过第二进液管 6进入到两个喷流总杆9内，喷流总杆9下表面固定连接有喷流杆11，喷流杆11的间距设定在10厘米到15厘米之间，使电镀液喷流系统4电镀的更均匀，喷流杆11外表面固定连接有喷嘴12，喷嘴12的间距设定在5厘米到10 厘米之间，这样也是为了使电镀更均匀，喷嘴12分为圆形喷嘴13和方形喷嘴14，圆形喷嘴13与方形喷嘴14在喷流杆11上分布均匀，这样使电镀更加均匀，不会形成电镀不均匀、厚薄不一的情况，电镀槽1顶部外表面固定连接有动力装置15，通过动力装置15和动力控制开关19来控制阴极3的横向纵向移动，动力装置15包括伸缩杆16、长方形凹槽17、电动机18、动力控制开关19固定杆20，伸缩杆16顶部活动连接有长方形凹槽17，长方形凹槽 17顶部与电动机18固定连接，所述电动机18数量为两个，一个连接伸缩杆 16，另一个连接长方形滑槽17，两个电动机控制了阴极的运动轨迹，使工件减少了边缘效应，提高了工件的电镀质量，动力装置15通过固定杆20与电镀槽1外表面固定连接。
工作原理：工作时，电镀槽1内装满电镀液，电镀液会通过电镀液喷流系统4 进入喷流杆11内，再由喷嘴12喷向阴极3，由于电镀工件的表面均为方形或圆形，通过设置的圆形喷嘴13和方形喷嘴14，使电镀更加均匀，不会形成电镀不均匀、厚薄不一的情况，通过动力控制开关19使动力装置15运动，两个电动机18通过长方形滑槽17和伸缩杆16使阴极3横向纵向的运动，使得电镀工件电镀均匀，减少了边缘效应，提高了工件的电镀质量。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种阴极可移动电镀装置，包括电镀槽(1)，其特征在于：所述电镀槽(1)内部设置有阳极(2)，所述电镀槽(1)内部中间位置设置有阴极(3)，所述电镀槽(1)侧壁外部固定链接有电镀液喷流系统(4)，所述电镀液喷流系统(4)包括第一进液管(5)、第二进液管(6)、循环泵(7)、三通阀(8)和喷流总杆(9)，所述第一进液管(5)通过电镀槽(1)底部的底孔(10)与电镀槽(1)固定连接，所述循环泵(7)设置于第一进液管(5)外表面，所述第一进液管(5)与第二进液管(6)通过三通阀(8)固定连接，所述第二进液管(6)与喷流总杆(9)的一端固定连接，所述喷流总杆(9)下表面固定连接有喷流杆(11)，所述喷流杆(11)外表面固定连接有喷嘴(12)，所述喷嘴分为圆形喷嘴(13)和方形喷嘴(14)，所述电镀槽(1)顶部外表面固定连接有动力装置(15)，所述动力装置(15)包括伸缩杆(16)、长方形滑槽(17)、电动机(18)、动力控制开关(19)固定杆(20)，所述伸缩杆(16)顶部活动连接有长方形滑槽(17)，所述长方形滑槽(17)顶部与电动机(18)固定连接，动力装置(15)通过固定杆(20)与电镀槽(1)外表面固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种阴极可移动电镀装置，其特征在于：所述阳极(2)的数量为两个，两个阳极(2)在电镀槽(1)内部通过阴极(3)互相对称。
3.根据权利要求1所述的一种阴极可移动电镀装置，其特征在于：所述电镀液由于循环泵(7)，经第一进液管(5)到达三通阀(8)后，通过第二进液管(6)进入到两个喷流总杆(9)内。
4.根据权利要求1所述的一种阴极可移动电镀装置，其特征在于：所述圆形喷嘴(13)与方形喷嘴(14)在喷流杆(11)上分布均匀。
5.根据权利要求1所述的一种阴极可移动电镀装置，其特征在于：所述喷流杆(11)的间距设定在10厘米到15厘米之间。
6.根据权利要求1所述的一种阴极可移动电镀装置，其特征在于：所述喷嘴(12)的间距设定在5厘米到10厘米之间。
7.根据权利要求1所述的一种阴极可移动电镀装置，其特征在于：所述电动机(18)数量为两个，一个连接伸缩杆(16)，另一个连接长方形滑槽(17)。
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| RU216590U1 (ru) * | 2022-12-21 | 2023-02-14 | Общество с ограниченной ответственностью "Санкт-Петербургский Центр "ЭЛМА (Электроникс Менеджмент)" | Устройство перемещения заготовки печатной платы |
| CN116103732A (zh) * | 2023-03-22 | 2023-05-12 | 苏州太阳井新能源有限公司 | 一种垂直电镀装置、设备及方法 |
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