CN209368367U - 一种电镀喷流装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种电镀喷流装置，包括电镀槽，电镀槽内有电镀液，电镀槽内依次设置有阳极、格栅喷流装置、阴极夹治具和固定在阴极夹治具上的被镀物，电镀槽底部连接有出液管，出液管连接有循环泵，循环泵出液口连接有分流管，分流管通过三通阀门连接有第一进液管和第二进液管，第一进液管和第二进液管分别与格栅喷流装置的上下端相连，格栅喷流装置包括与第一进液管和第二进液管相连的分液管，分液管连接有若干均匀分布的喷流管，喷流管上设置有与被镀物相对的若干喷流孔；本实用新型电镀膜均匀性好，同时能降低阴极膜的厚度，并且大大降低了能耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造设备领域，具体是一种电镀喷流装置。
背景技术
目前半导体工业电镀技术快速发展，比方：立体封装堆叠技术、扇出封装、被动元件、PCB等对电镀均匀性和可用电流密度提出了很高的要求；工业电镀也希望很高的电流密度以提高产量。以上这些对电镀来说都是很大的挑战，通过电镀药水本身的改良已经无法满足这方面的要求，需要设备的配合改善均匀性和提高电流密度。
目前半导体所用的电镀设备，为了提高电流降低阴极膜的厚度，各家用不同方法来强制溶液对流，Eductor是使用最多的一种方法，也有使用机械扰流的方式，也有使用阴极运动的方法，镀速均能有不同程度的提高，但都因为阴阳极的距离太远，导致镀膜均匀性和阴极膜厚度均不理想，并且能耗大。
实用新型内容
针对上述不足，本实用新型的目的在于，提供一种电镀膜均匀性好，同时能降低阴极膜的厚度，并且大大降低了能耗的电镀喷流装置。
为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：一种电镀喷流装置，包括电镀槽、阳极、阴极夹治具、循环泵、出液管、分流管、三通阀门、第一进液管、第二进液管和格栅喷流装置，电镀槽内有电镀液，电镀槽内依次设置有阳极、格栅喷流装置、阴极夹治具和固定在阴极夹治具上的被镀物，电镀槽底部连接有出液管，出液管连接有循环泵，循环泵出液口连接有分流管，分流管通过三通阀门连接有第一进液管和第二进液管，第一进液管和第二进液管分别与格栅喷流装置的上下端相连，格栅喷流装置包括与第一进液管和第二进液管相连的分液管，分液管连接有若干均匀分布的喷流管，喷流管上设置有与被镀物相对的若干喷流孔。
作为本实用新型进一步优化的方案，所述的分液管包括上下平行设置的第一分液管和第二分液管，喷流管垂直设置于第一分液管和第二分液管之间。
作为本实用新型再进一步优化的方案，所述的分液管为圆环形，喷流管连接设置于分液管内。
本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：本实用新型电镀膜均匀性好，同时能降低阴极膜的厚度，并且大大降低了能耗。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为格栅喷流装置的结构示意图一(被镀物为方形时)；
图3为格栅喷流装置的结构示意图二(被镀物为圆形时)；
图4为本实用新型的侧面示意图(被镀物为方形时)。
图中标号为：1-电镀槽、2-阳极、3-阴极夹治具、4-循环泵、5-出液管、6-分流管、7-三通阀门、8-第一进液管、9-第二进液管、10-被镀物、12-分液管、121-第一分液管、122-第二分液管、13-喷流管、14-喷流孔。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
实施例一：
参照附图1-4可知，一种电镀喷流装置，包括电镀槽1、阳极2、阴极夹治具3、循环泵4、出液管5、分流管6、三通阀门7、第一进液管8、第二进液管9和格栅喷流装置，电镀槽1内有电镀液，电镀槽1内依次设置有阳极2、格栅喷流装置、阴极夹治具3和固定在阴极夹治具3上的被镀物10，电镀槽1底部连接有出液管5，出液管5连接有循环泵4，循环泵4出液口连接有分流管6，分流管6通过三通阀门7连接有第一进液管8和第二进液管9，第一进液管8和第二进液管9分别与格栅喷流装置的上下端相连，格栅喷流装置包括与第一进液管8和第二进液管9相连的分液管12，分液管12连接有若干均匀分布的喷流管13，喷流管13上设置有与被镀物10相对的若干喷流孔14。
本实用新型的工作原理：
将被镀物10固定在阴极夹治具3上，在循环泵4作用下，药液从电镀槽1进入出液管5，经分流管6分流进入第一、二进液管8、9，再进入喷流管13，经喷流管13上的喷流孔14喷向被镀物10，从而对被镀物10进行电镀，本实用新型中若干均布的喷流管13和喷流管13上喷流孔14的设置，使得喷流管13距离被镀物10很近时(甚至可以达到1cm以内)，喷出的药液流也能完全覆盖被镀物，且到达被镀物10表面的药液均匀，这样能降低阴极膜的厚度，被镀物10表面形成厚度均匀的电镀膜，由于喷流管13可以距离被镀物10很近，根据公式W＝F*S，距离缩短后降低了克服水阻力的无用功，同样的耗电量即可达到成倍甚至多倍以上的喷流电镀效果，具有很好的节能效果。
具体的，所述的分液管12包括上下平行设置的第一分液管121和第二分液管122，喷流管13垂直设置于第一分液管121和第二分液管122之间。
需要说明的是，当被镀物10为方形时，通过将若干喷流管13设置于平行设置的第一分液管121和第二分液管122之间，使得喷流管13横向覆盖面为方形，喷流时的药液覆盖面刚好与被镀物10相对。
实施例二：
与上述实施例一不同之处在于，所述的分液管12为圆环形，喷流管13连接设置于分液管12内。
需要说明的是，当被镀物10为圆形时，通过将分液管12设置为圆环形，若干喷流管13均匀设置于分液管12内，且两端均与分液管12相连通，使得喷流管13横向覆盖面为圆形，喷流时的药液覆盖面刚好与被镀物相对。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种电镀喷流装置，其特征在于：包括电镀槽、阳极、阴极夹治具、循环泵、出液管、分流管、三通阀门、第一进液管、第二进液管和格栅喷流装置，电镀槽内有电镀液，电镀槽内依次设置有阳极、格栅喷流装置、阴极夹治具和固定在阴极夹治具上的被镀物，电镀槽底部连接有出液管，出液管连接有循环泵，循环泵出液口连接有分流管，分流管通过三通阀门连接有第一进液管和第二进液管，第一进液管和第二进液管分别与格栅喷流装置的上下端相连，格栅喷流装置包括与第一进液管和第二进液管相连的分液管，分液管连接有若干均匀分布的喷流管，喷流管上设置有与被镀物相对的若干喷流孔。
2.根据权利要求1所述的一种电镀喷流装置，其特征在于：所述的分液管包括上下平行设置的第一分液管和第二分液管，喷流管垂直设置于第一分液管和第二分液管之间。
3.根据权利要求1所述的一种电镀喷流装置，其特征在于：所述的分液管为圆环形，喷流管连接设置于分液管内。
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| CN201822055656.XU CN209368367U (zh) | 2018-12-09 | 2018-12-09 | 一种电镀喷流装置 |
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| CN209368367U true CN209368367U (zh) | 2019-09-10 |
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| CN (1) | CN209368367U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111020652A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-04-17 | 安徽宏实自动化装备有限公司 | 一种喷流式电化学沉积设备 |
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2018
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