CN213120437U - 一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,包括底板,所述底板顶部的前侧固定连接有连接座,所述连接座的顶部固定连接有支撑座,所述支撑座的顶部固定连接有承载台,所述底板顶部的两侧分别固定连接有左侧板和右侧板。本实用新型通过伺服电机带动转轴转动,通过转轴带动丝杆转动,丝杆的转动使丝杆母移动,通过丝杆母的移动带动连接板移动,连接板带动导向套在滑柱表面进行滑动,通过导向套的移动带动椭偏仪本体进行移动,达到了可水平调节的优点,解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能,往往椭偏仪的位置都是固定的,以至于无法满足不同水平距离的测量,因此不便于人们使用的问题。

Description

一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪
技术领域
本实用新型涉及椭偏仪技术领域,具体为一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪。
背景技术
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器,由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器,而现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能,往往椭偏仪的位置都是固定的,以至于无法满足不同水平距离的测量,因此不便于人们使用。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,具备可水平调节的优点,解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能,往往椭偏仪的位置都是固定的,以至于无法满足不同水平距离的测量,因此不便于人们使用的问题。
(二)技术方案
为实现上述水平调节的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,包括底板,所述底板顶部的前侧固定连接有连接座,所述连接座的顶部固定连接有支撑座,所述支撑座的顶部固定连接有承载台,所述底板顶部的两侧分别固定连接有左侧板和右侧板,所述右侧板右侧的背侧固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接有转轴,所述转轴的左侧固定连接有丝杆,所述丝杆的左侧贯穿至右侧板的左侧,所述丝杆的表面螺纹连接有丝杆母,所述丝杆母的前侧安装有导向套,所述导向套的顶部固定连接有椭偏仪本体,所述导向套的内腔活动连接有滑柱。
优选的,所述滑柱的两端分别与左侧板的右侧和右侧板的左侧固定连接,所述导向套的内腔开设有导向孔,所述导向孔的内壁与导向套的内腔活动连接。
优选的,所述导向套的底部固定连接有滑板,所述底板的顶部开设有导向槽,所述滑板的底部贯穿至导向槽的内腔并与导向槽的内壁呈滑动连接。
优选的,所述丝杆母的前侧固定连接有连接板,所述连接板的前侧与导向套的背侧固定连接。
优选的,所述左侧板右侧的顶部嵌入有轴承座,所述丝杆的左侧贯穿至轴承座的内腔并与轴承座活动连接。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,具备以下有益效果:
1、本实用新型通过伺服电机带动转轴转动,通过转轴带动丝杆转动,丝杆的转动使丝杆母移动,通过丝杆母的移动带动连接板移动,连接板带动导向套在滑柱表面进行滑动,通过导向套的移动带动椭偏仪本体进行移动,达到了可水平调节的优点,解决了现有的椭偏仪在使用时不具备水平调节的功能,往往椭偏仪的位置都是固定的,以至于无法满足不同水平距离的测量,因此不便于人们使用的问题。
2、本实用新型通过轴承座,使丝杆在左侧板内转动更加顺畅,减少了丝杆与左侧板之间的摩擦力,从而延长了丝杆的使用寿命。
3、本实用新型通过导向槽,对滑板移动位置起到导向的效果,进一步的对导向套移动过程中起到支撑的效果。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型底板结构的俯视图;
图3为本实用新型导向套和滑柱结构的连接示意图。
图中:1、底板;2、导向槽;3、滑柱;4、导向套;5、连接座;6、滑板;7、椭偏仪本体;8、左侧板;9、承载台;10、支撑座;11、右侧板;12、伺服电机;13、轴承座;14、丝杆;15、丝杆母;16、转轴;17、连接板;18、导向孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型的底板1、导向槽2、滑柱3、导向套4、连接座5、滑板6、椭偏仪本体7、左侧板8、承载台9、支撑座10、右侧板11、伺服电机12、轴承座13、丝杆14、丝杆母15、转轴16、连接板17和导向孔18部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
请参阅图1-3,一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,包括底板1,底板1顶部的前侧固定连接有连接座5,连接座5的顶部固定连接有支撑座10,支撑座10的顶部固定连接有承载台9,底板1顶部的两侧分别固定连接有左侧板8和右侧板11,右侧板11右侧的背侧固定连接有伺服电机12,伺服电机12的输出端固定连接有转轴16,转轴16的左侧固定连接有丝杆14,丝杆14的左侧贯穿至右侧板11的左侧,左侧板8右侧的顶部嵌入有轴承座13,丝杆14的左侧贯穿至轴承座13的内腔并与轴承座13活动连接,通过轴承座13,使丝杆14在左侧板8内转动更加顺畅,减少了丝杆14与左侧板8之间的摩擦力,从而延长了丝杆14的使用寿命,丝杆14的表面螺纹连接有丝杆母15,丝杆母15的前侧安装有导向套4,导向套4的底部固定连接有滑板6,底板1的顶部开设有导向槽2,滑板6的底部贯穿至导向槽2的内腔并与导向槽2的内壁呈滑动连接,通过导向槽2,对滑板6移动位置起到导向的效果,进一步的对导向套4移动过程中起到支撑的效果,丝杆母15的前侧固定连接有连接板17,连接板17的前侧与导向套4的背侧固定连接,导向套4的顶部固定连接有椭偏仪本体7,导向套4的内腔活动连接有滑柱3,滑柱3的两端分别与左侧板8的右侧和右侧板11的左侧固定连接,导向套4的内腔开设有导向孔18,导向孔18的内壁与导向套4的内腔活动连接。
在使用时,首先通过伺服电机12带动转轴16转动,通过转轴16带动丝杆14转动,丝杆14在轴承座13内部进行转动,通过丝杆14的转动使丝杆母15移动,通过丝杆母15的移动带动连接板17移动,连接板17带动导向套4在滑柱3表面进行滑动,而滑柱3带动导向孔18在导向套4表面滑动,同时导向套4带动滑板6在导向槽2内部滑动,通过导向套4的移动带动椭偏仪本体7进行移动(本文中出现的电器元件均与外界的主控器以220V市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备)。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理的内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包括在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (5)

1.一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部的前侧固定连接有连接座(5),所述连接座(5)的顶部固定连接有支撑座(10),所述支撑座(10)的顶部固定连接有承载台(9),所述底板(1)顶部的两侧分别固定连接有左侧板(8)和右侧板(11),所述右侧板(11)右侧的背侧固定连接有伺服电机(12),所述伺服电机(12)的输出端固定连接有转轴(16),所述转轴(16)的左侧固定连接有丝杆(14),所述丝杆(14)的左侧贯穿至右侧板(11)的左侧,所述丝杆(14)的表面螺纹连接有丝杆母(15),所述丝杆母(15)的前侧安装有导向套(4),所述导向套(4)的顶部固定连接有椭偏仪本体(7),所述导向套(4)的内腔活动连接有滑柱(3)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,其特征在于:所述滑柱(3)的两端分别与左侧板(8)的右侧和右侧板(11)的左侧固定连接,所述导向套(4)的内腔开设有导向孔(18),所述导向孔(18)的内壁与导向套(4)的内腔活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,其特征在于:所述导向套(4)的底部固定连接有滑板(6),所述底板(1)的顶部开设有导向槽(2),所述滑板(6)的底部贯穿至导向槽(2)的内腔并与导向槽(2)的内壁呈滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,其特征在于:所述丝杆母(15)的前侧固定连接有连接板(17),所述连接板(17)的前侧与导向套(4)的背侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪,其特征在于:所述左侧板(8)右侧的顶部嵌入有轴承座(13),所述丝杆(14)的左侧贯穿至轴承座(13)的内腔并与轴承座(13)活动连接。
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